반도체 검사장비를 제조하는 전문 벤처기업 (주)미래산업은 창업 15년만에 '테스트 핸들러'라는 장비를 개발, 돈방석에 앉았다. 공직생활 18년을 끝내고 중소기업현장에 뛰어들었다가 퇴직금 사기당하고, 18억원 들인 '완전자동웨이퍼 검사기' 개발마저 실패하는 등의 역경을 딛고 새로운 기술개발로 벤처기업의 신화를 창조했다.
최근에 반도체 칩이 소형화, 대용량화, 고집적화가 되고 있어 그 정밀도 및 신뢰성의 확보를 위해 반도체 테스트 핸들러 장비에서 픽앤플레이스의 개발이 필요하다. 본 연구에서는 반도체 테스트 핸들러 픽커 검사장비 프레임에 대한 진동해석을 하여 고유진동수와 하모닉 반응의 특성을 연구하였다. 해석모델로서는 세 가지 모델로서 픽앤플레이스 장치가 위 가이드라인의 왼쪽에 있는 경우(Case 1), 가운데에 있는 경우(Case 2) 및 오른쪽에 있는 경우(Case 3)이다. 이 프레임 모델들에 대해서 6차 모드까지의 고유진동수 범위는 80Hz~500Hz가 된다. Harmonic Response 해석 결과, 프레임에 공진이 발생할 때, Case 2는 Case 1과 Case 3보다 더 큰 52.802MPa의 최대 등가응력을 나타났다. 세 모델 중, Case 2의 경우가 진동에 의한 파손에 가장 강함을 알 수 있다. 본 연구의 해석 결과를 이용하여 시스템의 안전한 작업환경으로 실제 적용할 수 있는 모델 설계가 효율적으로 가능하다고 사료된다.
The temperature control system for semiconductor test handler is designed. We controlled the temperature of chamber using 3-wire RTD sensor and MVME EMbedded controller. VxWorks that is a real-time operating system is used and heater is controlled by PWM. Temperature fluctuation of chamber is decreased within 0.3.deg. C, which is about one-half of that of commercial controller.
In this paper presented is a temperature controller for a semiconductor test handler. Using ARMAX model and least square method, the chamber model for the design of a controller is identified through experiment. With the identified model an LQG/LTR controller is designed. Experiment with a real test handler demonstrated good performance in that its overshoot is small and response time is fast.
A conceptual model of tentative packet handler subsystem (PHS) of TDX-10 is presented. This model is used to analyze the capacity of PHS especially when packet bus (PBUS) is bottleneck. In the viewpoint of performance analysis, cyclic server system and token bus LAN are utilized in modeling PHS.
기존의 테스트 핸들러는 단일 히터와 팬을 사용하여 항온조내의 IC 테스트점들 사이에 온도 편차가 발생한다. 본 논문에서는 온도 분포가 중간 부분과 가장자리 부분의 온도 오차가 심한 문제에 착안하여, 기존의 히터를 3등분하여 3지점의 온도를 각각 제어함으로써 측정점의 위치에 따라 온도 편차를 줄이는 방안을 제시하였으며, 온도 챔버의 파라미터의 식별과 식별된 모델에 기초하여 LQG 제어기를 설계하였다. 항온조의 온도를 일정하게 유지하기 위하여 RTD 센서와 VME 시스템을 이용하였다. 실험 결과 챔버의 위치에 따른 온도 편차를 50$^{\circ}C$${\cdot}$ 80$^{\circ}C$와 120$^{\circ}C$에서 기존의 ${\pm}1.5^{\circ}C$에서 ${\pm}0.35^{\circ}C$로 줄임으로써 그 성능을 개선하였다.
공 컨테이너 장치장의 사양, 취급 장비, 운영방법이 공 컨테이너 적하 시 발생할 수 있는 재취급 기대횟수에 미치는 영향을 연구하였다. 다수 선사의 다양한 유형의 공 컨테이너를 서로 분리된 공간에 저장한다면 저장 공간을 충분히 활용할 수 없고, 저장 공간의 활용도를 높이기 위해 여러 선사의 공 컨테이너를 혼적하여 함께 저장한다면 적하작업 중에 추가로 재취급이 발생할 수 있다. 한 베이에서 적하작업을 위하여 공 컨테이너를 인출하는 시점에 기대되는 재취급 횟수를 계산하기 위해 필요한 여러 가지 수식을 유도하였다. 트랜스퍼 크레인과 탑 핸들러를 취급 장비로 간주하여 다양한 인출 전략을 검토하였다. 장치장의 다양한 설계 및 운영 매개 변수가 재취급 횟수에 미치는 효과를 확인할 목적으로 수치실험을 수행하였다.
디지털 기술의 발달로 콘텐츠 서비스 방식에 대한 융복합화 현상이 두드러진다. 플랫폼, 네트워크, 디바이스 등의 발달과 함께 이루어지는 서비스 방식의 다양화는 콘텐츠 제작 및 소비에 있어 사용자의 참여를 가속화시킨다. 최근 들어 동영상 콘텐츠에 양방향성의 특징을 반영하는 서비스가 주목받고 있으며, 이에 따라 양방향 동영상의 확장된 비즈니스 모델을 고려한 신규 서비스 운용 모델이 요구된다. 이에 본 논문은 전자상거래를 지원하기 위한 기본 비즈니스 모델인 Imprimatur Business Model을 기반으로 양방향성이 반영된 동영상 비즈니스 모델을 재정의하고 그 운용에 필요한 구성 요소를 도출하였다. 서비스 운용 모델은 생성, 처리, 소비의 단계를 갖는다. 각 단계별로 세부 운용 요소를 설계하여 운용 시스템과의 연결성을 고려하였다. 이는 XML 다이어그램으로 표현되었으며 디지털 아이템의 생성, 처리, 소비에 필요한 기능을 제어하고 처리할 수 있도록 하기 위해 각 단계별 생성자(creator)와 핸들러(handler)를 정의하였다.
We propose a new-focusing method for test handlers of compact camera module (CCM), The MMD (max-min difference) method is applied to calculate the focus value quickly considering the noisy output of CCM. Also, the fuzzy search method is applied to find the maximum focus value effectively. We design a fuzzy processor to control the lens position by focus values and brightness values, which improves the focusing performance in the sense of speed and processor memory. The proposed method is implemented by computer program and installed at the CCM test handler machines. The simulation results are presented to verify the usefulness of the proposed method.
본 논문에서는 다형적 변수에 대한 메시지 전달의 유효성을 정적 형검사로 간주하는 C++에서 메시지 프로토콜을 점진적으로 확장할 수 있는 프로그래밍 기법을 제시하였다. 제시한 기법은 메시지의 유형, 인수, 및 유효성을 동적으로 검사할 수 있는 프로시듀어인 메시지 핸들러라는 관점에서 메시지 프로토콜을 해석하도록 하였다. 이러한 해석의 결과 메시지 프로토콜의 점진적 확장에 효과적으로 대처할 수 있을 뿐 아니라 기존의 객체지향 프로그래밍의 모든 요소들을 충실히 모방할 수도 있었으며, 객체의 그룹에 어떤 메시지를 전달하는 기능과 같은 고수준의 프로시듀어 작성도 가능하게 되었다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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