• 대한골관절종양학회지
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• 제9권2호
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• pp.200-205
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• 2003

목적: 근위 비골에 발생한 거대 세포종 환자 5명에 대한 임상 양상, 치료 방법 및 결과를 보고하고자 한다. 대상 및 방법: 1997년 1월부터 2001년 7월까지 근위 비골에 발생한 거대 세포종으로 수술적 치료를 하였던 환자 중 1년 이상 추시관찰(평균 2.2년: 1.1~5년)이 가능하였던 5예를 대상으로 하였다. 모든 예에서 수술 전 단순 방사선 검사, 자기 공명 영상 검사, 핵의학 검사를 시행하였다. 모든 예에서 비골 신경을 보존하면서 일괄 절제술 및 대퇴 이두근을 이용한 외측 측부 인대 재건술을 시행하였다. 수술 후 단순 방사선 검사 및 진찰 소견으로 국소 재발의 유무를 판단하였으며 내반 스트레스 검사로 슬관절 외측 불안정을 측정하였다. 결과: 환자의 평균 연령은 23세(21~29세)였으며 남자 1예, 여자 4예였다. 모든 환자에서 병변부의 동통이 주증상이었으며 2예에서는 종물이 촉지되었다. 모든 예에서 수술 전 자기 공 명 영상 검사상 T1 강조영상에서 병변내의 저 신호 강도와 T2 강조영상에서 고 신호 강도를 보였고, Technetium-99 m을 이용한 골주사 검사상 비정상적으로 증가된 골섭취 소견이 관찰되었다. 1예에서 수술 후 일시적 비골 신경 마비를 보인 경우를 제외하고 나머지 예에서 비골 신경 마비 및 종양의 국소 재발은 보이지 않았다. 최종 추시 관찰시 5예중 1예에서 다소의 외측 불안성이 있었으나 기능상 문제가 없었으며 나머지 4예에서는 내반 스트레스 검사상 안정성을 보였다. 결론: 근위 비골에 발생한 거대 세포종은 비골 신경을 보존하면서 일괄 절제술 및 대퇴 이두근을 이용한 외측 측부 인대 재건술을 시행하여 좋은 결과를 보였다.

• 핵의학기술
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• 제17권1호
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• pp.80-84
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• 2013

AFP검사에 있어서 본원은 Immunotech사의 시약을 사용하고 있고 방법은 2 step법(IRMA)이다. 본원 내원환자 31명의 샘플을 대상으로 다소 번거로운 2step법을 1step법으로 간소화 할 수 있는지 비교실험을 하였다. 본법, 변법1(1step 45분), 변법2(1step 60분)의 상관계수와 회귀식, 정밀도, 회수율, 민감도, Hook effect를 확인하였다. 저, 중, 고역가 검체의 측정내 정밀도는 변법1은 3.05%, 3.43%, 1.68% 변법2는 5.00%, 3.69%, 1.97% 측정간 정밀도 는 변법 1은 3.91%, 2.38%, 0.82 % 변법2는 3.14%, 3.71%,1.85% 였다. 분석적민감도는 0.1 IU/mL 였고 직선성은 우수하였다. 상관관계는 각각 y=0.9293x+2.7356 ($R^{2}=0.9999$), y=0.9193x+4.1002 ($R^{2}=0.9993$) 이었다. 2,000 IU/mL 미만에 서는 Hook effect가 나타나지 않았지만 고농도에서는 Hook effect가 나타났다. 이 비교실험을 종합해 보면 본법과 변법1, 변법2 모두 상관관계, 정밀도, 회수율, 민감도 등이 우수함을 알 수 있다. 하지만, 고농도에서 Hook effect가 나타나 완전히 대체해서 사용하기에는 문제가 있다고 사료 된다. 다만, 정상인이 거의 대부분인 건강검진검사에서는 유용하게 사용될 수 있을 것으로 판단된다.

