• 제목/요약/키워드: Acoustic Coupling

검색결과 211건 처리시간 0.024초

다결정 3C-SiC 버퍼층위 증착된 AlN 박막의 열처리 효과 (Effects of thermal annealing of AlN thin films deposited on polycrystalline 3C-SiC buffer layer)

  • 황시홍;정귀상
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국전기전자재료학회 2009년도 추계학술대회 논문집
    • /
    • pp.112-112
    • /
    • 2009
  • In this study, the effect of a long post-deposition thermal annealing(600 and 1000 $^{\circ}C$) on the surface acoustic wave (SAW) properties of polycrystalline (poly) aluminum-nitride (AlN) thin films grown on a 3C-SiC buffer layer was investigates. The poly-AlN thin films with a (0002) preferred orientation were deposited on the substrates by using a pulsed reactive magnetron sputtering system. Experimental results show that the texture degree of AlN thin film was reduced along the increase in annealing temperature, which caused the decrease in the electromechanical coupling coefficient ($k^2$). The SAW velocity also was decreased slightly by the increase in root mean square (RMS) roughness over annealing temperature. However, the residual stress in films almost was not affect by thermal annealing process due to small lattice mismatch different and similar coefficient temperature expansion (CTE) between AlN and 3C-SiC. After the AlN film annealed at 1000 $^{\circ}C$, the insertion loss of an $IDT/AlN/3C-SiC/SiO_2/Si$ structure (-16.44 dB) was reduced by 8.79 dB in comparison with that of the as-deposited film (-25.23 dB). The improvement in the insertion loss of the film was fined according to the decrease in the grain size. The characteristics of AlN thin films were also evaluated using Fourier transform-infrared spectroscopy (FT-IR) spectra and X-ray diffraction (XRD), scanning electron microscopy (SEM), and atomic force microscopy (AFM) images.

  • PDF

3C-SiC 버퍼층이 AlN 박막형 SAW 특성에 미치는 영향 (Effect of a 3C-SiC buffer layer on SAW properties of AlN films)

  • 황시홍;정귀상
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
    • /
    • pp.235-235
    • /
    • 2009
  • This paper describes the influence of a polycrystalline (poly) 3C-SiC buffer layer on the surface acoustic wave (SAW) properties of poly aluminum nitride (AlN) thin films by comparing the center frequency, insertion loss, the electromechanical coupling coefficient ($k^2$), andthetemperaturecoefficientoffrequency(TCF) of an IDT/AlN/3C-SiC structure with those of an IDT/AlN/Si structure, The poly-AlN thin films with an (0002)-preferred orientation were deposited on a silicon (Si) substrate using a pulsed reactive magnetron sputtering system. Results show that the insertion loss (21.92 dB) and TCF (-18 ppm/$^{\circ}C$) of the IDT/AlN/3C-SiC structure were improved by a closely matched coefficient of thermal expansion (CTE) and small lattice mismatch (1 %) between the AlN and 3C-SiC. However, a drawback is that the $k^2(0.79%)$ and SAW velocity(5020m/s) of the AlN/3C-SiC SAW device were reduced by appearing in some non-(0002)AlN planes such as the (10 $\bar{1}$ 2) and (10 $\bar{1}$ 3) AlN planes in the AlN/SiC film. Although disadvantages were shown to exist, the use of the AlN/3C-SiC structure for SAW applications at high temperatures is possible. The characteristics of the AlN thin films were also evaluated using FT-IR spectra, XRD, and AFM images.

