• Title/Summary/Keyword: 4탐침법

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Evaluation Technology of Degradation of Metallic Alloy using Electrical Resistivity (전기비저항을 이용한 금속합금 열화도 평가기술)

  • Nahm, Seung-Hoon;Yu, Kwang-Min;Ryu, Jae-Cheon
    • Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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    • v.21 no.5
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    • pp.532-541
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    • 2001
  • Developments of nondestructive evaluation techniques for reduction of strength or toughness by aging of material have been carried out, and the method using electrical resistivity is one of them. In this study, to examine the application of electrical resistivity to the evaluation of degradation of metallic alloy, ten different non-magnetic materials were selected as test materials. Electrical resistivities measured by DC two-point probe method and those measured by non-contact type eddy current method were compared with each other. In addition, to examine the application possibility of four-point probe technology in field, the electrical resistivities for 1Cr-lMo-0.25V steel measured by DC two-point probe method and four-point probe method were compared with each other Differences between two measured values for the 1Cr-1Mo-0.25V steel were 0.6%. Therefore, the four-point probe method can be applied to the estimation of the degradation of metallic alloy. ect.

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Analysis of z-axis direction of the ion saturation current to the pressure of the process gas in the ICP system (ICP system에서 공정가스와 압력에 따른 z축 방향의 이온포화 전류밀도 변화 분석)

  • Kim, Dong-Hun;Ju, Jeong-Hun;Kim, Seong-Bong
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2015.11a
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    • pp.280-280
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    • 2015
  • 플라즈마 진단법 중 내부에 삽입하여 측정하는 단일 랭뮤어 탐침법은 플라즈마 특성을 정확하게 측정할 수 있다. 탐침에 (-)극을 걸어서 들어오는 전류를 통해서 이온포화 전류밀도를 측정할 수 있다. 본 연구에서는 유도결합플라즈마에 흐르는 가스와 압력에 따라서 변화를 확인하였다. $H_2$, Ar, $CF_4$ gas로 10 mTorr, 70 mTorr, $CF_4$ 주입위치의 조건으로 플라즈마 밀도를 구하였다.

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컷오프 탐침과 량뮤어 탐침을 이용한 Ar/CF4 유도결합 플라즈마 특성 진단

  • Son, Ui-Jeong;Kim, Yun-Gi;Wi, Seong-Seok;Kim, Dong-Hyeon;Lee, Hae-Jun;Lee, Ho-Jun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.556-556
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    • 2013
  • 반도체 공정에서 널리 사용되고 있는 유도결합 플라즈마에서 전자밀도 분포특성이 컷오프탐침을 이용하여 측정되었다. 밀도측정에 일반적으로 많이 사용되고 있는 랭뮤어 탐침은 플루오르카본과 같은 반응성이 높은 가스를 사용하는 경우 탐침 끝부분이 증착 혹은 식각되거나 플라즈마전위 변동 때문에 V-I 곡선 특성이 왜곡되는 현상이 발생한다. 반면, 컷오프 탐침을 이용하는 경우 플라즈마 고유주파수를 실험적으로 결정하는데 여러 가지 제약이 있다. 본 연구에서는 두가지 측정방법의 비교를 통해 각 방법의 장단점을 실증적으로 비교하고 대면적 유도 결합플라즈마에서 전자밀도균일도를 조사하였다. 량뮤어 탐침법에서는 플라즈마와 탐침사이의 임피던스를 최소화 하는 튜닝회로의 최적화가 이루어 졌으며 컷오프 탐침에서는 안테나 구조에 따른 수신안테나의 신호전달 및 주파수특성에 대해 연구되었다.

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Time Resolution of Fourier Cutoff Probe for Electron Density Measurement

