The effect of annealing method on dopant-activation and damage-recovery in ion-shower-doped Poly-Si using $PH_3/H_2$
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- 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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- 한국정보디스플레이학회 2004년도 Asia Display / IMID 04
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- pp.1072-1075
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- 2004