• Title/Summary/Keyword: 형상분해

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플라즈마 공정 모니터링용 사중극자 질량 분석기의 필라멘트 파손분석

  • Ha, Seong-Yong;Kim, Dong-Hun;Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.93.2-93.2
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    • 2015
  • 플라즈마를 포함한 반응성 가스 공정 분석용 사중극자 질량분석기의 필라멘트의 파손양상을 조사하였다. 또한 유전체 증착층이 이온원 성능에 미치는 영향을 분석하기 위하여 이온원의 일반적인 가동 전압 조건에서 Poisson방정식을 이용하여 전위를 수치 해석으로 구하였다. 사용중 파손된 필라멘트의 파단면을 주사전자현미경으로 관찰결과, 수직으로 절단되는 양상과 직경이 점차 작아지면서 erosion되는 두가지 양상을 보였다. 또한 파단면은 표면균열과 패시팅(faceting) 현상을 보였다. 필라멘트 사용시 가장 큰 문제는 패시팅(faceting)이다. 대부분의 결정에서는 다른 결정면보다 에너지 준위가 낮은 결정면이 존재한다. W 원자는 고온에서 확산 또는 증발하여 표면에서 다시 응축할 때 표면 에너지를 최소화하기 위한 독특한 평형 형상이 만들어 지는데 이것이 패시팅의 구동력이다. 이때 국부적으로 단면적이 감소하는 곳이 생기는데, 이 지점이 집중적으로 가열되고 증발이 가속화하여 파손된다. 파단면을 EDS 분석결과, 산화물을 포함한 F, Fe 및 C이 검출되었다. 이 F과 C는 공정중 사용된 CF4의 분해에 의한 것으로 생각되며, 파손된 필라멘트를 Ar 유도결합 플라즈마로 처리한 결과 이 F, Fe 및 C의 양이 감소하였다.

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Deposition Mechanism of Tungsten thin Film in LPCVD System (저압 화학 기상 증착에서의 텅스텐 박막 증착 메카니즘)

  • 김성훈;송세안
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.2 no.3
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    • pp.360-367
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    • 1993
  • 텅스텐 박막 증착의 메카니즘을 밝히기 위하여 먼저 SiH4와 WF6의 열분해 반응에 관한 열역학적 결과들과 표면 촉매 반응에 대한 이론적인 결과들을 고찰하였다. 실험적으론 저압 화학기상 증착법을 이용하여 WF6를 SiH4로 환원시켜 텅스텐 박막을 Si(100) 기판위에 증착하였으며 증착반응 중의 기판 표면의 변화를 in-situ로 측정하였다. 증착 메카니즘을 밝히기 위하여 반응기체를 WF6, SiH4, WF6+SiH4, WF6$\longrightarrow$SiH4$\longrightarrow$WF6+SiH4로 달리하여 반응시켰으며 그 때의 박막 특성과 표면 및 단면 형상을 측정하였다. 이론적인 고찰과 실험적인 결과들로부터 텅스텐 박막은 먼저 Si 기판에 의한 WF6의 환원반응으로 인한 증착과 이어서 SiH4에 의한 WF6의 환원으로 증착됨을 밝혔다.

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Theory and Application of Near-field Scanning Optical Microscope (광근접장 현미경의 원리 및 응용)

  • 윤형길;이준희;권대갑
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.17 no.6
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    • pp.46-52
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    • 2000
  • 산업사회가 발전하면서 초정밀 분야의 측정기술 또한 시대적 요구에 걸맞게 발전을 거듭하고 있다. 광을 이용한 측정기술에 있어서 보다 작은광 스팟의 구현은 높은 분해능을 위해서 필수 불가결한 조건이며, 광 기록분야에 있어서는 높은 기록밀도를 위해 핵심적인 기술이다. 하지만 스팟의 직경은 광의 회절한계(diffraction limit)에 의한 최소치를 갖는다. 예로서, 측정을 위한 광학 현미경 중 현재 일반적으로 널리 쓰이는 고배율 광학 현미경(high resolution optical microscope)은 측정 대상 표면에 물리적 손상을 주지 않으며, 측정 범위가 크고, 값이 싼 장점이 있다.(중략)

