• 제목/요약/키워드: 4차화반응

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구리 도금 평탄제의 imine 작용기 4차화에 의한 도금 두께 불균일도 제어에 관한 연구 (The Study on thickness uniformity of copper electrodeposits controlled by the degree of quaternization of imine functional group)

  • 조유근;김성민;진상훈;이운영;이민형
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.77-77
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    • 2018
  • Panel level packaging (PLP) 공정은 차세대 반도체 패키징 기술로써 wafer level packaging 대비 net die 면적이 넓어 생산 단가 절감에 유리하다. PLP 공정에 적용되는 구리 재배선 층 (RDL, redistribution layer)은 두께 불균일도에 의해 전기 저항의 유동이 민감하게 변화하기 때문에 RDL의 두께를 균일하게 형성하는 것은 신뢰성 측면에서 매우 중요하다. 구리 RDL은 주로 도금 공정을 통해 형성되며, 균일한 도금막 형성을 위해 도금조에 평탄제를 첨가하여 도금 속도를 균일하게 한다. 도금막에 대한 흡착은 주로 평탄제의 imine 작용기에 포함된 질소 원자가 관여하며, imine 작용기의 4차화에 의한 평탄제의 흡착 정도를 제어하여 평탄제 성능을 개선할 수 있다. 본 연구에서는 도금 평탄제에 포함된 imine 작용기의 질소 원자를 4차화하여 구리 RDL의 도금 두께 불균일도를 제어하고자 하였다. 유기첨가제와 4차화 반응을 위해 알킬화제로써 dimethyl sulfate의 비율을 조절하여 각각 0, 50, 100 %로 4차화 반응을 진행하였다. 평탄제의 4차화 여부를 확인하기 위해 gel permeation chromatography (GPC) 분석을 실시하였다. 도금은 20 ~ 200 um의 다양한 배선 폭을 갖는 구리 RDL 미세패턴에서 진행하였으며, 4차화 평탄제를 첨가하여 광학 현미경과 공초점 레이저 현미경을 통해 도금막 표면과 두께에 대한 분석을 실시하였다. GPC 분석을 통해 4차화 반응 후 알킬화제에 의해 나타나는 GPC peak이 감소한 것을 확인하였다. 광학 현미경 및 공초점 레이저 현미경 분석 결과, 4차화된 질소 원자가 존재하지 않는 평탄제의 경우, 도금 시 도금막의 두께가 불균일하였으며 단면 분석 시 dome 형태가 관찰되었다. 또한 100 % 4차화를 실시한 평탄제를 첨가하여 도금 한 경우 마찬가지로 두께가 불균일한 dish 형태의 도금막이 형성되었다. 반면, 50 % 4차화를 적용한 평탄제를 첨가한 경우, 도금막 단면의 형태는 평평한 모습을 보였으며 매우 양호한 균일도를 가지는 것으로 확인되었다. 이로 인해 imine 작용기를 포함한 평탄제의 4차화 반응을 통해 구리 RDL의 단면 형상 및 불균일도가 제어되는 것을 확인하였으며, 4차화된 imine 작용기의 비율을 조절하여 높은 균일도를 갖는 구리 RDL 도금이 가능한 것으로 판단되었다.

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3차 아민의 4차화 반응에 관한 연구 (제 5 보). 페나실 아렌술포네이트류에 의한 피리딘의 4차화반응 (Studies on the Quaternization of Tertiary Amine (V). The Quaternization of Pyridine with Phenacyl Arenesulfonates)

  • 이오석
    • 대한화학회지
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    • 제31권3호
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    • pp.280-286
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    • 1987
  • 페나실 치환 벤젠술포네이트류와 피리딘의 반응속도를 아세토니트릴과 메탄올 용매속에서 각각 35, 45, 그리고 $55^{\circ}C$에서 전기전도도법으로 측정하였다. 이탈기 내의 치환기 효과는 치환기의 전자끌기 능력이 클수록 반응이 빨라지므로써 이탈기의 이탈 능력이 반응속도에 직접 영향을 미쳤다. 또한 양성자성 용매인 메탄올과 비양성자성 용매인 아세토니트릴에서의 반응을 비교한 결과 수소결합을 통한 특성 용매화가 작용되고 있음을 알수 있었다. 그러므로 이 반응에서 피리딘이 기질의 카르보닐기에 속도 결정 단계로 첨가되는 메카니즘을 배제시킬수 있었다