• 한국경제지리학회지
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• 제22권4호
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• pp.405-421
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• 2019

북한의 핵·미사일 개발과 이에 대응한 국제사회의 강도 높은 경제제재가 실행되면서 대북 인도적 지원은 2010년대 매우 낮은 수준에 머물고 있다. 본고는 대북지원의 향후 방향을 모색하기 위해 국제사회가 그동안 진행해 온 인도적 원조의 추이와 성과, 문제점을 살펴보고, 대북지원 개선방안을 제시하고자 한다. 북핵문제가 악화되면서 원조를 정치적으로 도구화하는 경향이 심화되었다. 또한 모금실적 부진으로 국제기구와 단체들의 지원활동이 구호형 사업으로 명맥을 겨우 유지하면서 원조의 질적 수준과 개발협력 효과성이 매우 낮은 실정이다. 대북지원의 현격한 감소 원인으로 경제제재 자체 효과와 함께 원조 장기화에 따른 공여국과 단체들의 피로감 증대, 북한당국의 외부 지원활동에 대한 과도한 제약 등이 작용하고 있다. 본 연구는 국제기구 보고서와 유엔통계 분석을 통해 2010년대 국제사회의 대북지원 동향에서 드러나는 특징의 하나로 농업분야 지원의 비중은 낮아지고 보건·의료 분야가 확대된 것을 밝혔다. 인도주의적 원조는 빈곤 완화와 취약계층을 보호하기 위한 국제사회의 보편적 가치 실현이 강조된다. UN 안보리 대북제재 결의안에서도 경제제재가 일반주민들에 대한 부정적 영향 초래 및 원조단체의 구호활동을 제한할 의도가 없음을 명확히 하고 있다. 따라서 고강도의 경제제재로 인해 실질적으로 크게 제약 받고 있는 대북 인도지원 활동에 대한 확대조치가 진행되어야 하며, 나아가 국제개발협력의 플랫폼이 되고 있는 지속가능개발목표(SDGs)와 연계된 원조 실행이 필요하다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2017년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.113-113
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• 2017

최근 많은 산업의 발전으로 인해 환경오염을 유발시키는 폐수가 다량으로 배출되고 있으며, 이러한 폐수 속에는 유기용매, 고분자 물질 및 각종 염 등의 난분해성 물질들이 다량으로 함유되어 있다. 이런 물질들을 분해시키기 위해 물리적, 생물학적 수처리 방법이 많이 이용되고 있지만 이 방법들은 각각 운전비용과 처리비용이 고가인 단점이 있다. 따라서 비용과 효율 측면에서 효과적인 폐수처리를 위해서 전기화학적 폐수처리 방법이 많이 사용되고 있다. 물리적, 생물학적 처리 방법에 비해 비용이 적게 들고, 처리 후 잔류물이 남지 않으며, 독성을 띄는 산화제의 첨가 없이도 높은 폐수처리 능력을 보이기 때문에 친환경적이므로, 전기화학적 폐수산화 처리에 사용되는 불용성 전극에 대한 연구가 많이 진행되어져 오고 있다. 그 중 BDD(Boron-doped diamond) 전극은 표면에서 강력한 산화제인 수산화 라디칼의 높은 발생량으로 인해 뛰어난 폐수처리 능력을 보이므로 불용성 전극 분야에서 활발한 연구가 진행 중이다. 그러나 기존에 BDD 전극의 기판 모재로 이용되던 Si, W, Pb등은 모두 기계적 강도, 폐수처리 능력 및 독성 문제로 인해 한계가 있었고, 특히 Nb기판 위에 형성시킨 BDD 전극은 뛰어난 폐수처리 능력에도 불구하고 비싼 모재 원가로 인해 상용화가 힘든 실정이다. 이런 문제점을 해결하기 위해 높은 기계적 강도와 전기화학적 안정성을 가진 Ti 기판을 사용한 BDD 전극에 대한 연구가 보고되고 있다. 그러나 BDD와 Ti 간의 lattice mismatch, BDD층 형성을 위한 고온 공정시 탄소의 확산으로 인한 기판 표면에서의 TiC층 형성으로 인해 접착력이 감소하여 박리가 생기는 문제점이 있다. BDD와 Ti의 접착력을 향상시키기 위해 융점이 높고, 전기전도성이 우수한 TiN을 diffusion barrier layer로 삽입하면 탄소 확산에 의한 TiC층의 생성을 억제하여, 내부응력에 기인한 접착력 감소를 방지할 수 있다. 또 하나의 방법으로 Ti 기판의 전처리를 통해 BDD층의 접착력을 향상 시킬 수 있다. Sanding과 etching을 통해 기판 표면의 물리, 화학적인 표면조도를 부여하고, seeding을 통해 diamond 결정 성장에 도움을 주는 seed 입자를 분포시킴으로써, 중간층과 BDD층의 접착력을 향상시키고, BDD 결정핵 성장을 촉진시켜 고품질의 BDD박막 증착이 가능하다. 본 연구에서는 기존 Si, Nb 등의 기판 모재를 Ti로 대체함으로써 제조원가를 절감시키고, TiN 중간층을 삽입하여 접착력을 향상 시킴으로써 기존의 BDD 전극과 동등한 수준의 물성 및 수처리 특성을 가진 BDD전극 제작을 목표로 하였다. $25{\times}25mm$의 Ti 기판위에 TiN 중간층을 DC magnetron sputtering을 이용하여 증착 후, BDD 전극 층을 HFCVD로 증착하였다. 전처리를 진행한 기판과 중간층 및 BDD층의 미세구조를 XRD로 분석하였고, 표면 형상을 SEM으로 확인하였다. BDD전극의 접착력 분석을 통해 TiN 중간층의 최적 조성을 도출하고, 최종적으로 BDD/TiN/Ti 전극의 CV특성과 가폐수의 COD분해능력 및 축산폐수, 선박평형수 등의 실제 폐수 처리 능력을 BDD/Si, BDD/Nb 전극과 비교 검토할 것이다.