  • Na, Byeong-Geun;Yu, Gwang-Ho;Kim, Dae-Ung;Yu, Dae-Ho;Yu, Sin-Jae;Kim, Jeong-Hyeong;Jang, Hong-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.273-273
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    • 2012
  • 컷오프 진단법은 두 개의 탐침 형태로 제작된 마이크로 웨이브 진단법으로, 간단한 수식을 통해 전자밀도, 전자온도 등을 측정할 수 있다. 컷오프 탐침은 방사 안테나, 측정 안테나와 네트워크 분석기로 구성되어 있다. 네트워크 분석기는 두 안테나 사이의 플라즈마 투과 스펙트럼을 만드는데 쓰이며, 스펙트럼 분석을 통해 플라즈마 변수들을 측정할 수 있다. 이 진단법은 장치나 분석방법이 매우 간단한 장점을 지니며, 약 1 mW 정도의 적은 파워를 사용하여 플라즈마 상태를 거의 변화시키지 않는 측정이 가능하다. 또한 CF4와 같은 공정 가스를 이용한 플라즈마에서도 사용이 가능하다. 그러나 컷오프 진단법을 사용한 측정은 다른 종류의 진단법과 마찬가지로, 약 1초 정도의 긴 시간을 필요로 하는 단점이 있어, 펄스 플라즈마나 토카막과 같이 빠르게 변하는 플라즈마를 측정하기에는 무리가 있다. 최근에 개발된 푸리에 컷오프 탐침(Fourier Cutoff Probe, FCP)는 기존의 컷오프 탐침의 느린 시간분해능을 개선하기 위해 개발되었다. [1] 펄스 형태의 단일신호를 플라즈마를 투과하기 전후로 비교하면 투과 스펙트럼 및 플라즈마 변수들을 얻을 수 있으며, 기존 연구에서 구한 시간 분해능은 약 15 나노초였다. 이 값은 펄스 발생장치의 스펙에 따라 변하게 된다. 펄스폭이 짧을수록 시간분해능이 좋아지지만, 무한정 좋아질 수는 없다. 이 논문에서는 FCP 측정의 시간 분해능을 이론적으로 구하고, 시간 분해능의 이론적 한계를 구했다.

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초소형 실리콘 신경탐침의 임피던스 특성 향상 연구

  • Lee, Su-Jin;Lee, Lee-Jae;Yun, Hyo-Sang;Park, Jae-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.427-428
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    • 2014
  • 서론: 최근 전세계적인 고령화 진행에 따른 뇌졸중, 파킨슨병, 알츠하이머병 등과 같은 각종 뇌관련 질환에 대한 관심이 더욱 높아지고 있으며 다양한 뇌질환 치료를 위하여 뇌 신경 신호의 정확한 검출 대한 연구가 학계에서 활발히 진행되고 있다. 효과적인 뇌 신경 신호 검출을 위해서는 세포조직의 손상을 최소화 할 수 있는 초소형 신경탐침 및 극소 면적내에서 극대화된 검출 전극이 구현되어야 한다. 그러나, 극소 면적내에 구성된 소면적 전극을 통한 신호 검출은 전극 계면에서의 높은 임피던스를 야기시켜 정밀한 신경신호 검출에 어려움을 만든다. 따라서, 뇌 신경 신호 검출시 전극 계면에서의 낮은 임피던스를 검출하기 위한 다결정실리콘, 이리듐 산화막, 탄소나노튜브와 같은 다양한 전극 소재를 이용한 신경탐침 연구가 제안되어 왔다. 본 연구에서는 극소화된 전극면적과 신경세포 계면에서의 저 임피던스 신경신호 검출을 위하여 비이온성 계면활성제와 전해도금을 이용하여 높은 거칠기값을 갖는 나노동공 백금층을 검출 전극으로 활용하였다. 실험 결과: 제작된 신경탐침의 몸체는 실리콘으로 이루어지며, 탐침 끝단에는 신호 측정을 위한 나노동공 백금층을 갖는 전극들이 집적되어 있다. Fig. 1 는 제작된 나노동공 백금을 갖는 신경탐침의 이미지 (a), SEM (b), TEM (c), FESEM (d) 측정결과를 보여준다. 0.9 %의 NaCl 용액에서 제작된 신경탐침의 계면임피던스 및 위상각 변화에 대한 측정결과가 Fig. 2에 나타나 있다. 1.2 kHz 주파수에서 $942.6K{\Omega}$ ($0.029{\Omega}cm^2$, $3.14{\mu}m^2$)로 극대화된 실표면적을 갖는 나노동공 백금층에 의하여 매우 낮은 임피던스 특성을 보인 것으로 판단된다. 또한 제작된 신경탐침은 위상각이 $-82.9^{\circ}$로서 캐패시터와 같은 역할을 하고 있다고 예상할 수 있었으며 $4.6mFcm^{-2}$의 축전용량값을 보였다. Fig. 3는 1 M의 황산용액에서 나노동공백금층이 형성된 신경탐침 전극과 형성 전의 전기화학적 표면변화를 비교분석한 결과로서 나노동공 백금층의 형성 전/후의 전류응답 특성이 상이하게 나타났다. 나노동공 백금층의 실표면적 극대화로 인한 전류응답수치 또한 크게 향상 되었으며, 0~-0.25 V 영역에서의 수소 흡착에 따른 환원곡선은 전형적인 백금 특성을 보여주는 결과로 판단 할 수 있다. Table 1는 기존에 연구되었던 신경탐침들과 본 연구에서 제작된 나노동공 백금을 갖는 신경탐침의 임피던스와 캐패시턴스 특성을 비교한 결과이다. 결론: 본 연구에서는 실리콘 신경탐침 끝단에 집적된 전극상에 전해도금법을 이용하여 높은 거칠기값을 갖는 나노동공 백금층을 형성하고 전극 계면상의 낮은 임피던스를 검출을 하였다. 나노동공 백금층을 갖는 신경탐침은 순환전압전류법을 통해 극대화된 실표면적을 극대화를 확인할 수 있었으며, 극대화된 검출 전극면은 저 임피던스 측정에 용이함을 실험을 통해서 증명할 수 있었다. 따라서, 높은 거칠기값의 나노동공 백금층은 초소형화된 신경탐침상에 집적되는 전극면적소형화와 다수의 전극 구현에 효과적일 것으로 판단되며 보다 정확한 신경신호 검출을 통한 뇌질환의 명확한 이해에 유망할 것으로 판단된다.