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알칼라인 연료전지용 다른 작용기들을 갖는 두 종류의 음이온 교환 막들의 특성 비교 (Comparison of Properties of Two Kinds of Anion Exchange Membranes with Different Functional Group for Alkaline Fuel Cells)

  • 이승연;유동진
    • 한국수소및신에너지학회논문집
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    • 제29권5호
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    • pp.458-465
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    • 2018
  • This study reports the fabrication of anion exchange membranes (AEMs) containing two kinds of functional groups: i) trimethylphosphite (TMP) and ii) trimethylamine (TMA). We carried out the synthesis of polymers to enhance thermal stability and ion conductivity. The alternative polymer was prepared using 2,2-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)propane and decafluorobiphenyl. The membrane was fabricated by solution casting method. The thermal stability of membranes was examined by TGA. The physiochemical properties of membranes were also investigated in terms of water uptake, swelling ratio, ion exchange capacity, and ion conductivity. The hydroxide ion conductivity of the membranes reached about 20.2 mS/cm for quaternary ammonium poly(arylene ether) (QA-PAE) containing TMA moiety and 5.1 mS/cm for quaternary phosphonium PAE (QP-PAE) containing TMP moiety at $90^{\circ}C$.

3 차아민의 4 차화반응에 관한 연구 (제1보). Phenethyltosylate 와 치환 피리딘류의 반응에 관한 반응 속도론적 연구 (Studies on the Quaternization of Tertiary Amines (I). Kinetics and Mechanism for the Reaction of Phenethyltosylate with Substituted Pyridines)

  • 이경아;황규탁;여수동
    • 대한화학회지
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    • 제23권4호
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    • pp.243-247
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    • 1979
  • Phenethyltosylate와 치환 피리딘의 반응속도를 전기전도법으로 아세트니트릴 용매에서 50, 60, 및 70$^{\circ}C$에서 측정하였다. 이 반응에서의 피리딘의 치환기 효과를 검토한 결과 피리딘의 전자주는 능력이 강할 수록 반응은 빨랐다. $E_{\alpha}$${\Delta}S^{\neq}$ 사이에는 동속관계가 성립되었고 동속온도는 240$^{\circ}$K 였다. Bronsted 도시는 4-아미노피리딘을 제외하고는 1ogk=0.22pKa-3.7l (r=0.986)의 직선이 얻어졌다. Hammett 식에서도 역시 4-아미노피리딘을 제외하고 logk=-1.33${\sigma}$+0.08 (r=-0 987)의 직선이었다. 이와 같이 4-아미노피리딘의 편차는 용매효과와 공명효과 및 ${\sigma}$ 값 그 자체에 기인된다고 생각된다. 이상의 결과로서 본 반응은 전이상태에서 C…N 결합형성에 의하여 반응이 결정되는 $S_N2$ 반응메카니즘으로 진행된다는 것을 알았다.

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3차 아민의 4차화반응에 관한 연구 (제2보). 치환 브롬화페나실류와 치환 피리딘류와의 반응에 관한 반응속도론적 연구 (Studies on the Quaternization of Tertiary Amines (Ⅱ). Kinetics and Mechanism for the Reaction of Substituted Phenacyl Bromides with Substituted Pyridines)