  • PDF

Na/K 비 변화에 따른 무연 [Li0.04(NayK1-y)0.96](Nb0.86Ta0.1Sb0.04)O3 세라믹스의 압전 및 유전특성 (Piezoelectric and Dielectric Characteristics of Lead Free [Li0.04(NayK1-y)0.96](Nb0.86Ta0.1Sb0.04)O3 Ceramics with the Variations of Na/K Ratio)

  • 이갑수;류주현;홍재일;이석태;김용운;정회승
    • 한국전기전자재료학회논문지
    • /
    • 제20권1호
    • /
    • pp.25-30
    • /
    • 2007
  • In this paper, lead-free [$Li_{0.04}(Na_{y}K_{1-y})_{0.96}](Nb_{0.86}Ta_{0.1}Sb_{0.04})O_{3}$ (y=0.4 - 0.58) ceramics were manufactured using conventional miked oxide method for acoustic emission(AE) sensor application and their dielectric and piezoelectric properties were investigated with the variations of Na/K ratio. The samples in the composition Na/K=54/46 exhibited excellent electrical properties of $d_{33}=300$ PC/N and kp=0.49. Taking into consideration above piezoelectric properties, it can be concluded that the [$Li_{0.04}(Na_{y}K_{1-y})_{0.96}](Nb_{0.86}Ta_{0.1}Sb_{0.04})O_{3}$ system ceramics are the promising lead-free materials capable of substituting PZT system ceramics.

질소분사 음향시험을 통한 충돌형(FOOF) 분사기의 안정성 평가에 관한 연구 (Study on the Stability Test of Impinging(FOOF) Injector on $GN_2$ Purge Cold Flow Test)

  • 유덕근;이광진;서성현;한영민;최환석;설우석
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국추진공학회 2006년도 제26회 춘계학술대회논문집
    • /
    • pp.135-140
    • /
    • 2006
  • 충돌형(FOOF) 분사기의 불안정 영역을 결정하기 위해 질소분사 음향시험을 수행하였다. 파이프와 오리피스 형상을 가지는 분사기 내 산화제 부분에서 유동속도에 비례하고, 비정상적으로 jumping하는 특정 주파수를 가지는 whistling이 발생한다. 동일한 조건의 연소시험과 비교해 본 결과 whistling 현상은 연소현상에는 영향을 주지 않는다. 질소분사 음향시험과 연소시험에서 얻은 연소실 내 1T1L mode의 damping factor를 비교하여 불안정 영역을 구해보면, 비슷한 조건에서 불안정 영역을 가진다. 이것은 유동의 충돌, 혼합에 의한 유동불안정 현상이 연소시험에서 연소불안정을 발생시키는 주요한 인자임을 의미 한다.

  • PDF

난류 유동장 내에 놓인 탄성을 갖는 박판의 방사소음에 대한 실험적 연구 (An Experimental Study of Radiated So from Elastic Thin Plate in a Turbulent Boundary Layer)

  • 이승배;권오섭;이창준
    • 대한기계학회논문집B
    • /
    • 제25권10호
    • /
    • pp.1327-1336
    • /
    • 2001
  • The structural modes driven by the low wave-number components of smooth elastic wall pressure provide a relatively weak coupling between the flow and the wall motion. If the elastic thin plate has any resonant mode whose wave-number of resonance coincides with $\omega$/U$\sub$c/, the power will be transmitted to those modes of vibration by the flows. We examine the problem in which the elastic thin plate is subject to pressure fluctuations under turbulent boundary layer. Measurements are presented of the frequency spectra of the near- and far-field pressures and radiated sound contributed by the various wave modes of the thin elastic plate. Dispersion equation for wave motions of elastic plate is used to investigate the effect of bending waves of relatively low wave number on radiated sound. The low wave-number motion of elastic plate is observed to have much less influence on the low-frequency energy of wall pressure fluctuations than that of the rediated sound. High amplitude events of the wall pressure are observed to weakly couple with high-frequency energy of radiated sound for case of low tension applied to the plate. The sound source localization is applied to the measurement of radiated sound by using acoustic mirror system.

