• Title/Summary/Keyword: 형성 연구

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Transfer of patterns from thin film to patterning-resist substrate

  • Ha, Neul-Bit;Park, Ji-Seon;Jeong, Sol;Im, Hye-In;Kim, Jae-Seong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.266-266
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    • 2010
  • Ion beam sputtering(IBS)을 이용한 pattern 형성은 대상 물질의 제한이 적고 물리적 변수의 조절에 의해 쉽게 nano 구조의 형태와 크기를 조절할 수 있다는 점에서 관심을 받아오고 있다. 하지만 IBS를 이용한 pattern 형성이 어려운 물질들도 있어 다양한 기판에서의 nano pattern 형성에 관련된 많은 연구가 보고되고 있다. 본 연구발표에서는 유용한 반도체인 Si 표면에서의 IBS를 이용한 nano 구조 형성이 가능함과 그 과정에 대해 말하고자 한다. Ru을 100nm 두께로 증착시킨 Si(100)을 sputter 했을 때, Ru 표면에 잘 order된 nano pattern이 형성되었다. Sputter 시간이 증가하면서 pattern은 유지된 채 Ru이 깎여 나가다가 pattern의 가장 낮은 부분부터 Si기판이 드러나게 된다. 이 때 노출된 Si은 sputtering에 의해 깎여나가고 아직 Ru이 덮여있는 부분의 Si은 그대로 유지되어, Ru이 모두 sputter 되면서 보여지는 Si의 pattern은 Ru의 그것과 동일한 형태를 띄게 된다. 그 결과, Ru의 pattern이 Si으로 transfer되었음을 AFM과 SAM을 통해 확인할 수 있었다. 또한 IBS를 이용해 pattern 형성이 힘든 metallic glass에도 같은 방식으로 Ru을 쌓아 sputter 해봄으로써 pattern transfer를 확인해 볼 계획이다. 이러한 pattern transfer는 sputtering을 통한 pattern 형성이 어려웠던 다른 물질들에 그 가능성이 있음을 보여주고 있어 sputtering의 응용 폭이 넓어질 것을 기대한다.

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Effects of Na2SnO3 concentration on the formation of anodic oxide films on AZ31 Mg alloy (AZ31 마그네슘 합금의 양극 산화피막 형성에 미치는 주석산나트륨 농도의 영향)

  • Kim, Ye-Jin;Mun, Seong-Mo;Sin, Heon-Cheol
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.66.1-66.1
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    • 2018
  • 최근 자동차 배기가스 규제 및 전기자동차, 무인항공기 개발 등의 경량 소재에 대한 필요성이 지속적으로 증가하고 있다. 마그네슘 및 마그네슘 합금은 구조용 금속 소재 중 가장 밀도가 낮은 금속으로서 자동차, 항공, 기계 부품류 및 주방용품이나 전자제품 케이스류 등 다양한 산업분야에서 활용성이 크게 증가하고 있다. 하지만 마그네슘 합금은 화학적 반응성이 매우 크고 표면에 존재하는 피막의 치밀성과 화학적 안정성이 낮아서 쉽게 부식되는 단점이 있다. 따라서 내식성 향상을 위한 표면처리 기술 개발에 대한 필요성이 증대되고 있다. 양극 산화법은 금속표면에 양극 전류를 인가하여 산화피막을 인위적으로 형성시켜줌으로써 내식성을 향상시켜 주는 방법으로서 산업적으로 널리 사용되고 있는 표면처리 방법 중의 하나이다. 본 연구에서는 주석산나트륨의 농도에 따른 AZ31 마그네슘 합금의 양극 산화 피막 형성 거동을 연구하였다. DC 전류를 인가하여 양극산화 피막을 형성하였으며, 피막형성 전압 및 형성된 피막의 두께, 표면 거칠기 및 피막의 구조 등을 분석하여 주석산나트륨 농도에 따른 양극산화 피막의 형성 특성에 대하여 자세하게 고찰하였다.