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Study on the Rapid Manufacturing for Jewelry Master Patterns (주얼리용 마스터패턴의 쾌속제작에 관한 연구)

  • 주영철;이창훈;송오성;송미희
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2002.05a
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    • pp.67-69
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    • 2002
  • 주얼리 제품에서 마스터패턴 제작비는 최종제품의 20% 정도로 전체 주얼리제품 시장에서 매우 큰 비중을 차지한다. 기존 주얼리 제품을 제작하는 일반 공정인 ‘디자인 시안→상세도면 제작→1왁스형 제작→석고 플라스크 제작→은 마스터패턴의 제작→왁스패턴의 대량생산→정밀주조→최종제품’의 복잡한 단계를 ‘CAD 디자인 시안→쾌속조형기 듀라폼 음각몰드 제작→저융점 합금으로 마스터패턴 제작→정밀주조→최종제품’의 공정으로 단순화하면서도 대폭시간을 단축할 수 있는 신공정을 제안하였다. 주요공정인 selective laster sintering (SLS)형 쾌속조형기(rapid prototype: RP)를 이용해서 분해온도가 190℃인 듀라폼 분말로 미리 3D CAD로 설계한 직경 20mm의 구, 링 요소를 각각 상하형의 합체형 몰드와 일체형 몰드로 제작하였다. 제작된 몰드에 융점이 70℃인 Pb-Sn-Bi-Cd 저융점 합금을 주입하여 마스터패턴을 제조하였다. 완성된 마스터패턴은 목표형상에 비해 치수 변형율이 2% 이내로 우수하고 주입공정 및 후가공공정이 용이하여 주얼리용 마스터패턴으로 응용이 가능하였다.

Finite Element Method Analysis of Safety Valve (안전밸브의 유한요소해석)

  • Lee, Jong-Sun
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.13 no.9
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    • pp.3864-3868
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    • 2012
  • In this paper, a safety valve was modeled by using 3-dimensional designing program, Solidsworks after it was dismantled and measured. And 3-dimensional finite element analysis code, ANSYS was used to FEM analysis. Stress, strain and deformation were obtained when some amount of pressure was applied to the safety valve through FEM analysis.

Perceptual Data Hiding Model with Adaptive Watermark Strength (적응적 워터마크 삽입강도를 갖는 지각적 데이터 은닉 모델)

  • 조영웅;장봉주;김응수;문광석;권기룡
    • Proceedings of the Korea Multimedia Society Conference
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    • 2002.11b
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    • pp.287-290
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    • 2002
  • 본 논문에서는 디지털 컨텐츠 저작권 보호를 위해 강인성과 비가시성의 유지를 위한 보다 효과적인 방법으로 웨이브릿 변환에서 적응적 워터마크 삽입강도를 갖는 지각적 데이터 은닉 모델을 제안한다. 먼저 영상을 9/7 쌍직교 웨이브릿 필터를 사용해 4레벨로 다해상도 분해한다. 다음으로 연속부대역 양자화(successive subband quantization)를 통한 시각적 중요계수(perceptually significant coefficient: PSC)들을 선정하여 선택된 계수들에 대해서만 워터마크 정보를 삽입한다. 지각 모델은 정상상태의 일반화 가우시안 모델(generalized gaussian model)로 추정된 NVF(noise visibility function)로 에지와 텍스쳐영역 그리고 평탄영역에 따라 각각 적응적으로 삽입되게 한다. 이는 각 서브밴드 내의 분산과 형상계수(shape parameter)에 의해 결정된다. 적응적 워터마크의 삽입강도를 갖기 위해 에지와 텍스쳐영역의 삽입강도는 각 서브밴드의 주파수 감도(frequency sensitivity)로 결정되고, 평탄영역의 삽입강도는 영상의 국부적 특성에 근거한 통계적 가중치를 사용한다. 삽입되는 워터마크는 랜덤시퀀스로 N(0,1)이다. 여러 가지 공격에 대한 실험으로 제안한 방법의 비가시성과 강인성을 확인한다.

