본 논문은 shallow trench isolation (STI) 공정에서 ILD (inter-layer dielectric) 막의 수분에 의해 야기되는 단 채널 (short-channel) nMOSFET의 hump 특성의 원인을 분석하고 억제 방법을 제안하였다. 다양한 게이트를 가지는 소자와 TDS-APIMS(Thermal Desorption System-Atmospheric Pressure Ionization Mass Spectrometry) 측정을 이용하여 hump 특성을 체계적으로 분석하였고, 분석을 바탕으로 단 채널 hump모델을 제안하였다. 제안된 모델에 의한 단 채널 nMOSFET의 hump 현상은 poly-Si 게이트 위의 ILD 막의 수분이 상부의 SiN 막에 의해 밖으로 확산되지 못하고 게이트와 STI의 경계면으로 확산하여 발생한 것이 며, 이를 개선하기 위해 상부의 SiN 막의 증착 전 열공정을 통해 ILD 막의 수분을 효과적으로 배출시킴으로써 hump 특성을 성공적으로 억제하였다.
For the application of fuel cell, the content and concentration of impurities in hydrogen stream must be classified. The purpose of this study is to provide analysis tool for the determination of impurities in hydrogen with ultra high purity. To produce UHT hydrogen, we purified hydrogen gas by both getter-based catridge and liquid-nitrogen soaked catridge. We compare two methods and propose new method to know about what is in hydrogen stream.
Objectives: The purpose of this study was to investigate a role of self-compassion in conflict resolution strategies among dating couples. Further, we examined conflict resolution strategies as mechanisms to explain in the relationship between self-compassion and relationship satisfaction. Method: Two hundred forty two dating couples were recruited. Actor and Partner Independence Model(APIM) was used to examine actor and partner effects of self-compassion on relationship satisfaction as well as conflict resolution strategies. The total of 4 APIMs, two positive conflict resolution strategies(i.e., positive emotional reactions, active coping) and two negative conflict resolution strategies(i.e., negative emotional reactions and hostility, avoidance) were analyzed. Positive conflict resolution strategies had only actor effect in the link between self-compassion and relationship satisfaction. That is, self-compassionate men and women were more likely to use positive conflict resolution strategies and, in turn, led to their higher relationship satisfaction. Both actor and partner effects were found in the negative conflict resolution strategy models. In terms of actor effect self-compassionate men and women were less likely to use negative conflict resolution strategies and that, in turn, led to their higher relationship satisfaction. In terms of partner effects we found that women's negative emotional reactions and hostility mediated the link between women's self-compassion and their male partners' relationship satisfaction. Men's avoidance mediated the link between men's self-compassion and their female partners' relationship satisfaction.
이 연구는 부부의 상호의존성을 고려하여 자기-상대방 상호의존 모형(the Actor-Partner Interdependence Model)으로 문화적 도전과 경제적 곤란이 다문화부부의 이혼의사에 미치는 자기효과와 상대방효과를 조사하고, 이 두 효과의 조합을 비율로 측정하여 양자관계의 패턴을 살펴보았다. 여성결혼이민자 부부표본 415쌍(n=830)의 자료로 APIM에 대한 경로분석을 실시한 결과, 한국인 남편의 문화적 도전에 대한 높은 인식은 자신과 배우자의 이혼의사에 미치는 자기효과와 상대방효과가 유의했고, 결혼이민자인 부인의 그런 인식은 자신의 이혼의사에 기여하는 자기효과만 유의했다. 반면 남편의 경제적 곤란 인식은 자신과 부인의 이혼의사에 미치는 효과가 미미했고, 여성결혼이민자에게 지각된 경제적 곤란은 자신과 배우자의 이혼의사에 미치는 자기효과와 상대방효과가 유의했다. 붓스트랩을 이용하여 APIM 효과들의 관계패턴을 검정한 결과, 남편의 이혼의사는 문화적 도전의 자기중심패턴이, 그리고 부인의 경우는 커플패턴이 지지되었다. 경제적 곤란은 효과크기의 비교로 남편과 부인의 이혼의사가 각각 상대방중심패턴과 자기중심패턴에 가까움을 유추할 수 있었다. 이 결과들은 한국인 남편이 배우자와의 문화차를 포용할 수 있는 문화적 역량을 키우고 여성결혼이민자가 경제적 자립에 대해 희망을 가질 수 있도록 이들과 가족의 경제적 역량을 강화하는 것이 부부의 화합과 다문화가족의 해체방지에 기여할 수 있음을 시사하여 끝으로 이를 논의하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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