광도측정에 의한 하이브리드 로켓 후연소실의 유동 가시화 (Flow Visualization by Light Emission in the Post-chamber of Hybrid Rocket)

  • 박경수;최고은;이창진
    • 한국항공우주학회지
    • /
    • 제43권8호
    • /
    • pp.677-683
    • /
    • 2015
  • 하이브리드 로켓은 특정한 연소조건에서 10~30Hz 저주파수 연소불안정이 나타난다. 후연소실의 와류 흘림 현상이 저주파수 불안정 발생과 직접적인 관련이 있는 것으로 판단되며, 이를 확인하기 위하여 발광하는 연소가스의 후연소실 내부유동을 직접 촬영하여 광도 분석과 유동 가시화를 시도하였다. 저주파수 연소불안정이 발생하면 일정한 주기(~18Hz)를 갖는 광도 변화가 나타났으며, 압력교란(p')의 위상(phase)이 거의 일치하고 있어 비-음향 불안정임에도 불구하고 압력과 연소교란이 상호 간섭하고 있음을 확인하였다. POD에 의한 유동 모드 분석결과 안정한 연소가 발생하면 후연소실 유동은 공간적으로 상하 대칭 모드 형태를 이루지만 불안정 연소에서는 수직방향 경사각을 이루는 대칭축을 중심으로 변화하는 유동모드가 나타난다. 특히 3번 모드는 불안정 연소가 발생하는 경우에만 나타나는 유동 모드이다. 불안정 연소가 발생하는 경우에 수직선을 대칭으로 변하는 모드가 나타나는 것은 저주파수 연소불안정이 발생할 때 와류 흘림인 것으로 판단할 수 있다.

Origin of Dark-Energy and Accelerating Universe

  • Keum, Yong-Yeon
    • 한국우주과학회:학술대회논문집(한국우주과학회보)
    • /
    • 한국우주과학회 2009년도 한국우주과학회보 제18권2호
    • /
    • pp.34.1-34.1
    • /
    • 2009
  • After SNIa and WMAP observations during the last decade, the discovery of the accelerated expansion of the universe is a major challenge to particle physics and cosmology. There are currently three candidates for the dark energy which results in this accelerated expansion: $\cdot$ a non-zero cosmological constant, $\cdot$ a dynamical cosmological constant (quintessence scalar field), $\cdot$ modifications of Einstein's theory of gravity. The scalar field model like quintessence is a simple model with time-dependent w, which is generally larger than -w1. Because the different w lead to a different expansion history of the universe, the geometrical measurements of cosmic expansion through observations of SNIa, CMB and baryon acoustic oscillations (BAO) can give us tight constraints on w. One of the interesting ways to study the scalar field dark-energy models is to investigate the coupling between the dark energy and the other matter fields. In fact, a number of models which realize the interaction between dark energy and dark matter, or even visible matter, have been proposed so far. Observations of the effects of these interactions will offer an unique opportunity to detect a cosmological scalar field. In this talk, after briefly reviewing the main idea of the three possible candidates for dark energy and their cosmological phenomena, we discuss the interactinng dark-energy model, paying particular attention to the interacting mechanism between dark energy with a hot dark matter (neutrinos). In this so-called mass-varying neutrino (MVN) model, we calculate explicitly the cosmic microwave background (CMB) radiation and large-scale structure (LSS) within cosmological perturbation theory. The evolution of the mass of neutrinos is determined by the quintessence scalar field, which is responsible for the cosmic acceleration today.

  • PDF

덕트 형상 연소기의 연소불안정에 대한 Semi-Active Control (A Semi-Active Control of the Combustion Instability in a Ducted Premixed Flame)

  • 송재천;송진관;황정재;윤영빈;이종근
    • 한국항공우주학회지
    • /
    • 제37권11호
    • /
    • pp.1131-1139
    • /
    • 2009
  • 연소불안정현상은 주로 음향파와 열방출률 섭동간의 상호작용에 의해 발생한다고 알려져 있다. 이러한 현상은 헬름홀츠 공진기와 같은 수동제어기를 사용하여 감소시킬 수 있다. 그러나 헬름홀츠 공진기는 일반적으로 좁은 주파수대역에 대해서만 효과가 있는 단점을 가진다. 따라서 본 연구에서는 다양한 작동 범위에서 효과를 가질 수 있도록 피스톤을 사용하여 헬름홀츠 공진기의 부피를 변화시켜가며 연소불안정현상에 적용하였다. 그 결과 피스톤을 최적 위치인 40mm에 동조시킴으로써 연소 불안정 모드의 진폭을 크게 감소시킬 수 있었다. 그리고, 연소기와 헬름홀츠 공진기 사이의 동압의 위상차가 흥미로운 관계에 있음을 나타내었다. 또한 헬름홀츠 공진식과 위상차를 이용한 능동적으로 동조되는 수동제어방식에 대해 알아보았다.