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컷오프 진단법을 이용한 RF CCP의 위상에 따른 변화 측정

  • Na, Byeong-Geun;Yu, Gwang-Ho;Kim, Dae-Ung;Yu, Sin-Jae;Kim, Jeong-Hyeong;Jang, Hong-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.507-507
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    • 2012
  • 컷오프 진단법은 두 개의 탐침 형태로 제작된 마이크로 웨이브 진단법으로, 간단한 수식을 통해 전자밀도, 전자온도 등을 측정할 수 있다. 컷오프 탐침은 방사 안테나, 측정 안테나와 네트워크 분석기로 구성되어 있다. 네트워크 분석기는 두 안테나 사이의 플라즈마 투과 스펙트럼을 만드는데 쓰이며, 스펙트럼 분석을 통해 플라즈마 변수들을 측정할 수 있다. 이 진단법은 장치나 분석방법이 매우 간단한 장점을 지니며, 약 1 mW 정도의 적은 파워를 사용하여 플라즈마 상태를 거의 변화시키지 않는 측정이 가능하다. 또한 CF4와 같은 공정 가스를 이용한 플라즈마에서도 사용이 가능하다. 그러나 컷오프 진단법을 사용한 측정은 다른 종류의 진단법과 마찬가지로, 약 1초 정도의 긴 시간을 필요로 하는 단점이 있어, 펄스 플라즈마나 토카막과 같이 빠르게 변하는 플라즈마를 측정하기에는 무리가 있다. 컷오프 탐침의 시간 분해능을 향상시키고자, 최근에 푸리에 컷오프 탐침(FCP)이 개발되었다. 펄스 형태의 단일신호를 플라즈마를 투과하기 전후로 비교하면 투과 스펙트럼 및 플라즈마 변수들을 얻을 수 있으며, 측정시간을 약 15 ns 정도로 줄일 수 있었다. 이 방법의 신뢰도 및 성능은 이미 CW 플라즈마와 펄스 플라즈마에서 확인되었다. 본 연구에서는 FCP의 초고속 측정의 장점을 이용해서 13.56 MHz의 CCP 및 400 kHz의 CCP에서 RF 위상에 따라 변하는 플라즈마를 측정하였으며, 이에 따라 RF CCP에서의 전자의 동역학 분석을 할 수 있었다.