  • 여수동;심광택;이경아
    • 대한화학회지
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    • 제25권2호
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    • pp.110-118
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    • 1981
  • 치환 브롬화페나실과 치환 피리딘과의 반응속도를 메탄올과 DMF 용매중, 25∼$45^{\circ}C$의 온도범위에서 전기전도도법으로 측정하였다. 그 결과 두 용매 다 같이 치환 피리딘에서는 전자를 주는 기가 치환되었을 경우 반응속도 상수는 컸으며, 반대로 전자를 끄는 치환기일 경우는 반응속도 상수가 작았다. 기질에서의 치환기 효과는 핵에 전자를 끄는기가 치환되었을 경우 반응속도는 증가하였다. 이 사실들은 탄소원자에 아민이 친핵적으로 공격한다는 것을 알 수 있다. 브롬화페나실과 피리딘의 반응에서 보여준 등속온도는 메탄올과 DMF에서 각각 614와 $202^{\circ}K$였고 $Br{\phi}nsted {\beta}$값은 0.29와 0.36이었다. 치환 브롬화페나실과 피리딘과의 반응의 경우는 등속온도는 전자를 끄는 치환기일 수록 감소하였으며, ${\beta}$값은 그 반대였다. 위의 결과로부터 p-Cl에서 p-MeO 브롬화페니실로 감에 따라 N…C 결합형성이 점차적으로 줄어들고 있으며 결합 형성은 DMF가 메탄올보다 우세하게 진전함을 추측할 수 있다. 치환 피리딘의 경우 Hammett식의 ${\rho}$값은 양 용매에서 모두 부(-)의 값을 가졌다. 핵 치환 브롬화페나실에서의 ${\rho}$값은 0.3의 적은 값이었으며 이는 메틸렌탄소에 피리딘의 질소 원자가 직접적으로 $S_N2$공격을 한다고 생각된다.

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Diethylaminoethyl Chitin 유도체의 제조와 그들의 응집거동에 관한 연구 (Synthesis of The Diethylaminoethyl Chitin Derivatives and Their Flocculating Behavior)

  • 김천호;김소연;정병옥;김재진;최규석
    • 공업화학
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    • 제8권2호
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    • pp.237-245
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    • 1997
  • DEAE-chitin은 alkali-chitin 용액에 DEAE HCl을 이용하여 제조하였다. 제조된 DEAE-chitin은 물과 유기용매에 대한 향상된 용해성을 나타내었다. DEAE-chitin은 chitin의 탈아세틸화반응보다 온화한 조건인 sodium borohydride를 함유하고 있는 10% 수산화나트륨 수용액으로 $80^{\circ}C$에서 9시간동안 탈아세틸화반응을 행하여 DEAE-chitosan을 제조하였고, DEAE-chitin의 양이 온성을 증가시키기 위해 ethyl halide를 이용하여 4차화시킴으로써 4차 암모늄기를 가진 TEAE-chitin유도체를 각각 합성하였다. 이들 합성유도체들의 반응에 따른 구조변화는 FTIR, $^1H$ NMR 등으로 확인하였고, 카올린 현탁액을 이용한 응집실험결과 pH가 약 알칼리일 때, 그리고 수지농도가 8ppm일 때 최적의 응집성능을 나타냄을 알 수 있었다.

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차 아민의 4차화 반응에 관한 연구 (제3보). 치환 ${\beta}$-Phenylethyl Arenesulfonate 류와 피리딘의 반응에 관한 반응속도론적 연구 (Studies on the Quaternization of Tertiary Amines (III). Kinetics and Mechanism for the Reaction of Substituted ${\beta}$-Phenylethyl Arenesulfonates with Pyridine)

