• 한국광학회지
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• 제12권4호
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• pp.334-338
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• 2001

피조 간섭계의 측정 정밀도를 향상시키기 위해서 광 분할기를 제거한 형태의 피조 간섭계를 구현했다. 단일 모드 광섬유를 구면파 광원으로 사용했고 끝 단을 반사면으로 만들기 위해서 경면 가공했다. 반사면은 적당한 각도로 경사지게 가공되어 있는데 이것은 간섭무늬의 CCD관찰을 용이하게 한다. 경사 단면 광섬유 광원을 이용한 피조 간섭계는 기존의 피조 간섭계에서 구면파를 왜곡시키는 광 분할기를 제거함으로써 측정 정밀도를 향상시킬 수 있었다 또한 동일한 시편의 측정결과를 비교함으로써 기존의 피조 간섭계로부터 개선된 정밀도를 정량적으로 구할 수 있었다. 그리고 경사 단면 광섬유 광원의 구면파정도를 알아보기 위해서 PS/PDI(Phase Shifting/Point Diffraction Interferometer)를 구현함으로써 광원의 구면파 정도를 실험적으로 검증했다.

• 한국광학회지
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• 제34권1호
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• pp.22-30
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• 2023

조각거울은 우주용 관측위성의 주반사경을 크게 제작하기 위한 방법 중 하나로서, 여러 개의 작은 거울들을 이어 하나의 큰 거울로 이용하는 방법이다. 여러 개의 거울들을 하나의 거울로 정렬하기 위해서는 인접한 거울들 간에 기울기 오차(tilt)와 광축방향 정렬오차(piston)가 없어야 한다. 기울기 오차와 광축방향 정렬오차를 해결해야 여러 개의 거울이 한 방향으로 빛을 모으고, 이를 통해 뚜렷한 이미지를 얻을 수 있기 때문에 조각거울의 정렬오차를 나노미터 수준으로 측정할 수 있는 파면 센서가 필요하다. 기울기 오차는 조각거울을 통해 얻은 이미지를 통해 어떤 거울의 기울기가 틀어졌는지 쉽게 확인할 수 있는 반면, 광축방향 정렬오차는 이미지의 질은 떨어뜨리지만 드러나는 뚜렷한 특징이 없기 때문에 같은 방법으로 감지하기 어려워 세밀한 측정이 매우 중요하다. 이를 위해 본 논문에서는 지상용 초기 정렬시 많은 이점을 갖는 광학계 평가용 간섭계 중 하나인 피조 간섭계를 이용한다. 피조 간섭계를 사용한 복수 조각거울의 광축방향 정렬오차 측정을 위한 기초 연구로서 단일 조각거울의 광축방향 변위 오차를 측정하고, 측정불확도를 계산해서 피조 간섭계의 광축방향 변위 오차 측정 한계를 규명한다. 또한 수식을 통해 조각거울 광축방향 변위 오차와 간섭계로 측정한 표면 초점오차(defocus)의 관계를 계산했고, 도출한 수식의 타당성을 실험으로 검증했다.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2001년도 제12회 정기총회 및 01년도 동계학술발표회
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• pp.88-89
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• 2001

작은 영역에서 고정밀도의 가공과 측정을 필요로 했던 과거와는 달리 점점 그 영역은 확대되고 있고 정밀도 또한 그에 못지 않게 높은 사양을 요구하고 있다. 노광 장비를 구성하는 많은 광학 렌즈와 미러의 경우 웨이퍼의 크기가 커지면서 영역은 넓어지고 광원의 파장이 짧아지면서 요구되는 형상오차가 더욱 엄밀해지고 있다. 인공위성에 설치되는 우주망원경의 렌즈와 미러도 그 영역이 갈수록 커지고 높은 형상 정밀도를 필요로 한다. (중략)

• 한국정밀공학회지
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• 제25권8호
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• pp.21-28
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• 2008

Fizeau interferometer is used for inspecting the lens surface profile accurately. This study is focused on the design and optical measuring techniques for large optical components, such as a reflection mirror for large area lithography or astronomical purpose. A tower type Fizeau interferometer is designed and set up in horizontally with a 45$^{\circ}$ fold mirror which makes easy to align the optical path of heavy interferometer system. To align the optical path, a five-axes stage for the interferometer is required. This study shows a method of the 45$^{\circ}$ fold mirror alignment by using a three-axis stage instead of adjusting the interferometer itself or measuring object. This system will be installed on the large optics polishing machine during the manufacturing process as an on-machine inspection system.

• 대한기계학회논문집A
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• 제30권12호
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• pp.1649-1657
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• 2006

Fizeau interferometer is well known optical instrument for measuring the lens profile accurately. The object of this study is focused on the design and optical measuring techniques for large optical components, such as a reflection mirror for astronomical purpose. Measuring of large optical lens, the object could not be moved as small one but the measuring instrument must be moved for the alignment, because of the geometric conditions and the accuracy of the stage. Therefore, a five axis stage is designed to align the Interferometer instead of the measuring object. This instrument will be used for an on machine measuring system in polishing machine for large optical lens.