• 대한핵의학회지
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• 제29권1호
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• pp.22-30
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• 1995

저자들은 두개 기저나 경부종괴 또는 내경동맥의 동맥류등으로 인하여 내경동맥의 결찰이 필요한 환자에 있어서 객관적인 관점에서 수술전에 영구적인 내경동맥의 결찰의 안전성에 관하여 $^{99m}Tc$-HMPAO 뇌 SPECT를 이용하여 보고자 하였다. 내경동맥의 결찰이 고려되는 24명의 두개기저나 경부종괴 환자를 대상으로 하였다. 저자들은 풍선 시험 결찰술 시행전과 시행중의 양측 중대뇌동맥 영역의 섭취정도를 $^{99m}Tc$-HMPAO 뇌 SPECT를 이용하여 비교해보았고 이러한 결과를 신경학적 검사, 경동맥 스텀프압 고리고 뇌전도검사등과 비교해 보았다. 대상환자중 19명의 환자에서는 풍선 시험 결찰술 동안 신경학적 이상등의 문제들을 경험하지 않았고 이들에 있어 중대뇌동맥영역의 섭취정도는 결찰술 시행전에 비교하여 95-101%에 해당하였다. 나머지 5명의 환자에서는 일과성 반신마비와 의식소실등의 심한 신경학적 증상을 보였고 이들에 있어 중대뇌동맥 영역의 섭취정도는 시행전에 비하여 77-85%에 해당하였으며 다른 검사결과와도 잘 부합되었다. 결론적으로 풍선시험결찰술 시행전과 시행중의 $^{99m}Tc$-HMPAO 뇌 SPECT는 중대뇌동맥영역의 섭취가 시행전에 비교하여 85%이하인 경우 영구적인 신경학적 결손을 예측할 수 있는 간단하고 객관적인 방법이 될 수 있을 것으로 생각한다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2016년도 추계학술대회 논문집
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• pp.157-157
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• 2016

