• Title/Summary/Keyword: 피라미드 구조

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Effect of surface damage remove etching of Reactive Ion Etching for Crystalline silicon solar cell

  • Park, Jun-Seok;Byeon, Seong-Gyun;Park, Jeong-Eun;Lee, Yeong-Min;Lee, Min-Ji;Im, Dong-Geon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.404-404
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    • 2016
  • 태양전지 제작 시 표면에 피라미드 구조를 형성하면 입사되는 광의 흡수를 높여 광 생성 전류의 향상에 기여한다. 일반적인 KOH를 이용한 습식 표면조직화 공정은 평균 10%의 반사율을 보였으며, 유도 결합 플라즈마를 이용한 RIE 공정은 평균 5.4%의 더 낮은 반사율을 보였다. 그러나 RIE 공정을 이용한 표면조직화는 낮은 반사율과 서브 마이크론 크기의 표면 구조를 만들 수 있지만 플라즈마 조사에 의한 표면 손상이 많이 발생하게 된다. 이러한 표면 손상은 태양전지 제작 시 표면에서 높은 재결합 영역으로 작용하게 되어 포화 전류(saturation currents, $J_0$)를 증가시키고 캐리어 수명(carrier lifetime, ${\tau}$)을 낮추는 결함 요소로 작용한다. 이러한 플라즈마에 의한 표면 손상을 제거하기 위해 HF, HNO3, DI-water를 이용하여 DRE(Damage Remove Etching) 공정을 진행하였다. DRE 공정은 HF : DI-water 솔루션과 HNO3 : HF : DI-water 솔루션의 두 가지 공정을 이용하여 공정 시간을 가변하며 진행하였다. 포화전류($J_0$), 캐리어 수명(${\tau}$), 벌크 캐리어 수명(Bulk ${\tau}$)을 비교를 하기위해 KOH, RIE, RIE + DRE 공정을 진행한 세 가지 샘플로 실험을 진행하였다. DRE 공정을 적용할 경우 공정 시간이 지날수록 반사도가 높아지는 경향을 보였지만, 두 번째의 최적화된 솔루션 공정에서 $2.36E-13A/cm^2$, $42{\mu}s$$J_0$, Bulk ${\tau}$값과 가장 높은 $26.4{\mu}s$${\tau}$를 얻을 수 있었다. 이러한 결과는 오제 재결합(auger recombination)이 가장 많이 발생하는 지역인 표면과 불균일한 도핑 영역에서 DRE 공정을 통해 나아진 표면 특성과 균일한 도핑 프로파일을 형성하게 되어 재결합 영역과 $J_0$가 감소 된 것으로 판단된다. 높아진 반사도의 경우 $SiN_x$를 이용한 반사방지막을 통해 표면 반사율을 1% 이내로 내릴 수 있어 보완이 가능하였다. 본 연구에서는 RIE 공정 중 플라즈마에 의해 발생하는 표면 손상 제거를 통하여 캐리어 라이프 타임의 향상된 조건을 찾기 위한 연구를 진행하였으며, 기존 RIE 공정에 비해 반사도의 상승은 있지만 플라즈마로 인한 표면 손상을 제거하여 오제 재결합에 의한 발생하는 $J_0$를 낮출 수 있었고 높은 ${\tau}$값인 $26.4{\mu}s$의 결과를 얻어 추후 태양전지 제작에 향상된 효율을 기대할 수 있을 것으로 기대된다.

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The World View of the Middle Ages Fantasy Game (중세 판타지 게임의 세계관 연구)

  • Seo, Seong-Eun
    • The Journal of the Korea Contents Association
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    • v.9 no.9
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    • pp.114-124
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    • 2009
  • 73 percent of online games in Korea hold perspectives of medieval times in them. So far in history, about a millennium in medieval times is said to be a period of darkness and savagery, but it is newly revived in the digital virtual world. Such phenomenon is paradoxical and meaningful to often bring out 'medieval times' as a theme for online games, which are revealed by up-to-date technologies in present days. This research examines the background of views of medieval times appeared in online games and how they are realized. Medieval fantasy games have appeared because people dream about escaping from pre-modem times and have fantasy about medieval times. Moreover, perspectives of medieval times have enormously influenced background epics, quest stories, creation of characters in a game scenario. The dual structure having coexistence of nature and super naturalness acts an important role to set up the epic for medieval fantasy games. And medieval romance literature, which has a three-step quest narrative of 'targeting - adventure and fight - achievement' is reflected in a quest story of medieval fantasy games. The strict pyramid system represented by feudalism forms a meaningful metaphor for designing characters, and players organize communities for online games through horizontal collective consciousness in such vertical system of history at the same time.

