• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.583-583
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• 2013

화학 기상 증착법(Chemical Vapor Deposition)이나 플라즈마 식각(Etch) 등의 반도체 공정에서 챔버 내벽의 상태에 대한 모니터링은 매우 중요하다. 챔버 벽면에 증착된 유기 또는 무기 물질이 다시 떨어져 나와 불순물 입자 형성의 원인이 되며, 플라즈마를 원하지 않는 상태로 바꾸어 놓아 공정 조건이 달라질 수도 있기 때문에 반도체 제조 수율 저하를 초래하기도 한다. 본 연구에서는 챔버 벽면이 증착되는 환경에서 평판형 탐침을 삽입하여, 증착된 박막의 두께측정 기술을 개발하였다. 전기적으로 부유된 평판 탐침에 정현파 전압을 인가하고 이 경우 플라즈마로부터 들어오는 전류의 크기 및 위상차 측정을 통해 대략적인 증착 박막 두께를 측정 하였다. 플라즈마와 챔버 벽 사이에 존재하는 쉬스의 회로 모델을 적용하여 플라즈마 상태에 무관하고, 가스 종류 및 유량, 입력 전력, 챔버 내부 압력등의 외부 변수에도 독립적으로 측정이 가능하였다. 본 연구는 반도체 장비에서 내벽 모니터링을 통해, PM 주기 조정을 최적화 시키는 잣대의 역할을 할 수 있을 것이다. 더 나아가, 반도체생산 수율 향상에 많은 도움이 될 것이다.

• Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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• 2003.11a
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• pp.239-240
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• 2003

스모그 챔버는 대기 중 성분들의 화학 반응 기작을 연구하는데 사용되고 있다. 그러나, 기존 연구에서는 광화학 반응 전구물질의 농도가 실제 대기 농도보다 높고, 청정 공기에 연구 대상 전구물질만을 주입한 단순 혼합물을 이용하였으며, 여러 날에 걸쳐 반응이 진행된 성분들을 이용하지 않았다 (Dodge, 2000). 이와 달리 본 연구팀에서는 실내 스모그 챔버에 실제 대기를 도입하여 광화학 반응 실험을 수행하고 있다 (배귀남 등, 2003). 한 개의 스모그 챔버를 이용하는 경우 외기의 특성상 매 실험마다 초기조건이 달라지기 때문에 단일 인자의 차이에 따른 영향을 파악하기가 쉽지 않았다 (배귀남 등, 2003b). (중략)

• Proceedings of the Korean Reliability Society Conference
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• 2006.05a
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• pp.32-39
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• 2006

전자 부품의 신뢰성 평가를 위해서 다양한 방법의 시험법이 사용된다. 전자 부품은 반복적인 작동과 휴식에 의한 열피로를 받게 된다. 이에 대한 신뢰성 평가를 위해 오래전부터 다양한 시험 규격이 만들어지고, 그에 따라 열챔버를 이용한 챔버 사이클링 시험이 수행되고 있다. 하지만, 최근에는 이러한 시험 규격들에 대한 문제가 지적되고 있으며, 또한 챔버 사이클링을 이용한 가속 실험의 경우 실제 작동환경을 완벽히 묘사하지 못하며, 가속할 수 있는 정도가 제한되고 있다. 본 연구에서는 파워 사이클링 시험을 묘사하는 시험 방법을 제안하고, 그를 이용하여 BGA 패키지의 솔더 조인트에 대한 열피로 시험을 수행하였다. 본 연구에서 제안된 파워 사이클링 시험기는 실제 작동 환경과 유사한 온도 구배를 패키지에 만들어 준다. 그리고 패키지에 열전도를 이용하여 열을 공급함으로써, 대류를 통해 열을 공급하는 챔버 사이클링 시험에 비해 빠르게 가열 및 냉각이 가능하다. 파워사이클링 테스트 방법을 이용하여 다양한 온도 조건에 대해 열피로 수행하여 솔더 조인트의 열피로 특성을 평가하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.49-49
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• 2010

본 논문은 진공챔버 내부에서 위성 표면의 온도를 제어하기 위한 할로겐램프를 이용한 적외선 발열장치의 개발에 관한 것으로, 인공위성이 우주궤도에서 받게 되는 복사에너지를 지상의 진공챔버 내에서 모사하기 위한 비접촉 적외선 발열장치에 관한 것이다. 진공챔버 내에서의 비접촉식 발열 방법 중, 진공환경에서의 오염을 발생시키지 않고, 발열 시간 및 냉각 시간이 가장 짧으며, 높은 열효율로 태양복사에너지를 가장 근사하게 모사할 수 있는 할로겐 램프를 이용한 발열 방법을 적용하였으며, 램프에서 방사되는 열에너지가 위성표면에 균일하게 분포될 수 있도록 위성 표면으로부터의 거리와 램프의 개수, 램프의 배열에 따른 에너지 분포 계산식을 도출하여 적용하였다. 공급 전압에 따른 램프의 저항특성을 파악하여, 원격으로 제어되는 150 VDC, 5 A의 직류전원공급기를 이용해 램프의 발열량을 조절하였으며, 발열량에 따른 위성 표면온도에 대한 해석을 수행하였다. 램프를 이용한 비접촉식 적외선 발열장치 개발을 통해 진공환경에서의 시험대상에 대한 효율적인 열에너지 부과방법 수립이 가능하였다.

