• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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• pp.111-111
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• 2010

최근 전자 소자의 집적기술은 기존의 2차원에서 System on package (SOP) 개념에 기반을 둔 3차원 집적 기술로 발전 되어가고 있다. 소자의 3차원 실장을 실현시키는 과정에서 세라믹의 여러 유용성이 언급되어져 왔지만, 취성이 매우 크다는 등의 단점이 있었다. 이러한 이유로 연성을 가지는 폴리머와 세라믹을 합성한 복합체 기판에 대하여 많은 연구가 되고 있다. 그러나 세라믹 제작을 위해서는 높은 공정온도가 요구되고 있고 이러한 높은 공정상에서의 온도는 3차원 실장에 있어서 문제점이 되고 있다. 이러한 문제점을 극복하기 위하여 상온에서 치밀한 세라믹 후막을 제작할 수 있는 공정인 Aerosol Deposition Method (ADM)방법으로 세라믹-폴리머 후막의 제조를 시도하였다. 일반적으로 ADM은 수백 나노의 출발 파우더를 사용하여 치밀한 세라믹 막을 형성하는데 사용된다. 본 연구에서는 ADM으로 100 nm미만의 나노 세라믹 파우더를 사용하여 다공성의 세라믹 후막을 제조한 후 resin을 함침시키는 방법으로 세라믹-폴리머 후막의 제조를 시도하였다. 그 결과 운송가스, aerosol 농도 등의 공정조건을 변화시켜 다공성의 $Al_2O_3$ 후막을 제조하였고, 이 다공성 후막은 반투명의 특성을 보이며 고충전율로 형성되었다. 이렇게 제조된 나노 다공성 $Al_2O_3$ 후막에 cyanate ester resin을 함침시키는 방법을 사용하여 $Al_2O_3$-cyanate ester 복합체 후막을 제조하였으며, 이의 비유전율 및 품질계수는 각각 1 MHz에서 6.7, 1000으로 우수한 유전특성을 보임이 확인되었다.

• 한국재료학회지
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• 제31권9호
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• pp.488-495
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• 2021

Solid state grain growth (SSCG) is a method of growing large single crystals from seed single crystals by abnormal grain growth in a small-grained matrix. During grain growth, pores are often trapped in the matrix and remain in single crystals. Aerosol deposition (AD) is a method of manufacturing films with almost full density from nano grains by causing high energy collision between substrates and ceramic powders. AD and SSCG are used to grow single crystals with few pores. BaTiO₃ films are coated on (100) SrTiO₃ seeds by AD. To generate grain growth, BaTiO₃ films are heated to 1,300 ℃ and held for 10 h, and entire films are grown as single crystals. The condition of grain growth driving force is ∆G_max < ∆G_c ≤ ∆G_seed. On the other hand, the condition of grain growth driving force in BaTiO₃ AD films heat-treated at 1,100 and 1,200 ℃ is ∆G_c < ∆G_max, and single crystals are not grown.

• 대한핵의학회지
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• 제29권3호
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• pp.307-312
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• 1995

기관지 폐색은 임상적으로 진단이 어려운 경우가 있는데 특히 대엽 이하나 소엽 기관지에 폐색이 일어날 경우엔 그 변화가 미미하기 때문에 더욱 그러하다. 저자들은 여러가지 원인에 의해 기관지 폐색과 협착을 일으킨 8예에서 연무흡입 폐환기스캔을 시행하여 폐환기스캔 소견을 분석하였고 진단적 유용성을 알아보고자 하였다. 8예중 7예는 기관지 폐색이었고 1예는 기관지 협착이었다. 연무흡입 폐환기스캔은 $^{99m}Tc$-phytate를 BARC nebulizer를 이용하여 시행하였다. 스캔 소견을 단순 흉부X선, 기관지조영술, CT, 그리고 기관지경 소견과 비교하였다. 전예에서 특징적으로 기관지 폐색 또는 협착 근위부에 짧고 약간 확장된 기관지 분절에 강한 연무침착 소견을 보였다. 또한 원위부에서는 폐실질의 환기결손 소견을 보였다. 이러한 소견은 기관지 폐색과 협착의 감수적이고 특이한 소견이며, 연두흡입 폐환기스캔은 특히 폐색부가 대엽 이하나 소엽 기관지일 경우에 더욱 유용할 것으로 생각된다.

• 한국결정성장학회지
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• 제30권2호
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• pp.61-65
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• 2020

The depletion of fossil fuels and the increase in environmental awareness have led to greater interest in renewable energy. In particular, solar cells have attracted attention because they can convert an infinite amount of solar energy into electricity. Dye-sensitize solar cells (DSSCs) are low cost third generation solar cells that can be manufactured using environmentally friendly materials. However, DSSC photoelectrodes are generally produced by screen printing, which requires high temperature heat treatment, and low temperature processes that can be used to produce flexible DSSCs are limited. To overcome these temperature limitations, this study fabricated photoelectrodes using room-temperature aerosol deposition. The resulting DSSCs had an energy conversion efficiency of 4.07 %. This shows that it is possible to produce DSSCs and flexible devices using room-temperature processes.

• 한국세라믹학회지
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• 제36권9호
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• pp.946-953
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• 1999

The etching characteristics of Er-doped sodium borosilicate glass film for the planar optical waveguides were investigated using reactive ion etching. The etch rate decreased as the pressure in creased but increased as the RF power increased. The etch rate increased as the flow rate C2F gas and the amount of O2 addition increased but decreased over critical point (C2F6 7,5 accm O2 20%) The etch rate was 180${\AA}$/min under C2F6 7.5 sccm O2 20% RF power 270 W, pressure 150 mTorr. With this optimum etching condition and subsequent heat treatment at 975$^{\circ}C$ for 30 minutes planar optical waveguides having improved sidewall roughness were fabricated successfully.

• 한국결정학회:학술대회논문집
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• 한국결정학회 2007년도 추계학술연구발표회 및 정기총회
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• pp.26-26
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• 2007

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제37회 하계학술대회 초록집
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• pp.230-230
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• 2009

• 세라미스트
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• 제10권2호
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• pp.7-17
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• 2007

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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• pp.47-47
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• 2008

• 기계와재료
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• 제18권4호통권70호
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• pp.6-20
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• 2006