$Al_2O_3$ 2wt.%가 도핑된 ZnO의 회전하는 원통형 타겟을 가진 DC pulsed Magnetron sputtering에서의 펄스주파수가 박막에 미치는 영향
-
- 한국진공학회:학술대회논문집
- /
- 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
- /
- pp.311-311
- /
- 2010