본 연구에서는 금속 원자를 단열 팽창시켜 클러스터를 만들고, 생성된 클러스터를 이온화시킨 후 집속렌즈 및 electric quadrupole을 이용하여 기판으로 증착 하였다. 집속렌즈의 설계에서는 단일 초점 방식의 렌즈보다 성능을 높이기 위하여 이중 초점과 핀홀을 써서 집속 효과 및 효율을 높였다. 렌즈의 설계는 일반적으로 하전입자의 에너지 손실 없이 집속할수 있는 Einzel 렌즈를 기본으로 하였으며, SIMION software 를 사용하여 시뮬레이션 하였다. 시뮬레이션 후 실제 렌즈계 및 정전압원을 제작하여 금(Au)의 클러스터를 생성하여 렌즈계를 통과한 후 실제 기판위로 증착이 되는 것을 AFM(Atomic force microscopy)과 XPS(X-ray photoemission spectroscopy)를 이용해 조사하여 렌즈계가 실제로 동작함을 확인하였다.
본 연구에서는 유기절연재료의 재방사선 재료개발을 위한다는 측면에서 두께 15[.mu.m]의 이축 연신 폴리프로필렌 필름을 시료로 선정하여 Co$^{60}$-.gamma.으로 조사시켜 온도 25-55[.deg.C], 전계 10-250[MV/m]사이에서 방사선 조사량 변화에 따른 전기전도현상을 연구하였다. 조사된 시료의 전기전도는 온도에 크게 의존하여 전계의 증가와 더불어 각기 다른 전도기구 특성을 갖는 4개의 영역으로 구분되었는데 각 영역별로 조사선량 변화에 따른 하전입자들의 거동상황을 규명하고 기초적인 제 물성정수를 결정하였다.
A thermally stimulated measurement using a temperature gradient has been applied to the study of charged particles and their polarity n polymers. From the experimental results on a cross-linked polyethylene (XLPE) film is found that the TSC peaks of the trapped carriers in C peak are due to the negative polarity which is electron and the ionic carriers having negative polarity show D peak.
Electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition (ECRPCVD) 장치에서 공정변 수에 따른 수소플라즈마 특성을 조사하였다. 균일한 플라즈마 밀도를 얻기 위하여 전자공명층이 기판과 평행하게 형성되도록 정자장 코일을 설계하였으며 기판근처에 부가적으로 형성된 multicusp field 에의 해서 기판 근처에서의 플라즈마 균일도를 개선시킬수 있었다. 또한 절연된 공진실과 기판에의 독립적인 DC bias에 의해서 기판으로 입사하는 하전입자들이 에너지와 유량을 조잘할 수 있었다. 이러한플라즈마 특성을 갖는 ECRPCVD장치를 다양한 특성을 갖는 박막 합성에 응용할 수 있으리라 사료된다.
This work presents experimental results of filter media test by using particles from $0.02\;to\;0.6{\mu}m$ in diameter and by applying different charging states. In order to investigate the electret filter performance, the collection efficiency and the pressure drop of filter were measured. The face velocities of test filters varied from 2.4 to 20.4 cm/s. Another experiment setup for the cartridge cabin air filter was used to get an collection efficiency in submicron region. After charging level of electret filter severely decreased, the change of collection efficiency was verified. Experimental results show that the reliability of electret filters can be poor in some conditions.
양성자나 알파입자와 같은 무거운 하전입자가 매질 속을 진행하는 경우에 매질과 상호작용 하여 일어날 수 있는 물리적인 현상을 알아보기 위하여 몬테칼로 기법을 이용하여 시뮬레이션 하였다. 양성자선의 Bragg peak가 에너지의 증가에 따라 물 속에서 깊어짐을 확인하였다. 이러한 Bragg peak 현상을 방사선치료에 이용할 경우에 표적 조직의 흡수선량이 광자와 전자선에 비하여 국소화 되고 주변조직의 보호효과가 탁월함을 알 수 있었다.
Effects of electric force on the morphology and growth of aggregates were studied experimentally. Nano-sized NaCl particles were supplied to a flame to perform the unipolar charging state. This electric precursor did not modify a temperature profile of the flame. The morphology of aggregates was measured by TEM image processing technique and the light scattering technique. In the unipolar charged state, the fractal dimension of aggregates was smaller than that of' the electrically neutral state. This result was in good agreement with our previous numerical simulations.
A well defined electro-spraying and electro-static precipitator(ESP) experiment is carried out to investigate the charging characteristics of the submicron particles and the monodisperse particles. The basic idea is that the highly charged electro-sprayed droplets will be produced into the gas when the Coulombic repulsive force on the surface is higher than the surface tension of the spraying liquid. During this process many highly charged smaller droplets or ions, if the droplets are completely dried out, will be produced in the space. These charged species will be attached ion the particles and then eventually charge the particles. These charged particles will be easily collected with ESP. The experimental results show that the atomizer generated particles with geometric mean diameter (GMD) of 62nm are charged more than 90% even at the mean face velocity of 2.5m/s at the charging zone.
A new unipolar aerosol charger was developed by using an indirect photoelectric charging. The charger consists of two coaxial tubes, the inner UV lamp wrapped with stainless mesh and the outer Al cylinder. In this study, the effects of flow rate, particle size, and electric field were examined to search the optimal charging conditions with experimental and numerical methods. Monodisperse NaCl particles were fed into an annular space and the particles were charged by negative ions generated from Al plate exposed to the UV light. According to experimental results, the average number of elementary charge on particles increases from 2.5 to 5.5 as particle size increases from 50nm to 130nm at 2.5 L/min and 100V. The average number of elementary charge on particles was maximized at 25V as the electric potential between the stainless mesh and Al plate was varied from 0V to 400V.
AC PDP(Plasma Display Panel)는 상압에 가까운 압력에서 DBD(Dielectric Barrier Discharge) 방전을 이용한 디스플레이다. AC PDP는 보통 면 방전을 이용하기 때문에 대향 방전과는 다른 방전 현상을 보인다. 본 연구에서는 4인치 test 패널 제작하여 격벽 높이 변화에 따른 방전 현상을 연구하였다. PDP 셀은 $1mm^3$ 보다 작은 크기를 가지고 있기 때문에 방전 현상을 분석하는 것은 쉽지 않다. 그래서 이 연구에서는 2, 3차원 유체 시뮬레이션을 이용하여 실험 결과에 대한 방전 현상을 연구하였다. 테스트 패널을 통하여 정적 마진, 휘도, 소비전력, 발광효율 등을 구하였고, Fluid 시뮬레이션을 통하여 전기장 분포, 하전입자 및 여기종 입자들의 개수 및 밀도 분포, 벽전하 분포 등을 통하여 방전 특성의 경향성을 분석하였다. 격벽 높이가 높아질수록 방전 공간이 넓어지면서 효율이 증가하였으나 $140\;{\mu}m$ 이상의 높이에서는 광 변환 효율이 감소하면서 효율이 오히려 감소하였다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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