최근 많은 산업의 발전으로 인해 환경오염을 유발시키는 폐수가 다량으로 배출되고 있으며, 이러한 폐수 속에는 유기용매, 고분자 물질 및 각종 염 등의 난분해성 물질들이 다량으로 함유되어 있다. 이런 물질들을 분해시키기 위해 물리적, 생물학적 수처리 방법이 많이 이용되고 있지만 이 방법들은 각각 운전비용과 처리비용이 고가인 단점이 있다. 따라서 비용과 효율 측면에서 효과적인 폐수처리를 위해서 전기화학적 폐수처리 방법이 많이 사용되고 있다. 물리적, 생물학적 처리 방법에 비해 비용이 적게 들고, 처리 후 잔류물이 남지 않으며. 독성을 띄는 산화제의 첨가 없이도 높은 폐수처리 능력을 보이기 때문에 친환경적이므로, 전기화학적 폐수산화 처리에 사용되는 불용성 전극에 대한 연구가 많이 진행되어져 오고 있다. 그 중 BDD(Boron-doped diamond) 전극은 표면에서 강력한 산화제인 수산화 라디칼의 높은 발생량으로 인해 뛰어난 폐수처리 능력을 보이므로 불용성 전극 분야에서 활발한 연구가 진행 중이다. 그러나 기존에 BDD 전극의 기판 모재로 이용되던 Si, W, Pb등은 모두 기계적 강도. 폐수처리 능력 및 독성 문제로 인해 한계가 있었고, 특히 Nb기판 위에 형성시킨 BDD 전극은 뛰어난 폐수처리 능력에도 불구하고 비싼 모재 원가로 인해 상용화가 힘든 실정이다. 이런 문제점을 해결하기 위해 높은 기계적 강도와 전기화학적 안정성을 가진 Ti 기판을 사용한 BDD 전극에 대한 연구가 보고되고 있다. 그러나 BDD와 Ti 간의 lattice mismatch, BDD층 형성을 위한 고온 공정 시 탄소의 확산으로 인한 기판 표면에서의 TiC층 형성으로 인해 접착력이 감소하여 박리가 생기는 문제점이 있다. BDD와 Ti의 접착력을 향상시키기 위해 융점이 높고, 전기전도성이 우수한 TiN을 diffusion barrier layer로 삽입하면 탄소 확산에 의한 TiC층의 생성을 억제하여, 내부응력에 기인한 접착력 감소를 방지할 수 있다. 또 하나의 방법으로 Ti 기판의 전처리를 통해 BDD층의 접착력을 향상 시킬 수 있다. Sanding과 etching을 통해 기판 표면의 물리, 화학적인 표면조도를 부여하고, seeding을 통해 diamond 결정 성장에 도움을 주는 seed 입자를 분포시킴으로써, 중간층과 BDD층의 접착력을 향상시키고, BDD 결정핵 성장을 촉진시켜 고품질의 BDD박막 증착이 가능하다. 본 연구에서는 기존 Si, Nb 등의 기판 모재를 Ti로 대체함으로써 제조원가를 절감시키고, TiN 중간층을 삽입하여 접착력을 향상시킴으로써 기존의 BDD 전극과 동등한 수준의 물성 및 수처리 특성을 가진 BDD전극 제작을 목표로 하였다. $25{\times}25mm$의 Ti 기판위에 TiN 중간층을 DC magnetron sputtering을 이용하여 증착 후, BDD 전극 층을 HFCVD로 증착하였다. 전처리를 진행한 기판과 중간층 및 BDD층의 미세구조를 XRD로 분석하였고, 표면 형상을 SEM으로 확인하였다. BDD전극의 접착력 분석을 통해 TiN 중간층의 최적 조성을 도출하고, 최종적으로 BDD/TiN/Ti 전극의 CV특성과 가폐수의 COD분해능력 및 축산폐수, 선박평형수 등의 실제 폐수 처리 능력을 BDD/Si, BDD/Nb 전극과 비교 검토할 것이다.

• 한국응용곤충학회지
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• 제53권1호
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• pp.73-80
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• 2014

수확 후 해충방제가 국내 수요 농산물은 물론이고 검역 문제를 해결하기 위한 수출용 농산물에 대해서 요구되고 있다. 특별히 유기 농산물 또는 환경친화형 재배 농산물에 대해서 메틸브로마이드와 같은 화합물을 이용한 기존의 수확 후 처리기술은 의미를 잃게 되었다. 대체 기술로서 CATTS (환경조절열처리기술)라 명명된 물리적 처리기술이 개발되어 사과와 여러 핵과류 과실을 가해하는 곤충과 응애에 적용되고 있다. 본 연구는 국내 사과 수출을 위해 수입국에서 규제하는 복숭아순나방(Grapholita molesta)을 대상으로 CATTS 처리 조건을 결정하는 데 목표를 두었다. 이 해충에 CATTS를 적용하기 위해 사과 과실에 잔류하면서 열에 높은 내성을 보이는 발육시기를 분석하였다. 열처리 조건($44^{\circ}C$, 20분)에서 5령 유충이 가장 높은 내성을 보였다. 환경조건(15% $CO_2$, 1% $O_2$)에서 기기 내부 온도가 $25^{\circ}C$에서 $46^{\circ}C$까지 증가하는 시기를 CATTS 가열단계로 볼 때, 이 가열 속도가 빠를수록 CATTS 해충 방제 효과가 높았다. 또한 가열단계 후 CATTS 처리 시간이 길수록 CATTS 효율이 증가했다. 특히 가열단계에서 과실 내부온도가 $44^{\circ}C$로 이르게 하는 것이 CATTS 효율을 높이는 데 결정적이었다. 이러한 조건들을 종합하여 CATTS 표준 처리기술을 결정하였으며, 이 기술은 2,104 마리의 5령을 포함한 4,378 마리 복숭아순나방 유충 피해를 받은 사과에 대해서 100% 방제 효과를 나타냈다.

