RF 스위치 적용을 위한 박막 PZT 엑추에이터의 $d_{31}$ 구동과 $d_{33}$ 구동 특성 비교
(Comparison between $d_{31}\;and\;d_{33}$ actuation characterization of the PZT micro-actuator for RF MEMS switch)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문집
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- pp.467-468
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- 2006