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Leakage of SuperEBA in root-end cavities prepared with 3 new ultrasonic tips : KaVo Isthmus, KaVo T-shape and KiS tip (KAVO ISTHMUS, KAVO T-SHAPE과 KIS TIP의 3종 초음파기구로 형성한 역충전와동의 SUPEREBA 변연누출에 관한 연구)

  • Lee, Woo-Cheol
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • v.27 no.3
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    • pp.270-276
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    • 2002
  • 치근단 수술시 구동형 수술현미경과 미세수술기구들이 사용됨에 따라 치근단 절제술 후 역충전와동의 효과적인 형성 및 충전을 위해 새로운 초음파기구가 개발되었다 따라서 본 연구에서는 최근 상품화되어 사용되고 있는 초음파기구중 신속하게 역충전와동을 형성할 뿐아니라 충분한 깊이를 제공하여 역충전재료의 변연누출 감소에 효과적인 것으로 알려져 있는 3종의 초음파기구를 사용하여 역 충전와동을 형성 한 후 SuperEBA로 충전하여 그 변연누출을 비교하였다. 모두 56개의 근첨형성이 완료된 단근치를 선택하여 Profile .06를 사용하여 근관형성한 후 음성대조군 2개를 제외한 54개의 치아를 수직가압법으로 충전하였다. 근단부 3mm를 절제한 뒤 KaVo Isthmus, KaVo T-shape 그리고 KiS tip을 각각 18개의 치아에 사용하여 역충전와동을 형성하고 그중 각각 2개의 양성대조군 치아를 제외한 나머지 치아에 SuperEBA로 충전하였다. 각치아는 1% methylene blue dye에 침윤시켜 1주일 후 종절단하여 그 색소침투정도를 측정, 비교하였다. 실험결과 측정된 평균 변연누출은 KaVo Isthmus가 $1.5\pm$1.4mm, KaVo T-shape이 1.7$\pm$1.2mm이고 KiS tip은 1.1$\pm$0.7mm 이었으며, 통계적으로 유의할만한 차이는 없었다. 따라서 초음파기구를 사용한 역충전와동의 임상시술 성공여부는 술자의 편의도와 임상적 사용시 조작능력에 달려 있는 것으로 사료된다.

A Study on Teaching of Logical Thinking Students with Non-formation in Probabilistic Reasoning and Combinational Reasoning (확률논리와 조합논리 미형성 학생의 논리지도에 대한 연구)

  • Kim, Youngshin;Park, Ae-Ryeon;Lim, Soo-min;Jeng, Jae-Hoon;Kim, Soo-Wan;Song, Ha-Young
    • Journal of Science Education
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    • v.33 no.1
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    • pp.69-76
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    • 2009
  • Probabilistic reasoning and combinational reasoning are essential to build a logical thinking and a process of thinking dealing with everyday life as well as scientific knowledge. This research aims at finding the optimal period to teach reasoning to the students who haven't developed probabilistic reasoning and combinational reasoning. The treatment program was performed for 20 students from each grade who couldn't develop two parts of reasoning. The treatment program using baduk stones and cards was performed repeatedly, focusing on the specific activities. After four weeks of treatment program, the test to check the development of probabilistic reasoning and combinational reasoning was performed again and the changes of reasoning development were identified. After giving treatment program for reasoning development, 15.0%, 25.0% and 40.0% of improvement in the 4th, the 5th, the 6th graders respectively were shown. With regard to the combinational reasoning, the results showed the improvement of 20.0% in the 4th grades, 25.0% in the 5th graders and 63.2% in the 6th graders. As a result of research in the above, students, who were not formed probabilistic reasoning and combinational reasoning, could be known to be enhanced through learning, but to fail to be formed the qualitative change like the cognitive development. It is expected that this research can contribute to the improvement of students' cognitive level and there would be more active researches in different fields to improve the cognitive level of the 6th graders who are in their optimal periods to learn two parts of reasoning.

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Formation of Crown Gall Tumor in Panax ginseng C.A. Meyer (인삼의 Crown Gall Tumor형성에 관한 연구)

  • 최광태;양덕춘
    • Journal of Ginseng Research
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    • v.10 no.1
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    • pp.45-54
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    • 1986
  • These studies were carried out to obtain the basic information about transformation of ginseng plant by potential vector system, utilization of opine compound by Agrobacterium sap. , and initiation of crown gall tumor callus. Crown gall tumors were induced from stem of Panax ginseng C.A. Meyer by infection of Agrobacterium tumefaciens. Therefore, it was clarified that transformation of ginseng by Ti plasmid was possible. The crown gall tumors induced by Agrobacterium tumefaciens isolated. from the soil were different in a shape, size, and growth rate. Especially, infection of ginseng by Agrobacterium tumefaciens Y104 led to the amorphic tumor, Tumor tissue derived from stem crown gall could not be continuously cultured on the medium which did not contain phytohormone, and did not form the callus even on the medium supplemented with 2,4-D. On the other hand, the root crown gall tumors formed the calli but the formation rate of callus was quite low. As for the utilization of octopine and nopaline, it was found that 3 strains of Agrobacterium app., Y104, Y110 and C58, utilized nopaline only, Y109 utilized octopine, and Y101 failed to utilize either compound.

