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마이크로웨이브 기반 플라즈마 진단 기술

유광호;김대웅;권지혜;유신재;김정형
- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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- pp.91.2-91.2
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- 2016
반도체 및 디스플레이 등과 같은 전자산업분야에 플라즈마를 이용한 생산공정이 폭넓게 활용됨에 따라서 공정 결과를 예측하고 조절할 수 있는 플라즈마 변수 측정 및 진단기술의 중요성은 더욱 증가되고 있다. 플라즈마 진단을 위해 가장 많이 사용되고 있는 량뮤어 탐침(Langmuir Probe)은 수십 볼트(V)의 전압을 탐침에 인가하여 들어오는 전류(I)를 측정한 I-V curve의 해석을 바탕으로 플라즈마 변수들(전자밀도, 전자온도, 플라즈마 전위, ${\cdots}$)을 측정하는 방법으로 탐침에 인가한 전압으로 인하여 플라즈마가 영향을 받고 이로인하여 공정 결과에 변화를 줄 수 있다. 또한, 증착공정과 같이 공정과정 중에 탐침의 증착으로 인해 탐침으로 들어와야하는 전자 및 이온의 양이 감소하여 측정에 오차가 발생할 수 있어 공정 플라즈마 진단에 적합하지 않다. 따라서 공정 플라즈마의 정확한 측정을 위해서는 플라즈마에 대한 영향을 최소화하고 증착으로 인하여 탐침이 오염 되는 환경에서도 플라즈마 변수를 정확히 측정할 수 있는 진단 장치가 요구된다. 마이크로웨이브를 이용한 진단장치들은 1 mW 이하의 매우 작은 파워를 사용하기 때문에 플라즈마에 영향을 최소화하여 보다 정확한 플라즈마 진단이 가능하다. 또, 유전체 투과특성이 있는 마이크로웨이브를 이용하기 때문에 탐침이 유전체로 증착되었다 하더라도 측정에는 문제가 없어 공정 플라즈마 진단에 용이하다. 이런 장점들로 인하여 헤어핀 탐침(Hairpin probe), 컷오프 탐침(cutoff probe), 임피던스 탐침(Impedance probe) 등과 같이 마이크로웨이브를 이용하여 다양한 형태의 진단 장치들이 개발되었다. 본 발표에서는 마이크로웨이브를 이용한 다양한 형태의 진단 장치들을 소개하고 각각이 가지는 장단점을 정리하여 각 진단장치들이 측정이 적합한 영역을 소개할 예정이다.
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측정환경과 보관환경이 포스파젠 진단막을 이용한 혈당측정에 미치는 영향 (Effects of Testing and Storage Environments on the Blood Glucose Measurements by Using Phosphazene Diagnostic Membranes)

권석기
- 멤브레인
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- 제22권5호
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- pp.301-308
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- 2012
당뇨병 환자의 혈당치 측정을 위하여 포스파젠 진단막을 제조하였다. 활성화된 포스파젠 진단막을 이용해 혈액 속의 글루코우즈의 농도를 변화시켜가며 여러 온도와 습도에서 680 nm에서의 최종흡광도를 측정하였다. 측정 온도와 습도는 시간에 따른 흡광도 변화량(K/S)의 최종 결과치에 크게 영향을 주지 않았다. 여러 가지 온도에서 활성화된 포스파젠 진단막을 3일, 1주, 3주, 5주간 보관한 후 보관온도가 글루코우즈의 농도 측정에 미치는 영향을 조사하였다. 그리고 상대습도 80%에서도 포스파젠 진단막의 안정성이 확인되었다.
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PAN 기반 무선 원격 차량진단 시스템 (Wireless Remote Vehicle Diagnostic System Based on Personal Area Network(PAN))

정두희;김평수;안현식;김도현;정구민
- 한국방송∙미디어공학회:학술대회논문집
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- 한국방송공학회 2005년도 학술대회
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- pp.203-206
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- 2005
차량 진단 기능이 탑재된 원격 서버, 제어 신호 중계 기능을 가진 휴대폰용 어플리케이션, 그리고 신호 변환을 위한 converting 보드를 사용하여 기존의 차량진단기(scanner)와 동일한 기능을 가지는 원격차량진단 시스템을 제안한다. 원격 서버에서 직접 차량 진단 기능을 수행함으로써 진단 이력에 대한 자동 관리가 가능하며 다양한 부가 서비스를 연계하여 제공할 수 있다. 또한 신규 차종에 대하여 원격 서버 프로그램의 변경으로 대응이 가능하므로 기존 방식처럼 신규 차종에 대한 개별 upgrade가 필요 없다. 제안한 방식은 저가의 진단 시스템 구축이 가능하므로 영업소에서만 사용되던 차량 진단기를 개별 사용자가 사용할 수 있게 해준다. 또한 bluetooth의 Serial Port Profile을 기반으로 휴대전화기와 converting 보드간의 선을 제거함으로써 사용자가 간단하게 진단 어플리케이션이 탑재된 bluetooth handset에서 진단을 할 수 있다. 실험을 통하여 제안한 방식의 실제 환경에서 잘 동작함을 검증하였다.
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온톨로지를 이용한 학습 장애 진단시스템 설계 및 구현 (Design and Implementation of a Learning Disorder Diagnosis System using Ontology)

한국정보교육학회
- 정보교육학회논문지
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- 제9권4호
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- pp.571-579
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- 2005
교수-학습과정에서 학습자가 가지고 있는 학습 장애는 학습 결과에 많은 영향을 미친다. 학습자의 학습 장애를 정확하게 진단하고 이를 고려한 수업 활동이 전개되어야 효과적인 교수-학습 활동이 이루어 질 수 있다. 학습 장애의 특성상 장애 진단과 처방과정에서는 비공개적인 접근이 요구된다. 인터넷 기반의 온라인 학습 장애 진단과 처방시스템은 이와 같은 문제를 해결할 수 있는 유용한 방안 중의 하나가 될 것이다. 하지만 기 구축되어 운영 중인 온라인 기반 학습 장애 관련 사이트들은 학습 장애를 진단해 주고 처방해 주기 보다는 학습 장애 정보를 안내해 주는 정도의 수준에 에 그치고 있다. 단순히 웹문서 형태의 정보제공 체제이거나 텍스트 기반의 지식 전달 체계로 인하여 학습자 개개인의 특성을 고려한 장애 진단에 한계점을 가지고 있다. 학습 장애에 대한 지식을 체계화함과 동시에 일정한 기준에 의해 연관성을 지어 줄 수 있는 의미 분석과 추론 등의 방법에 사용되어지는 온톨로지를 활용하게 되면 기존의 시스템이 가지는 제한점들을 극복할 수 있을 것이다. 이에 본 연구에서는 온라인 상황에서 학습자의 학습 장애를 정확하게 진단하기 위해 온톨로지를 이용하여 학습장애 진단 시스템을 설계하고 구현하였다. 온톨로지의 구축에 사용된 도구는 protege-2000을 사용하였다. 진단시스템 개발 환경으로 학습자의 인터페이스는 Visual C++, 교사의 인터페이스는 Visual Studio.NET을 사용하였으며, DBMS는 Microsoft Office Access와 MS-SQL Server를 사용하였다. 이 연구는 OWL 온톨로지를 사용하여 보다 지능화된 학습 장애 진단시스템을 개발함으로써 실현 가능성을 제안하고 있는 것이 연구의 의의이다.
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