• 제목/요약/키워드: 3D packaging materials

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유기물 첨가제와 펄스-역펄스 전착법을 이용한 구리 Via Filling에 관한 연구 (Copper Via Filling Using Organic Additives and Wave Current Electroplating)

  • 이석이;이재호
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제14권3호
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    • pp.37-42
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    • 2007
  • 반도체 소자의 집적도가 높아짐에 따라 3D SiP에 대한 관심이 높아지고 전기도금법을 이용한 구리 via filling이 활발히 연구되어왔다. Via filling시 via 입구와 바닥에 전류밀도 차이로 인해 via 내부에 결함이 발생하기 쉽다. 여러 가지 유기물 첨가제와 전류인가 방식의 변화를 통한 via filling을 하였다. 첨가된 유기물은 PEG, SPS, JGB, PEI를 사용하였다. 유기물이 첨가된 용액을 이용하여 펄스와 역펄스 방법을 이용하여 via filling을 하였다. 유기물의 첨가에 따른 도금된 구리 입자의 크기 및 형상에 관하여 고찰하였으며 도금 후 via 시편의 단면을 FESEM으로 관찰하였다. JGB에 비하여 PEI를 사용한 경우 치밀한 도금층을 얻을 수 있었다. 2 step via filling을 사용한 경우 via filling 시간을 단축시킬 수 있었다.

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FFF 방식으로 제작된 PLA의 열화에 따른 선형탄성 및 초탄성 모델의 비교에 관한 연구 (A Comparative Study of the Linear-elastic and Hyperelastic Models for Degradation of PLA Prepared using Fused Filament Fabrication)

  • 최나연;신병철;장성욱
    • 한국기계가공학회지
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    • 제19권3호
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    • pp.1-7
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    • 2020
  • Fused filament fabrication (FFF) is a process extruding and stacking materials. PLA materials are one of the most frequently used materials for FFF method of 3D printing. Polylactic acid (PLA)-based materials are among the most widely used materials for FFF-based three-dimensional (3D) printing. PLA is an eco-friendly material made using starch extracted from corn, as opposed to plastic made using conventional petroleum resin; PLA-based materials are used in various fields, such as packaging, aerospace, and medicines. However, it is important to analyze the mechanical properties of theses materials, such as elastic strength, before using them as structural materials. In this study, the reliability of PLA-based materials is assessed through an analysis of the changes in the linear elasticity of these materials under thermal degradation by applying a hyperelastic analytical model.

Wide-bandgap 전력반도체 패키징을 위한 Ag 소결 다이접합 기술 (Ag Sintering Die Attach Technology for Wide-bandgap Power Semiconductor Packaging)

  • 김민수;김동진
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제30권1호
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    • pp.1-16
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    • 2023
  • 전기차용 전력변환모듈의 성능향상 요구와 종래의 Si 전력반도체의 한계 극복을 위해 차세대 전력반도체인 wide-bandgap (WBG) 기반 전력반도체로의 전환이 가속화되고 있다. WBG 전력반도체로의 전환을 위해 전력변환모듈 패키징 소재 역시 높은 고온 내구성을 요구받고 있다. 전력변환모듈 패키징 공정 중 하나인 Ag 소결 다이접합 기술은 종래의 고온용 Pb 솔더링의 대체 기술로 주목받고 있다. 본 논문에서는 Ag 소결 다이접합 기술 관련 최신 연구동향에 대해 소개하고자 한다. 소결 다이접합 공정 조건에 따른 접합부 특성을 비교하고 Ag 소결층의 3차원 이미지 구현에 따른 다공성 Ag 소결 접합부의 물성 측정 방법론에 대해 고찰하였다. 또한 열충격 및 파워사이클 신뢰성 평가 연구동향을 분석하였다.

Cu 두께에 따른 Cu-Cu 열 압착 웨이퍼 접합부의 접합 특성 평가 (Cu Thickness Effects on Bonding Characteristics in Cu-Cu Direct Bonds)

  • 김재원;정명혁;;;;이학주;현승민;박영배
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제17권4호
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    • pp.61-66
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    • 2010
  • 3차원 TSV 접합 시접합 두께 및 전, 후 추가 공정 처리가 Cu-Cu 열 압착 접합에 미치는 영향을 알아보기 위해 0.25, 0.5, 1.5, 3.0 um 두께로 Cu 박막을 제작한 후 접합 전 $300^{\circ}C$에서 15분간 $Ar+H_2$, 분위기에서 열처리 후 $300^{\circ}C$에서 30분 접합 후 후속 열처리 효과를 실시하여 계면접착에너지를 4점굽힘 시험법을 통해 평가하였다. FIB 이미지 확인 결과 Cu 두께에 상관없이 열 압착 접합이 잘 이루어져 있었다. 계면접착에너지 역시 두께에 상관없이 $4.34{\pm}0.17J/m^2$ 값을 얻었으며, 파괴된 계면을 분석 한 결과 $Ta/SiO_2$의 약한 계면에서 파괴가 일어났음을 확인하였다.