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A STUDY ON THE SHAPE OF A CANAL PREPARED WITH 'THREE-FILE' TECHNIQUE IN A CURVED CANAL ('Three-File' 방식에 의한 만곡 근관 형성시 근관의 형태에 관한 연구)

  • Park, Han-Soo;Lee, Min-Koo;Kim, Jong-Jin;Lim, Young-Jun;Jang, Moon-Sung;Lee, Jong-Yeop
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • v.25 no.4
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    • pp.494-498
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    • 2000
  • 이 연구의 목적은 'Three-File' 방식에 의한 근관형성시 근관의 형태변화 및 전이정도를 분석하고 이를 기존의 근관형성방법과 비교하고자 하는 것이다. 만곡된 근관을 가진 투명한 레진블럭 상에서 'Three-File' 방식, crown-down방식 및 스테인레스강 화일에 의한 수동방식으로 근관형성을 시행하고 이를 똑같은 위치가 재현가능한 고정틀에 위치시킨 후 사진의 이중노출 기법을 이용하여 근관형성 전후의 근관의 형태변화 및 전이정도를 분석한 결과 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 스테인레스강 화일의 경우 근관확대가 가장 컸고 근관의 전이정도도 심하였으며, 형성된 근관이 taper하지 못하고 불규칙한 형태를 보였다. 2. Profile로 crown-down방식에 의해 형성한 경우 taper한 근관형태를 보였고, 근관의 전이 정도도 스테인레스강 화일의 경우보다 작았다(p<0.01). 3. Profile로 'Three-File'방식에 의해 형성한 경우 taper한 근관형태를 보였고 근관의 전이정도도 스테인레스강 화일의 경우보다 유의하게 작았으나(p<0.01), crown-down방식에 의해 형성한 경우와 유의할 만한 차이는 없었다(p>0.01).

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광대역 및 전방향 높은 투과도를 갖는 사파이어 나노구조 제작 및 광학적 특성연구

  • Kim, Myeong-Seop;Im, Jeong-U;Go, Yeong-Hwan;Jeong, Gwan-Su;Yu, Jae-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.338-338
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    • 2012
  • 사파이어 ($Al_2O_3$)는 높은 밴드갭 에너지 (~19.5 eV)를 가진 물질로서 우수한 내마모성, 강도, 전기 절연성 및 안정한 화학적 특성을 갖고 발광다이오드 기판, 보석재료 등 각종 산업 및 기술적 분야에서 널리 사용되고 있다. 특히, 플립칩 발광다이오드 구조의 경우 광추출효율을 향상시키기 위해 높은 투과도를 갖는 사파이어 기판이 요구되어 왔으며, 지금까지 건식/습식식각방법을 이용한 사파이어 표면에 마이크로 크기의 심한 거칠기 또는 요철이 형성된 나노크기의 격자구조를 형성시키는 연구가 진행되어 오고 있다. 그 중, 나노 크기의 격자구조는 공기에서 반도체 기판까지 선형적인 유효굴절률 분포를 갖기 때문에 표면에서 생기는 Fresnel 반사 손실을 줄일 수 있다. 이러한 구조를 형성하기 위해서는 식각 마스크가 필요한데, 형성 방법으로 레이저 간섭 리소그래피, 전자빔 리소그래피, 나노임프린트 리소그래피 등이 있으나, 비싼 가격과 복잡한 공정 절차 등의 단점을 지니고 있다. 따라서 본 연구에서는 식각 마스크 패턴을 위해, 보다 저렴하고 간단한 실리카 나노구 및 열적응집 금 나노 입자를 이용하였다. 양면 폴리싱 c-plane 사파이어 기판을 사용하였고, 단일 층의 주기적인 실리카 나노구를 기판 표면에 스핀코팅에 의해 도포한 후 유도결합플라즈마 식각 장비를 이용하여 식각하여 주기적인 패턴을 갖는 렌즈모양의 격자구조를 형성하였다. 그리고 주기적으로 형성된 격자 위에 열 증착기를 이용하여 금 박막을 증착한 후 급속열적어닐닝(rapid thermal annealing)을 이용하여 열처리함으로써 비주기적인 금 나노입자를 형성시켰다. 형성된 금 나노패턴을 이용하여 동일한 조건으로 식각함으로써 광대역 및 전방향성 높은 투과도를 갖는 원뿔 모양의 사파이어 나노구조를 제작하였다. 제작된 샘플의 패턴 및 식각 형상은 전자현미경을 사용하여 관찰하였으며, UV-vis-NIR 분광광도계 (spectrophotometer)를 사용하여 투과율을 측정하였다. 렌즈 모양 표면 위에 원뿔모양의 나노구조를 갖는 사파이어 기판은 일반적인 사파이어 기판보다 향상된 투과율 특성을 보였다.