중이 이식형 보청기에서 DFMT의 진동에 의한 등골 및 고막 방향으로 전달되는 진동력 측정 (Measurement of transmitted vibration to stapes and tympanic membrane by DFMT's vibration in implantable middle ear hearing devices)

  • 이명원;성기웅;임형규;김민우;정의성;이장우;김동욱;이정현;이상흔;이규엽;조진호
    • 센서학회지
    • /
    • 제18권4호
    • /
    • pp.286-293
    • /
    • 2009
  • The implantable middle ear hearing devices(IMEHDs) have been developed to overcome the conventional hearing aid's problem(ringing effect caused by the acoustic feedback, cosmetic problem, etc.). In the IMEHDs, the vibrating transducer is a key component because its vibration enables to hear for hearing impaired people. The vibrating transducer is implanted on ossicular chain by surgical operation. The coupling status between implanted transducer and ossicular chain has an effect on delivering vibrating force from transducer to stapes. Noninvasive method is required to investigate the output characteristics of IMEHDs after implementation. Recently, emitted sound pressure measuring method of tympanic membrane is proposed to investigate the output characteristics of IMEHDs. However, the relationship between displacement of stapes and sound pressure by tympanic membrane was not cleared. In this paper, displacement of stapes and sound pressure by tympanic membrane were measured using the differential floating mass transducer(DFMT) that implanted on the ossicular chain of the human temporal bone and physical ear model. Through the experiments results, the relationship between displacement of stapes and sound pressure by tympanic membrane was investigated.

원주 분극 압전 링 트랜스듀서 해석을 위한 방사 분극 링 유효 물성 도출 (Effective material properties of radially poled piezoelectric ring transducer for analysis of tangentially poled piezoelectric ring)

  • 이학수;조치영;박성철;조요한;이정민
    • 한국음향학회지
    • /
    • 제38권2호
    • /
    • pp.184-192
    • /
    • 2019
  • 33-모드 링은 31-모드 링에 비하여 결합상수와 압전상수 d가 높기 때문에 광대역 수중 음향 트랜스듀서로 활용성이 높다. 반면 31-모드 링은 축대칭 구조이므로 수치해석 수행시 2차원 축대칭 모델로 간략히 해석이 가능하지만, 33-모드 링은 3차원 수치해석을 수행해야 한다. 즉, 특성 예측을 위해 많은 전산자원과 계산시간이 소요된다. 따라서 33-모드 링의 전기-기계-음향 응답을 모사할 수 있는 등가의 31-모드 링의 유효 물성을 도출할 수 있다면 소나 트랜스듀서 설계 등에 실용적일 것이다. 본 연구에서는 응답 특성을 모사하기 위해 각 링의 전기, 기계 임피던스 및 변환계수(${\phi}$)가 동일하다고 가정하여 등가 31-모드 링의 유효 밀도(${\rho}_{31_{-}eff}$), 컴플라이언스($s^E_{11_{-}eff}$), 압전 상수($d_{31_{-}eff}$), 유전 상수(${\varepsilon}^T_{33_{-}eff}$)를 유도했다. 도출한 유효 물성을 이용하여 진공상태의 링, 수중에서 공기 배킹의 링, 그리고 수중에서 링 내부에 자유롭게 유체가 드나드는 링에 대하여 수치해석을 하였고 이를 33-모드 링의 응답특성과 비교하였다.