Fabrication of High Aspect Ratio 100nm-Scale Nickel Stamper Using E-Beam Writing based on Chrome/Quartz Mask Without Anti-Reflection Layer for Injection Molding of Optical Grating Patterns (광학 그레이팅의 사출성형제작을 위한 전자빔과 무반사 코팅층이 없는 크롬/퀄츠 마스크를 이용한 고종횡비 100nm 급 니켈 스탬퍼의 제작)
-
- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
- /
- v.28 no.11
- /
- pp.1794-1798
- /
- 2004