Development of Process Analysis and Prediction Systeme to Improve Yield in Plasma Etching Process Using Adaptively Trained Neural Network (적응 훈련 신경망을 이용한 플라즈마 식각 공정 수율 향상을 위한 공정 분석 및예측 시스템 개발)
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- Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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- v.16 no.11
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- pp.98-105
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- 1999