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Coupled Analysis of Structure and Surface Ablation in Solid Rocket Nozzle (삭마반응을 고려한 고체 추진기관 노즐 조립체의 열반응 및 구조해석)

  • Kim, Yun-Chul;Doh, Young-Dae;Hahm, Hee-Cheol;Moon, Soon-Il
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2011.11a
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    • pp.565-569
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    • 2011
  • A two-dimensional thermal response and ablation analysis code for predicting charring material ablation and shape change on solid rocket nozzle is presented. For closing the problem of thermo-structural analysis, Arrhenius' equation and Zvyagin's ablation model are used. The moving boundary problem are solved by remeshing-rezoning method. For simulation of complicated thermal protection systems, this method is integrated with a three-dimensional finite-element thermal and structure analysis code.

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Structural Analysis of High Pressure Cleaning Machine (고압세척기의 구조해석)

  • Lee, Jong-Sun
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.14 no.10
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    • pp.4694-4699
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    • 2013
  • In this paper, a high pressure cleaning machine in field was disassembled and measured in order to develop a highly improved pressure cleaner in performance and real configuration was modeled by using 3-D design program CATA V5. In addition, fluid analysis was conducted on the modeled high pressure cleaning machine by using ANSYS finite element analysis program and visualize the pressure changes of internal fluid flow was visualized. This result will be applied to a new designed high pressure cleaning machine in future.

Controlled synthesis of silica nanoparticles by a two-fluid nozzle flame reactor (이류체 노즐형 화염 반응기에 의한 실리카 나노분말 제조)

  • Chang, Han-Kwon;Jang, Hee-Dong;Chang, Won-Chul
    • Proceedings of the Korean Institute of Resources Recycling Conference
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    • 2005.10a
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    • pp.308-313
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    • 2005
  • 실리콘 잉고트의 절단공정에서 발생하는 폐실리콘 슬러지는 실리콘과 실리콘카바이드 등의 유가자원이 함유되어 있으며, 이 중 실리콘 분말은 실리콘 화합물인 알콕시실란 등을 제조하는데 원료로 사용이 가능하다. 본 연구에서는 폐실리콘 슬러지로부터 분리, 합성된 사에 톡시실란(TEOS)을 원료로 이용하여 실리카 나노분말을 합성하였다. TEOS 원료물질을 외부 혼합형 이류체 노즐을 이용하여 미세액적으로 분무하고 화염 속으로 도입시키고 화염열분해 반응을 진행시켜 실리카 나노분말을 합성하였다. 합성된 실리카 나노입자의 특성은 투과형 전자현미경 및 BET에 의하여 입자형상 및 평균 입자크기가 분석되었다. 주요 공정변수인 분산공기의 압력, 반응가스의 조성을 변화시켜 실험한 결과 평균크기가 $9{\sim}68nm$인 실리카 나노분말을 제조하였다.

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High Resolution Imaging Optics: Satellite Camera and Astronomical Telescope (고해상도결상광학기술: 공위성카메라와천체망원경)

  • Lee, Yun Woo
    • The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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    • v.41 no.2
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    • pp.29.2-29.2
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    • 2016
  • 최근에 국내 광산업은 고해상도 카메라를 장착한 휴대폰의 판매호조로 세계 최고수준의 소형 광학모듈 시장을 주도하고 있다. 하지만 국가 위상제고에 필요한 고해상도 인공위성 카메라와 대형 천체 망원경은 소수 선진국이 전략물자로 분류하여 관련 기술을 독점하고 있다. 우리나라는 국가우주개발계획에 의하여 다양한 위성카메라를 국산화하고, 기초과학 선진화를 위한 Giant Magellan Telescope사업에 참여함으로써 우주산업 선진국을 추격하고 있다. 빛을 이용하여 물체를 관측하는 결상광학계는 분해능을 향상시키기 위하여 구경을 더욱 크게 하거나 특수한 비구면 형상의 거울을 사용하므로 새로운 광학 설계, 연마, 측정, 조립, 시험 등의 기술들이 필요하다. 본 발표에서는 다양한 첨단 결상광학계와 한국표준과학연구원 우주광학센터에서 개발중인 위성카메라와 천체망원경에 관하여 자세히 소개한다.

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