종이 기반과 플라스틱 기반 보건마스크 패키징의 환경영향 비교 (Comparison of Environmental Evaluation for Paper and Plastic Based Mask Packaging)

  • 강동호;고유진;오상훈;추고현;장지수;이준혁;심진기
    • 한국포장학회지
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    • 제30권1호
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    • pp.73-83
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    • 2024
  • In this study, environmental evaluation of high barrier coated paper (coating layer/paper) packaging is conducted in comparison with conventional aluminum laminated (PET/VMPET/LLDPE) plastic packaging. The target product for this packaging is a KF94 mask, which requires a high barrier of water and oxygen to maintain the filtration ability of the mask filter. The functional unit of this study is 10,000 mask packaging materials based on a material capable of blocking oxygen (<1 g/m2day) and moisture (<3 g/m2day) for the preservation of KF94 masks. In order to understand the results easily, paper-based mask packaging system divided into 6 stages (pulp, pulping & paper making, calendaring & coating, printing, packing and waste management), while plastic-based mask packaging consists of 5 stages (material production, processing, printing, packing, waste management) In case of paper-based mask packaging, most contributing stage is calendaring & coating, resulting from heat and electricity production. On the other hand, plastic-based mask packaging is contributed more than 30% by material production, specifically due to linear low density polyethylene and purified terephthalic acid production. The comparison results show that global warming potential of paper-based mask packaging has 32% lower than that of plastic-based mask packaging. Most of other impact indicators revealed in similar trend.

구리 Through Via 전해연마에 미치는 첨가제의 영향 연구 (The Effects of Additives on the Electropolishing of Copper Through Via)

  • 이석이;이재호
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.45-50
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    • 2008
  • Through via 3D SiP의 평탄화 공정에 적용하기 위해 전기도금법을 이용하여 직경 $50{\mu}m$$20{\mu}m$ via를 구리로 채운 후 전해연마를 실시하여 전해액 종류와 첨가제에 따른 특성을 분석하였다. 전해연마시 양극과 음극의 전위차 변화를 측정하여 평탄화 공정의 종료 시점을 판단하였다. 인산에 가속제인 acetic acid와 억제제인 glycerol을 첨가한 전해액으로 전해연마를 실시하여 via 형상 안팎의 단차를 제거하면서 평탄화를 이를 수 있었고, 양극과 음극의 전위차가 급격히 증가하는 시점에서 공정을 종료하여 via 위에 과도금된 구리만을 제거할 수 있었다.

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Characterization of Mechanical Property Change in Polymer Aerogels Depending on the Ligand Structure of Acrylate Monomer

  • Lee, Kyu-Yeon;Jung, Hae-Noo-Ree;Mahadik, D.B.;Park, Hyung-Ho
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제23권3호
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    • pp.15-20
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    • 2016
  • In an effort to overcome the weakness of aerogel, polymer aerogels have been prepared by copolymerizing the different types of monomers through sol-gel process. Polymerizing the successive phase of a high internal phase emulsion, which has interconnected porous structure, porous polymer aerogel can be manufactured. In this paper, we use the styrene/divinylbenzene chain as a basic monomer structure, and additionally use 2-ethylhexyl methacrylate (2-EHMA) or 2-ethylhexyl acrylate (2-EHA) as monomers for distinguishing the visible mechanical properties of synthesized polymer aerogel. We can observe the different tendency of polymer aerogels by kinds of monomer or ratio. Flexibility and microstructure can be changed by the types of monomer. EHA polymer aerogel shows high flexibility and thin microstructure, and EHMA polymer aerogel shows high hardness and thick microstructure. EHA/EHMA polymer aerogel shows the intermediate nature between them. By utilizing the mechanical properties of three types of polymer aerogels to adequate situation or environment, polymer aerogels could be used as drug agent, ion exchange resin, oil filter and insulator, and so on.