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A Formative Assessment Based Capstone Design Course for Improving Program Learning Outcomes (프로그램 학습성과 향상을 위한 형성평가 중심 캡스톤 디자인 교과목 설계)

  • Kim, Woong-Sup
    • Journal of Engineering Education Research
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    • v.13 no.1
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    • pp.62-69
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    • 2010
  • Program learning outcome is widely used for assessing and improving program quality. There are various methodologies that can measure program quality and improve program learning outcomes. In this paper, we used formative approach in Capstone design course, since it is the most effective in terms of improving program learning outcomes due to the course's intrinsic nature. To integrate a formative approach into Capstone design course, we develop a feedback structure which is a key element in formative approach and define several sub phases that manage feedback structures and their own evaluation criteria. As a result, we observed a noticeable improvement for students performance in capstone design course.

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A study on the formation of local back surface field using Rapid Thermal Process (Rapid Thermal Process를 이용한 실리콘 태양전지의 국부적 후면 전극 최적화)

  • Bae, Soohyun;Park, Sungeun;Kim, Young Do;Park, Hyomin;Kim, Soo Min;Kim, Seongtak;Kim, Hyunho;Tark, Sung Ju;Kim, Dongwhan
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2011.05a
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    • pp.121.1-121.1
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    • 2011
  • 현재 상용화되고 있는 단결정 실리콘 태양전지는 알루미늄 페이스트를 이용하여 후면의 전 영역에 전계를 형성한다. 최근에는 고효율을 얻기 위하여 후면에 패시베이션 효과와 장파장에 대한 반사도를 증가 시키는 SiNx막을 증착 후, 국부적으로 전계를 형성하는 국부 후면 전극(Local back surface field)기술이 연구되고 있다. 본 연구에서는 전면만 텍스쳐 된 단결정 실리콘 웨이퍼를 이용하였다. Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition(PECVD)를 이용하여 전,후면에 SiNx를 증착 하였고 후면의 국부적인 전극 패턴 형성을 위하여 SiNx 식각용 페이스트를 사용한 스크린 프린팅 기술을 이용하였다. 스크린 프린팅을 이용하여 패턴이 형성된 후면에 알루미늄을 인쇄 한 후 Rapid Thermal Process(RTP)를 이용하여 소성 공정 조건을 변화시켰다. 소성 조건 동안 형성되는 후면 전계층은 peak 온도와 승온속도, 냉각 속도에 따라 형상이나 특성이 변화하기 때문에 소성 조건을 변화시키며 국부적 후면 전계 형성의 최적화에 관한 연구를 수행하였다. 패이스트를 이용하여 SiNx를 식각 후 광학 현미경(Optical Microscopy)을 사용하여 SiNx의 식각 유무를 살펴보았고, RTP로 형성된 국부 전계층의 형성 두께, 주변 부분의 형상을 살피기 위해 도핑 영역을 혼합수용액으로 식각하여 주사 전자 현미경(SEM)을 이용하여 관찰 하였다. 또한 후면의 특성을 살펴보기 위해 분광 광도계(UV/VIS/NIR Spectrophotometer)를 사용하여 후면 SiNx층의 유무에 따른 반사도를 비교, 측정 하였다.

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Preparation of Natural Polymer-CaP Composite Films (천연 고분자-칼슘 포스페이트 복합 박막 제조)

  • Kim, Ka-Eun;Mo, Man-Jin;Lee, Woo-Kul
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.16 no.1
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    • pp.112-116
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    • 2005
  • We investigated the surface modification method for the preparation of organic-inorganic hybrid composite thin film. Gelatin obtained from the decomposition of collagen was allowed to adsorb in a polystyrene tissue culture dish for 2 h to from layers of gelatin. Supersaturated ionic solution of calcium and phosphorus was injected on the gelatin adsorbed layer to form calcium phosphate thin film. During the initial period of incubation, nucleates were formed. With increase of the incubation time, CaP (calcium phosphate) thin film grew on the surface of the culture dish. The gelatin/CaP thin film displayed the highly porous three-dimensional surface structure. Attenuated, total reflectance Fourier transform, infra-red spectroscopy (ATR-FTIR) was used to analyze the chemical properties of CaP film. The analysis demonstrated that the CaP film formed at initial period of treatment appeared to be amorphous. With increase of incubation time, the crystallinity of the film was slightly increased, but the presence of the peaks for the low crystalline CaP confirmed that the CaP thin film prepared in this study was poorly crystallized.