• Aerospace Engineering and Technology
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• v.4 no.1
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• pp.57-65
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• 2005

Due to the future of a large size satellite like Geo-stationary orbit satellite, KARI has progressed the construction of Large Thermal Vacuum Chamber(LTVC) with Φ8mXL10m, which simulates the orbit environment at space. The space environment can be characterized as very harsh conditions. Once the spacecraft is launched and enters its orbit, the satellite is exposed to this space environment. The continuous exposure to such space environment could cause malfunction of major parts of the spacecraft, which could lead to the failure of the entire mission. Due to the fact that space environment is completely different from that of the ground, the satellite that functioned normally on the ground could show some unexpected malfunction in space environment. For this reason, the performance of the spacecraft must be confirmed under the simulated conditions of the space environment. This document includes LTVC control logic, Interlock by which the LTVC can be controlled more safely and efficiently.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.102.1-102.1
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• 2015

플라즈마를 이용한 건식식각공정은 식각하고자 하는 기판과 더불어 챔버 내부를 구성하고 있는 부품들이 플라즈마에 함께 노출되는 환경이다. 챔버 내부가 장시간 플라즈마에 노출되어 열화 되면 기판의 불량을 야기하는 오염입자의 발생이 증가하므로 양산 공정에서는 그 때마다 내부 부품을 교체하여 청정한 공정 환경을 유지시킨다. 공정 챔버의 내부 부품은 플라즈마로 인한 열화를 방지하기 위하여 내플라즈마성이 우수하다고 알려진 코팅처리를 하여 사용한다. 금까지 플라즈마 식각 공정에 관한 연구는 식각하고자 하는 기판관점에서 활발히 이루어져 왔으나 내플라즈마성 코팅소재 관점에서의 연구 보고는 미미한 실정이다. 본 연구에서는 장시간의 양산공정을 모사하는 가혹한 플라즈마 조건에서 $CF_4/O_2$ 혼합가스를 사용하여 AAO (Anodic Aluminum oxide)피막의 오염입자 특성을 실시간 모니터링 하는 동시에 OES 분석을 수행하여 내플라즈마성 코팅소재의 오염입자 발생 메커니즘에 대하여 분석하였다.

• Aerospace Engineering and Technology
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• v.2 no.2
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• pp.66-75
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• 2003

A high intensity acoustic test facility has been constructed at Korea Aerospace Research Institute (KARI). Spacecrafts are tested in the facility to check the reliability on acoustic environment of launch vehicles. The reverberant chamber of the facility has a volume of 1,228 cubic meters and provides an acoustic environment of 152 dB over the frequency range of 25 Hz to 10,000 Hz. This paper describes how the basic parameters of the facility including a chamber and power generation system are designed. Moreover, design parameters including acoustic spectrum, acoustic modulator characteristics, reverberation time and isolation characteristics are experimentally verified during acceptance tests.

• Analytical Science and Technology
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• v.22 no.3
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• pp.191-200
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• 2009

The aim of this study was to evaluate and establish of emission test method for liquid phase building materials such as paint, adhesive, sealant by emission cell. A small-scale emission chamber and emission cell were used to evaluate emission of TVOC from paint, adhesive, sealant. The quantity of TVOC emission were measured by a gas chromatography/mass spectrometry (GC/MS). Background concentration of TVOC was below $10{\mu}g/m^3$ in the emission chamber and cell. Air tightness and recovery in chamber and cell showed good results. The recovery of thermal desorber for toluene and n-dodecane were about 120%. The repeatability of response factor and retention time in GC/MS below 30%. The method detection limit of VOCs ranged 0.04~8.82 ng. The concentration of TVOC emission using emission cell was 1.35~1.41 times higher than emission chamber. The correlation of TVOC emission using chamber and cell method was significantly high (r=0.91~0.97).

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.38 no.12
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• pp.1195-1201
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• 2010

Performance tests of a supersonic exhaust diffuser were conducted by using a liquid rocket engine for simulating high-altitude environment. The experimental setup consisted of a combustion chamber, a vacuum chamber and a diffuser. The combustion tests for simulating high-altitude environment were carried out at three cases by chamber pressure variation(26, 29, 32barg). The test results showed that the diffuser was started at all case and vacuum chamber pressures were approximately 140torr. The starting pressure using combustion gas was similar with that of cold gas, but the vacuum chamber pressure was relatively high because of high temperature in the vacuum chamber. The results of this test can be used as an essential database for the design of real-scale high-altitude simulation test facility in the future.

• The Journal of the Korea Contents Association
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• v.15 no.12
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• pp.1-7
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• 2015

These anti-jamming GPS systems are verified using large anechoic chamber or field-test until now. When using a large anechoic chamber, Independent verification from external enviroments like noise is an advantage but high cost and availability of chamber are disadvantages. And in case of field test, verification under real propagation enviroment is an advantage but security problem of military equipments and problem of making same test condition are disadvantages. This paper presents an newly developed anti-jamming GPS test system. This test system mainly consists of small anechoic chamber, jamming divider, jamming signal generator and satellite simulator. The small anechoic chamber is installed many jamming antennas to transmit multi jamming signals and the jamming divider is newly developed to control multi jamming signals. According to self performance test and combined test with Anti-jamming GPS receiver, we verified our system's reliability.