• 한국광학회지
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• 제13권2호
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• pp.98-104
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• 2002

비구면 광학부품의 수차 측정 및 성능 평가를 위해 특별 설계된 층밀리기 간섭계를 소개하고, 이와 더불어 층밀리기 간섭계가 갖는 자체의 계통오차를 측정결과로부터 제거하기 위한 보정 방법을 제안한다. 층밀리기 간섭계의 계통오차는 크게 간섭광학계가 갖는 광학오차와 간섭계의 기구부의 불완전에 기인한 층밀리기 방향의 직교오차로 구분할 수 있다. 이들 두 계통 오차들은 모두 본 논문에서 제안하는 방법으로 모두 보정될 수 있다. 보정 방법은 측정 대상물을 간섭계의 광축을 중심으로 회전하여 측정결과로부터 계통오차를 분리하는 자가보정 원리에 근거한다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1995년도 추계학술대회 논문집
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• pp.384-387
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• 1995

Two axes lateral-shearing interferometer(LSI) specially devised for production line inspection lenses is presented. The interferometer composed with four prisms and a dove prism can test the lens performance including asymmetric aspheric lens. The dove prism which rotates the input image with respect to optical axis makes it possible. The wavefront passing through the test lens is reconstsucted by the phase derivative obtained form the two axes LSI system. Zernike-polynomials fitting of this wavefront is presented for determinating quantitative aberration of aspherical lenses.