• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.238-239
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• 2011

최근 반도체 산업은 더 높은 성능의 회로 제작을 통해 초고집적화를 추구하고 있다. 이를 위해서 회로 설계의 최소 선폭과 소자 크기는 지속적으로 감소하고 있고 이를 위한 배선 기술들은 플라즈마 공정을 이용한 식각공정에 크게 의존하고 있다. 식각공정에 있어서 반응가스의 조성은 식각 속도와 선택도를 결정하는 중요한 요소이다. 본 연구에서는 CIS QMS (closed ion source quadrupole mass spectrometer)를 이용하여 CF4+Ar를 이용한 실리콘 산화막의 플라즈마 식각 공정 시 생성되는 라디칼과 이온 종들을 측정하였다. Ar 이온이 기판표면과 충돌하여 기판물질간의 결합을 깨놓으면, 반응성 기체 및 라디칼과의 반응성이 커져서 식각 속도를 향상 시키게 된다. 본 실험에서는 2 MHz의 RPS (remote plasma source)를 이용하여 플라즈마를 발생시키고 13.56 MHz의 rf 전력을 기판에 인가하여 식각할 웨이퍼에 바이어스 전압을 유도하였다. CF4/(CF4+Ar)의 가스 혼합비가 커질수록 식각 부산물인 SiF3의 양은 증가 하였으며, CF4 혼합비가 0일 때(Ar 100%) 비하여 1일 때(CF4 100%) SiF3의 QMS 이온 전류는 106배 증가하였다. 이때의 Si와 결합하여 SiF3를 형성하는 F라디칼의 소모는 0.5배로 감소하였다. 또한 RPS power가 800 W일 때 플라즈마에 의해서 CF4는 CF3, CF2, CF로 해리 되며 SiO2 식각 시 라디칼의 직접적인 식각과 Si_F2의 흡착에 관여되는 F라디칼의 양은 CF3 대비 7%로 검출되었고, 식각 부산물인 SiF3는 13%로 측정되었다. Ar의 혼합비를 0 %에서 100%까지 증가시켜 가면서 측정한 결과 F/CF3는 $1.0{\times}105$에서 $2.8{\times}102$로 변화하였다. SiF3/CF3는 1.8에서 6.3으로 증가하여 Ar을 25% 이상 혼합하는 것은 이온 충돌 효과에 의한 식각 속도의 증진 기대와는 반대로 작용하는 것으로 판단된다.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.3 no.2
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• pp.138-146
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• 1990

볼츠만 수송방정식에 관한 홀스타인의 식을 사용하여 온도는 273.deg.K, 상대전계의 세기가 1.leq.E/P..leq.30(V/cm Torr)인 때의 Na와 He 단일기체중을 통과하는 전자의 에너지분포함수와 수송계수를 계산하였다. 그리고 전자 이동속도의 결과치를 실험값과 비교하였으며 실험치와 계산치가 일치하도록 충돌단면적을 수정하여 계산에 적용하였다. 이러한 방법으로 Hesms 0.1[eV]-50[eV]까지 Na는 0.1[eV]-5[eV]까지의 에너지범위에서 결정된 운동량변환단면적의 값은 제한된 범위에서 Crompton 및 Nakamura의 값과 거의 일치하였다. 또한 이와 같이하여 계산된 Na와 He 단일기체의 충돌단면적을 이용하여 온도는 273.degK, 상대전계의 세기는 1.leq.E/P$_{o}$ .leq.30(V/cm Torr)의 범위에서 Na-He 혼합증기의 혼합비율을 He:Na는 99.5:0.5, 99:1, 9:1. 1:1로 변화시켜 특성에너지, 평균에너지, 전자이동속도, 전자에너지 분포함수를 게산하였다.

• Annual Conference of KIPS
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• 2003.11b
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• pp.627-630
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• 2003

본 연구에서는 고정점 알고리즘의 독립성분분석과 원 신호의 시간적 상관성을 고려한 견실 알고리즘의 독립성분분석을 각각 이용하여 혼합지문영상을 분리하였다. 여기서 고정점 알고리즘은 뉴우턴법의 경신규칙을 이용함으로써 빠른 분리속도를 가진다. 견실 알고리즘은 2차적 통계성의 일괄처리 알고리즘으로 시간적 상관성과 낮은 kurtosis를 가진 영상분리에 효과적이다. 이들 기법들을 $256{\times}256$ 픽셀의 8개 지문으로부터 임의의 혼합행렬에 따라 발생되는 지문의 분리에 적용한 결과, 견실 알고리즘이 고정점 알고리즘의 독립성분분석에 비해 우수한 분리성능과 빠른 분리속도가 있음을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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• 2014.07a
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• pp.353-354
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• 2014