  • 여수동;이경아;박성식
    • 대한화학회지
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    • 제26권5호
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    • pp.333-339
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    • 1982
  • 치환 ${\beta}$-phenylethyl arenesulfonates와 피리딘의 반응에 관한 기질과 이탈기의 치환기 효과를 아세토니트릴 중, 전기 전도도 법으로 50∼70$^{\circ}$C의 범위에서 측정하였다. 기질의 치환기 효과는 기대할 정도의 큰 의미를 갖지 못했으며, 전자를 주는 치환기는 반응속도가 빨랐고 ${\rho}$값은 전 치환기를 통해 매우 적은 음(-)의 값을 가졌다. 또 Hammett 도시에서는 benzyl계 같이 현저하지는 않으나 약한 커어브를 나타내었다. 이 사실 들로서 전자주게 치환기일 경우 전이상태에서 약하게나마 결합의 깨어짐이 촉진됨을 뜻한다. 이탈기의 치환기 효과는 전자주게일 경우 반응속도는 느렸으며 전자를 끄는기에서는 그 반대였다. 또한 Hammett ${\rho}$값은 p-nitrobenzyl arenesulfonates보다 아주 적어 tight 한 SN2 반응 메카니즘으로 진행되는 것 같다. 특히, $S_N2$반응 메카니즘으로 진행되는 것 같다. 특히 2,5-이 치환 염화물의 반응속도는 치환기 상수의 가성성에서 기대한 값보다 아주 컸으며, 이는 전이상태에서 이탈기의 음 이온이 두 강하게 끄는 치환기에 의해 안정와 되기 때문이다.

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Michael Addition Reaction을 이용한 신규 Ester Quaternary Ammonium Salt 양이온 계면활성제의 합성 (Synthesis of Novel Ester Quaternary Ammonium Cationic Surfactants via Michael Addition Reaction)

  • 강은경;정선화;정가영;이병민
    • 한국응용과학기술학회지
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    • 제34권1호
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    • pp.142-151
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    • 2017
  • 양이온 계면활성제는 살균력을 가지고 있으며 이를 개발하기 위한 연구는 다양한 산업분야에서 계속 진행되고 있다. 단순히 우수한 성능을 가질 뿐만 아니라 생분해성이 우수한 계면활성제를 개발하기 위한 연구는 증가되고 있다. 본 연구에서는 Michael addition 반응을 통하여 ester-type의 양이온 계면활성제를 합성하였다. 실온에서 촉매없이 alkyl acrylate와 1차 아민을 가지는 화합물을 합성한 뒤 dimethyl sulfate 로 4차화시킨다. 2개의 소수기와 한 개의 친수기를 갖는 HQ21과 2개의 소수기와 2개의 친수기를 갖는 HQ22를 합성하였다. 이들 합성화합물은 1H-NMR, HR-MS 와 FT-IR로 구조를 확인하였으며 생분해성을 측정하였다.

고분자 반응에 의한 거의 완전 4차화된 폴리(4-비닐피리딘)의 합성 및 도데실 황산 소듐과의 응집 특성 (Synthesis of Almost Fully Quavternized Poly(4-vinylpyridine)s by Polymer Reaction and Aggregation Property with Sodium Dodecyl Sulfate)

  • 심후식;최이준;김용철;박일현
    • 폴리머
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    • 제30권6호
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    • pp.556-562
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    • 2006
  • 분자량이 다른 두 가지 폴리(4-비닐피리딘) (Mw=50 kg/mol 및 200 kg/mol)을 알킬기의 탄소수(m)를 변화시키면서 N-알킬화시켜 이온성 고분자를 합성하였다. 알킬화제로서 디메틸 설페이트(m=1) 및 브롬화 알칸(m=5, 8, 12, 16 및 22)을 사용하였다. 합성한 이온성 고분자의 조성은 NMR 분광분석법 및 원소분석법을 사용하여 결정하였다. 그 결과로써 거의 완전한 4차 알킬화 반응에 의해 전해질 고분자가 얻어졌음을 알 수 있었다. 합성한 전해질고분자의 수용액에 도데실 황산 소듐(SDS)을 첨가 시 발생되는 탁도 변화를 조사하여 임계응집농도(CAC)를 결정하였으며, 이러한 CAC가 고분자의 분자량, N-알킬기의 길이 및 NaCl의 농도 변화에 어떻게 의존하는가를 조사하였다. 결과로써 폴리(4-비닐피리딘)의 분자량이 클수록 또한 알킬 곁사슬의 길이가 길수록 더 적은 양의 SDS 첨가로도 응집체가 형성되었음을 알 수 있었다.