• 한국독어학회지:독어학
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• 제5집
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• pp.1-22
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• 2002

본 논문의 목적은 게르만제어(예를들어 고트어, 고대북구어, 고고지독일어, 고대영어 등)에 나타나는 공명음중복 현상이 원-인도유럽어시기의 후두음에 기인함을 보이는 것이다. 고트어의 ddj/ggw, 고대북구어의 ggi/ggr, 고고지독일어 ij/uw (이상 소위 '예음화현상'으로 불림)와 그 외 게르만제어에 공통적으로 나타나는 공명음들의 중복, -rr-, -ll-, -nn-, -mm- 등은 원-게르만어시기에 각각 $\ast-ii-,\;\ast-uu-,\;\ast-rr-,\;\ast-ll-,\;\ast-nn-,\;\ast-mm-$ 등으로 소급된다. 그러나 이러한 자음군이 게르만어 이외의 다른 인도유럽어들( 대표적으로 고대인도이란어, 고전희랍어, 라전어 등)과 비교되어 원-인도유럽어시기로 소급되는 경우, 각각 $\ast-iH-,\;\ast-uH-,\;\ast-rH-,\;\ast-lH-,\;\ast-nH-,\;\ast-mH-$ 등으로 재구된다. 따라서 원-게르만어의 자음중복 현상이 후두음의 영향으로 나타난 것으로 해석되는데, 아마도 후두음이 선행하는 공명음에 동화되어 일어난 것으로 보인다. 소쉬르(1987)이래 발전해 온 후두음이론은 현재 그 이론적 틀을 확립한 상태이다. 이 이론은 고전 인도유럽어학에서 설명하지 못했던 여러 언어현상들을 설명하였고, 현대 인도유럽어 역사비교언어학에서 언어변화에 대한 필수적인 설명기재로서 사용되고 있다. 원-인도유럽어의 많은 특징들을 계승한 전형적인 다른 고대 인도유럽어들과는 달리, 시기적으로 늦은 고대 게르만어에서 음운론적 층위에서 공명음중복 현상이 후두음에 기인함은 인도유럽어 역사비교언어학에서 뿐만 아니라 게르만어학에서도 큰 의미를 갖는다고 볼 수 있다.간접으로 본동사 앞에 놓여 있어야 되는 모든 문장성분과 부문장 때문에, 즉 한국어의 전면적인 전위수식 현상으로 흔히 큰 부담/복잡함을 야기한다는 데에 그 원인이 있다. 이러한 상황에서 동사는 가능한 한 그의 문장성분을 줄이려 한다. 통사적으로 보장되어 이미 있으니 말이다. 그래서 한국어 동사의 부정성은 일종의 부담해소 대책으로 간주될 수 있을 것이다. $\ast$ 두 비교 대상에서의 핵 및 최소문장 가능성은 역시 원자가에 대한 비구속성에서 비롯된다. $\ast$ 우리 한국인이 빨리 말할 때 흔히 범하는 부정성으로 인한 인칭변화에서의 오류는 무엇보다도 정형성/제한성을 지닌 독일어 정동사가 인칭 변화하는 데 반해 한국어에서는 부정성/비구속성을 지닌 동사가 그것과는 무관한 페 기인한다. 동사의 속성을 철저히 분석함으로써 이런 과오를 극복해야 할 것이다. 한국어 동사의 부정성은 지금까지 거의 연구되지 않았다. 이 문제는 또한 지속적으로 수많은 다른 자연어들과의 비교분석을 통해 관찰돼야 할 것이다. 이 논문이 이런 연구와 언어습득을 위한 작업에 도움이 되기를 바란다.적 성분구조가 다르다는 것을 알 수 있다. 우리는 이 글이 외국어로서의 독일어를 배우는 이들에게 독일어의 관용구를 보다 올바르게 이해할 수 있는 방법론적인 토대를 제공함은 물론, (관용어) 사전에서 외국인 학습자를 고려하여 관용구를 알기 쉽게 기술하는 데 도움을 줄 수 있기를 바란다.되기 시작하면서 남황해 분지는 구조역전의 현상이 일어났으며, 동시에 발해 분지는 인리형 분지로 발달하게 되었다. 따라서, 올리고세 동안 발해 분지에서는 퇴적작용이, 남황해 분지에서는 심한 구조역전에 의한 분지변형이 동시에 일어났다 올리고세 이후 현재까지, 남황해

• Journal of Radiation Protection and Research
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• 제15권2호
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• pp.113-122
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• 1990