오늘날 데이터베이스 시스템 의 스토리지에 많은 정보를 저장하게 되는데 이때 주로 HDD가 사용되고 있으며, 지금까지 대용량 저장 장치로 발전을 해왔다. HDD는 단위 비트 당 가격이 저렴한 이점이 있으나 HDD를 이용한 저장장치는 낮은 수행 속도 때문에 빠르게 정보를 제공받기를 원하는 사용자의 요구를 충족시키지 못하고 있다. 이를 해결하기 위해 빠른 I/O속도를 갖는 SSD를 이용한 저장 장치가 연구가 많이 되고 있으나 비트 당 가격이 비싼 SSD의 단점으로 인해 HDD를 전부 SSD로 대체하기에는 어려움이 있다. 본 논문에서는 HDD를 SSD로 완전히 대체하는 시스템이 아니라 SSD를 캐시로 사용한 SSD의 기반으로 혼합 스토리지 구조를 이용하여 검색 성능을 최적화시키기 위한 방법을 제안한다.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.11 no.5
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• pp.31-36
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• 2007

Combustion performance characteristics of subscale high-pressure combustor were investigated at 70 bar combustion pressure. All tests were successfully performed without any damage on the combustor. The mixing characteristics and distribution pattern of the injectors were found to have considerable influence on the combustion performance. The characteristic velocity of the combustor was higher in the injector with internal mixing than that of external mixing and in the injector with smaller mass flowrate. The pressure fluctuations at the propellant manifolds and the combustion chamber were measured to be less than 3% of the mean combustion pressure to meet the combustion stability criterion and to prove stable combustion characteristics of the combustor.

• Fire Science and Engineering
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• v.29 no.3
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• pp.31-36
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• 2015

This study analyzed the flame characteristics when igniting 200 ml of flammable liquids containing equal parts gasoline and another flammable liquid. These mixtures were used to fill a divided space in a simulation. The length of one side of the divided space was 2,000 mm, and the length of the combustion device was 1,000 mm. The mixture with alcohol had the highest flame propagation speed (0.7 s), while the mixture with light oil showed the lowest (1.2 s). The gasoline and acetone mixture reached peak flame in 25.5 s, at the highest speed, while the mixture with light oil reached peak flame in 163.7 s at the lowest speed. The gasoline and light oil showed the longest continuous combustion time (332.7 s), while the gasoline and paint thinner showed the shortest (121.5 s). A fire inspector who is examining the scene of a fire needs to analyze both the statements of the first eyewitness and the flame characteristics collectively.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2011.11a
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• pp.258-262
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• 2011

The laminar burning velocity in premixed Oxy-CH4 flames was studied in a lab-scale Bunsen burner. $CH^*$ chemiluminescence method and Schliren photography were used. Experimental results were compared with numerical prediction which was calculated with a CHEMKIN 3.7 package with a PREMIX code. Global equivalence ratio of oxy-CH4 mixture was varied from 0.5 to 2.0 in a laminar flow region. The laminar burning velocity was measured as 3.1 m/s for Schlieren photograph and 2.9 m/s for $CH^*$ chemiluminescence technique (angle method).

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.15 no.6
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• pp.15-25
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• 2011

One dimensional combustion modeling of aluminum combustion behavior is proposed. Combustion model is assumed that region consists as follows ; preheat, reaction, post reaction region. Flame speed as a function of particle size, equivalence ratio for unitary particles and fraction ratio of micro to nano particle size for binary particles were investigated for lean burn condition at 1 atm. Results were compared with experimental data. For unitary particles, flame speed increase as particle size decreases, but opposite trend with equivalence ratio. For binary particles, flame speed increases proportionally as nano particle fraction increases. For flame structure, separated or overlapping flames are observed, depending on the fraction of nano sized particles.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.20 no.1
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• pp.104-108
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• 2009

In this study, for the flow of carbon dioxide/hydrogen mixture through a tubular type Pd-Ag membrane, hydrogen partial pressure, velocity profile, and concentration profile were simulated as a function of inlet flow rate using computational fluid dynamics (CFD) technique. The simulation results indicated that the mole fraction of carbon dioxide increased slowly in the longitudinal direction as the flow rate increased. In addition, the effects of inlet flow rate and the length of membrane on hydrogen recovery were investigated. At lower flow rate and for longer membrane, the hydrogen recovery was larger.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2011.04a
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• pp.430-432
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• 2011

An experimental study of the flame response in a turbulent premixed combustor has been conducted in order to investigate mechanisms for combustion instabilities in lean premixed gas turbine combustor. A lab-scale combustor and mixing section system were fabricated to measure the flame transfer function. Measurements are made of the velocity fluctuation in the nozzle using hot wire anemometry and of the heat release fluctuation in the combustor using chemiluminescence emission. The results are analyzed to determine the phase and gain of the flame transfer function as a function of the modulation frequency and operating conditions.