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Optimization of In Vivo Stickiness Evaluation for Cosmetic Creams Using Texture Analyzer (Texture Analyzer (TA)를 이용한 화장품 크림의 In Vivo 끈적임 평가법의 최적화)

  • Ryoo, Joo-Yeon;Bae, Jung-Eun;Kang, Nae-Gyu
    • Journal of the Society of Cosmetic Scientists of Korea
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    • v.46 no.4
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    • pp.371-382
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    • 2020
  • There have been continuous attempts to quantify sensory attributes of cosmetic products by measuring relevant physical properties. The most representative method to evaluate stickiness is to measure axial force using texture analyzer. Stickiness is known to correlate with AUC which abbreviates area under curve in the obtained axial force curve as a function of time. Recently, Normandie University research group developed in vivo stickiness evaluation method considering the characteristics of skin along with established evaluation method[8]. Based on the study, we tried to optimize in vivo stickiness evaluation method especially for cosmetic creams. The experiment was carried out on 5 different facial creams products by changing the amount and the times of rolling of creams, and the shape and material of probes. Based on the results of the sensory evaluation, the most consistent conditions were established as the optimal evaluation method. As a result, applying 70 μL of cream and rubbing 10 times for 7 s inside the 3.4 cm circle were judged to be suitable. As for the probes, spherical metallic probe was more proper due to its reproducibility. We conducted the settled method on 10 subjects to check its validity. Although the absolute values of AUC differed depending on the individuals, the AUC values were all ranked the same. Finally, for the standardization of stickiness of AUC, polyvinylpyrrolidone (PVP) was set as a reference material and we measured AUC of its aqueous solution by changing concentration. Then, the degree of stickiness recognition for 5 different creams was surveyed to check the correlation between AUC and stickiness.

A Study on the Electromagnetic Properties of $La_{1-x}Ca_xMnO_3$(x=0.33) grown by Floating Zone Method (FZ법에 의한 $La_{1-x}Ca_xMnO_3$(x=0.33)의 결정성장과 전자기적 물성에 대한 연구)

  • 정준기;송규정;조남희;김철진
    • Korean Journal of Crystallography
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    • v.13 no.1
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    • pp.41-47
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    • 2002
  • La/sub 1-x/Ca/sub x/MnO₃ manganese oxide were grown using the floating zone image furnace with halogen lamps as heat source. The growth condition was 4∼6 mm/hr growth rate in air atmosphere, 45∼50 rpm and 20∼25 rpm of rotation rate of feedrod and growing crystal, respectively. Characterization analyses of the crystal were carried out using XRD, SEM, and EPMA. Orientation of crystal was determined using EBSD. The electromagnetic properties were measured with Quantum Design PPMS by 4 point probe method and resulted MR value of 462% at 215 K.

Characteristics of Plasma Etching and Plasma Diagnostics of $$CF_4$ Gas with Electric Probe (탐침법에 의한 $$CF_4$ 가스 프라즈마제량의 예정과 에칭 특성)

  • Sung, Yung-Kwon;Shin, Dong-Ryul;Choi, Bok-Gil;Kwon, Kwang-Ho
    • Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics
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    • v.23 no.6
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    • pp.916-922
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    • 1986
  • In this paper, the measurement of RF discharge plasma parameters is studied both analytically and experimentally by the electric probe method. In the measurement using an electric probe, we measure the parameters of plasma in CF4 etching gas and discuss the relations of the results and Si wafer etching. Also, we show that the electric probe method is attractive for various applications.

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DETECTION OF OCCLUSAL CARIES USING LASER FLUORESCENCE (레이저 형광법의 교합면 우식증 탐지 효과)

  • Kim, Chang-Gi;Lee, Chang-Seop;Lee, Sang-Ho
    • Journal of the korean academy of Pediatric Dentistry
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    • v.29 no.4
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    • pp.600-606
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    • 2002
  • The purpose of this study was to evaluate the diagnostic validity of an incipient occlusal caries using argon laser fluorescence. Extracted human premolars and molars with enamel carious lesion of occlusal surface were assessed using visual examination, visual examination with probing, argon laser fluorescence and histologic depth of carious lesion. The results in each of all the three detection methods were compared to the assessment of histologic depth of carious lesion using polarized microscope. The results from the present study can be summarized as follows; 1. There was highly correlation between the histologic depth of occlusal caries and all three detection methods(P<0.01). 2. The reproducibility(kappa value) of the visual examination, visual examination with probing and argon laser fluorescence between the histologic depth of occlusal caries was 0.189, 0.128, 0.472. The highest correlation was seen between detection of occlusal caries by argon laser fluorescence and histologic scores by polarized microscope. The results from this study indicated that argon laser fluorescence considered to be accurate and reliable method in detecting occlusal caries.

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