원자력병원에 설치된 MC-50 의학용 싸이클로트론은 4년간의 장비 도입 계획, 장비 인수 및 설치 그리고 빔 특성조사를 거쳐서 1986년 11월부터 가동을 시작하였다. MC-50 싸이클로트론은 현재 중성자치료 및 방사성 동위원소 생산에 이용되고 있다. 1989년 12월 현재, 중성자선 치료는 총 179명(1852 sessions)의 환자에서 시행되었다. 핵의학 분야에 이용되는 방사성 동위원소의 생산은 표적운반, 표적용융, 빔 진단 그리고 화학적 처리과정에 관한 문제들을 해결하기 위한 다각적인 연구를 거친 후 1989년 3월부터 시작하였다. 이 논문은 중성자 치료와 동위원소 생산에 이용된 MC-50 싸이클로트론의 운영 현황 및 장비의 특성에 대하여 기술하였으며, 또한 1989년도의 운영결과 및 제반 문제점들을 요약하였다. 1989년도 총 운전시간은 1252.5시간이었으며 이 중 중성자 치료에 400시간을 이용하였다(599 sessions). 동위원소 생산에는 832.5시간을 이용하여 총 1695mCi(Ga-67 : 1478mCi, Tl-201 : 107 mCi, I-123 : 25mCi, In-111 : 85mCi)를생산하였다. 빔 특성실험 및 기타 연구에는 20시간을 이용하였다. 1989년도의 가동율은 88.2%이었으며 전년도의 71.0%에 비하여 현저히 향상되었다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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• pp.234-234
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• 2010

최근 CMOS 소자 크기가 축소됨에 따라 소스와 드레인 영역에서의 접촉저항을 줄이기 위하여, 실리사이드 공정이 많이 연구되고 있다. 실리사이드 물질로서 NiSi는 낮은 저항률과 낮은 실리콘 소모, 낮은 공정온도, 등의 장점을 가지고 있다. 그러나, 실리사이드 형성으로 인한 나노소자의 소오스/드레인에서정션(junction) 누설전류의 증가는 큰 문제가 되므로 실리콘과 실리사이드 계면의 특성이 중요하다. 본 연구에서는 니켈을 이용한 실리사이드 형성시 계면 활성제인 에틸 요오드를 이용하여 실험을 진행하였다. 금속 유기 전구체인 MABONi을 사용하여 ALD 방식으로 증착 한 니켈 박막과 니켈 핵 형성시 계면활성제인 에틸요오드의 처리 방법에 따른 Ni-silicide 박막의 특성을 비교, 분석하였다. 먼저 자연산화막을 건식식각으로 제거한 뒤, 첫 번째 샘플에서는 10회의 주기로 초기 니켈을 증착한 뒤, 에틸요오드로 니켈의 표면 위를 처리하고, 다시 200회의 주기로 니켈을 증착하였으며, 두 번째는 첫 번째 방식에서 에틸요오드 주입 시 동시에 수소도 함께 주입하였다. 세 번째는 비교를 위해 에틸요오드 처리를 하지 않고 니켈 박막만을 증착 하였다. 이어서, 각 샘플을 급속 열처리 장비에서 $400^{\circ}C$부터 $900^{\circ}C$까지 각각 30sec간 열처리를 진행후, 반응하지 않은 잔여 니켈을 제거한 후, XRD(x-ray diffraction), AES(auger), 그리고 4-point probe 등을 이용하여 형성된 실리사이드의 특성을 분석하였다. 에틸요오드와 함께 수소를 주입한 경우 계면에서의 산소 불순물과 카본 성분이 효과적으로 제거되어 $400^{\circ}C$에서 $2.9{\Omega}/{\Box}$ 의 낮은 면저항을 가지는 NiSi가 형성되었고 모든 온도구간에서 다른 샘플에 비하여 가장 낮은 면저항 분포를 보였다. 이는 분해 흡착된 요오드에 의한 계면 특성 향상과 카본 성분이 포함된 잔여물들이 수소처리에 의해 효율적으로 제거되어 실리사이드의 특성이 향상되었기 때문이다. 계면활성제를 사용하지 않은 경우에는 $500^{\circ}C$에서 NiSi가 형성되었다. 반면에 에틸요오드로만 표면을 처리한 경우에는 니켈과 실리콘 계면에서의 카본 성분에 의하여 silicidation 이 충분히 일어나지 않았다. 이러한 결과는 향후 45nm 이하의 CMOS 공정상에서 소스와 드레인의 낮은 누설전류를 가지고, 접촉저항을 줄이기 위한 니켈 실리사이드 형성에 큰 도움을 줄 것으로 기대된다.