Fe-Si 전기강판 폐스크랩을 이용한 3원계 Fe-9.8Si-6.0Al 합금의 연자성 특성 (Soft Magnetic Property of Ternary Fe-9.8Si-6.0Al Alloy Using by Recycling Fe-Si Electrical Steel Sheet Scrap)

  • 홍원식;양형우;박지연;오철민;이우성;김승겸;한상조;심금택;김휘준
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제24권1호
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    • pp.1-8
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    • 2017
  • Fe-9.8Si-6.0Al mother alloy was manufactured using by Fe-3.5Si recycled scrap and Si powder. And then, soft magnetic alloy powder of $D_{50}$ size and sphere type were prepared by gas atomization process. To obtain the soft magnetic powder of a high aspect ratio, in the first, we conducted the ball milling process for 8 hours. And heat treatment was performed under $650^{\circ}C$, 2 hours and $N_2$ atmosphere condition for reducing the residual stress of the powder. Based on these process, we made around $50{\mu}m$ diameter Fe-9.8Si-6.0Al powder, which morphology and shape was a similar to the commercial Fe-Si-Al powder. Finally, the soft magnetic sheets were prepared by tape casting process using by those powders. The permeability of the tape casting sheet was measured, and we confirmed the possibility of reusing to the soft magnetic materials of Fe-Si electric sheet scrap.

증류수 및 NaCl 용액내 SnPb 솔더 합금의 Electrochemical Migration 우세 확산원소 분석 (Dominant Migration Element in Electrochemical Migration of Eutectic SnPb Solder Alloy in D. I. Water and NaCl Solutions)

  • 정자영;이신복;유영란;김영식;주영창;박영배
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제13권3호
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    • pp.1-8
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    • 2006
  • 인쇄회로기판이나 플라스틱 패키지 등 다양한 전자소자 부품내 배선간 간격이 갈수록 좁아짐에 따라 최근 많이 발생하고 있는 electrochemical migration(ECM) 현상은 양극에서 이온화된 금속에 의한 conductive anodic filament(CAF) 및 덴드라이트와 같은 전도성 필라멘트의 성장으로 인해 전자부품의 절연파괴를 일으키고 있다. 본 연구에서는 공정조성 Sn-37Pb솔더 합금의 ECM 거동과 부식특성 사이의 연관성 평가를 통해 ECM 우세원소를 파악하기 위해 D.I Water 및 NaCl 용액에서 Water Drop Test(WDT)와 분극실험을 실시하여 서로 비교하였다. WDT 실시 결과 공정조성 Sn-37Pb 솔더 합금에서 Pb-rich 상이 Sn-rich 상보다 우선적으로 양극 패드에서 녹아나서 상대적으로 ECM 저항성이 낮았으며, 음극패드에서 자라난 덴드라이트에도 Pb가 훨씬 많이 존재하였다. NaCl에서의 분극실험 결과 전기화학적으로 부동태 피막을 형성하는 Sn에 비해 Pb의 부식속도가 크게 나타났으며, WDT의 결과와 같은 경향을 보였다. 따라서 공정조성 SnPb 솔더 합금의 부식저항성과 ECM 저항성 사이에는 좋은 상관관계가 존재한다.

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펄스-역펄스 전착법을 이용한 SiP용 via의 구리 충진에 관한 연구 (Electroplating of Copper Using Pulse-Reverse Electroplating Method for SiP Via Filling)

  • 배진수;장근호;이재호
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제12권2호
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    • pp.129-134
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    • 2005
  • SiP의 3D패키지에 있어서 구리도금은 매우 중요한 역할을 한다 이러한 구리 도금의 조건을 알아보기 위하여 조건이 다른 전해질에서 전기화학적 I-V특성을 분석하였다. 첨가제로 억제제와 촉진제의 특성을 분석하였다. 3D 패키지에 있어서 직경 50, 75, $100{\mu}m$의 via를 사용하였다. Via의 높이는 $100{\mu}m$로 동일하였다. Via의 내부는 확산방지층으로 Ta을 전도성 씨앗층으로 Cu를 magnetron 스퍼터링 방법으로 도포하였다. 직류, 펄스, 펄스-역펄스 등 전류의 파형을 변화시키면서 구리 도금을 하였다. 직류만 사용하였을 경우에는 결함 없이 via가 채워지지 않았으며 펄스도금을 한 경우 구리 충진이 개선을 되었으나 결함이 발생하였다. 펄스-역펄스를 사용한 경우 결함 없는 구리 충진층을 얻을 수 있었다.

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