• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 춘계 학술대회
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• pp.180-183
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• 2005

본 논문에서는 새로운 형태의 혼합형 5자유도 마이크로 매니퓰레이터를 제안하고 개발하고자 한다. 제안된 기구는 평면형 2자유도 XY-stage와 공간형 3자유도 병렬 기구로 구성된다. 3자유도 병렬기구는 3개의 직렬체인으로 이루어져 있으며, 공간상에서 두 방향의 회전 움직임과 Z축 방향으로의 병진운동을 생성한다. 모의실험을 통하여 개발된 기구의 작업공간과 출력단에서의 정밀도 해석을 수행한다. 개발된 기구는 조작 대상 물체의 미세 위치제어를 필요로 하는 반도체 및 기계, 생물, 의료분야 등에 적용 될 수 있다.

• 제어로봇시스템학회지
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• 제5권2호
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• pp.23-28
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• 1999

• 한국정밀공학회지
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• 제18권7호
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• pp.9-18
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• 2001

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2001년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.519-522
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• 2001

In this paper, I propose double parallel manipulator for machining work. And I derive an kinematics by combining the kinematics of the central axis and the kinematics of the link train of linear actuator. The Jacobian of the central axis and the Jacobian of the link train of the linear actuators are induced by a motor algebra and they are combined to an entire Jacobian matrix to transform the velocity of the end effector to those of linear actuators. And then this paper presents the development of control system and user interface program for machining work.