The Design of Integrated Science Curriculum Framework Based on Big Ideas (Big idea를 중심으로 한 통합형 과학 교육과정 틀 설계)

  • Bang, Dami;Park, Eunmi;Yoon, Heojeong;Kim, Ji;Lee, Yoonha;Park, Jieun;Song, Joo-Yeon;Dong, Hyokwan;Shim, Byeong Ju;Lim, Hee-Jun;Lee, Hyun-Suk
    • Journal of The Korean Association For Science Education
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    • v.33 no.5
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    • pp.1041-1054
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    • 2013
  • Big ideas are overarching principles that help students to build a holistic understanding of domain-specific knowledge and assimilate individual facts and theories. This study aims to design a standard-based integrated science curriculum framework based on Big Ideas. The core contents were extracted by analysing the 2009 National Science Standards curriculum of primary and middle schools. Four Big Ideas, 'diversity,' 'structure,' 'interaction,' and 'change,' were generated after the process of examination and categorization of core contents. The scientific facts, disciplinary concepts, and interdisciplinary concepts of every scientific domains included in each Big Idea are represented as a knowledge pyramid. Essential questions guiding the direction of curriculum design were proposed on each Big idea. Based on the framework, teaching modules for 'structure' were developed for grades 5~6.

RIE기반 저결함 결정질실리콘 표면 Texturing패턴 연구

  • Jeong, Ji-Hui;Yun, Gyeong-Sik;Lee, Byeong-Chan;Park, Gwang-Muk;Lee, Myeong-Bok
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.283-283
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    • 2010
  • 17~18% 대역의 고효율 결정질실리콘 태양전지를 양산하기 위하여 국내외에서 다양한 연구개발이 수행되고 있으며 국내 다결정실리콘 태양전지 양산에서도 새로운 구조와 개념에 입각한 공정기술과 관련 장비의 국산화에 집중적인 투자를 진행하고 있다. 주지하는 바와 같이, 태양전지의 광전효율은 표면에 입사되는 태양광의 반사를 제외하면 흡수된 광자에 의해 생성되는 전자-정공쌍의 상대적인 비율인 내부양자효율에 의존하게 된다. 실제 생성된 전자-정공쌍은 기판재료의 결정상태와 전기광학적 물성 등에 의해 일부가 재결합되어 2차적인 광자의 생성이나 열로서 작용하고 최종적으로 전자와 정공이 완전히 분리되고 전극에 포집되어 실질적인 유효전류로 작용한다. 16% 이상의 고효율 결정질 실리콘 태양전지 양산이 요구되고 있는 현실에서 광전효율 개선 위해 가장 우선적으로 고려되어야 할 변수는 입력 태양광스펙트럼에 대한 결정질 실리콘 표면반사율을 최소화하여 광흡수를 극대화하는 것이라 할 수 있다. 현재까지 다결정 실리콘 표면을 화학적으로 혹은 플라즈마이온으로 50-100nm 직경의 바늘형 피라미드형상으로 texturing 함으로 단파장대역에서 광반사율의 감소를 기대할 수 있기 때문에 결정질실리콘 태양전지효율 개선에 긍정적인 영향을 미치는 것으로 알려져 있다. 고효율 다결정실리콘 태양전지 양산공정에 적용하기 위해 마스크를 사용하지 않는, RIE기반 건식 저반사율 결정질실리콘 표면 texturing 패턴연구를 수행하였다. 마스크없이 표면 texturing이 완료된 시료들에 대하여 A1.5G 표준태양광스펙트럼의 300-1100nm 파장대역에서 반사율과 minority carrier들의 life time 분포를 측정하고 검토하여 공정조건을 최적화 하였다. 저반사율의 건식 결정질실리콘 표면 texturing에 가장 적합한 플라즈마파워는 100W 내외로 낮았고 $SF_6/O_2$ 혼합비율은 0.8~0.9 범위엿다. 본 연구에서 확인된 최적의 texturing을 위한 플라즈마공정 조건은 이온에 의한 Si표면원자들의 스퍼터링과 화학반응에 의한 증착이 교차하는 상태로서 확인된 최저 평균반사율은 ~14% 내외였고 p-형 결정질실리콘 표면 texturing 패턴과 minority carrier의 life time 상관는 단결정이 16uS대역에서 14uS대역으로 감소하는 반면에서 다결정은 1.6uS대역에서 1.7uS대역으로 오히려 미세한 증가를 보여 다결정 웨이퍼생산과정에서 발생하는 saw-damage 제거의 긍정적 효과와 texturing공정의 표면 결함발생에 의한 부정적 효과가 상쇄되어 큰 변화를 보이지 않는 것으로 해석된다.

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Function and Utility of Musical Action Songs - Focoused on the Musical (뮤지컬 '액션송' 기능과 효용성 연구 - 뮤지컬 <공포의 꽃가게>를 중심으로 -)

  • Shin, Dong-A;Kim, Hak-Min
    • Journal of Korea Entertainment Industry Association
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    • v.14 no.8
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    • pp.49-62
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    • 2020
  • Musicals are plays in which songs and dances are closely aligned with the plot development of the play, and songs and dances develop specific situations and a series of events. In particular, songs perform a fuction of causing the significant changes and emotional ventilation and amplification in the play by specifically capturing the goals and actions the characters are aiming for. This paper focuses on the song that takes on the function of the plot deployment, defines songs that embody actions and stories on stage' as 'action songs' and highlights their role and importance. Action Song is not a clearly defined or prescribed term in Musical. However, 'Action Song' is a song about how a character's desire or motivation for action, given as a 'character song' inserted at the beginning of an integrated musical play, provides a conflict that is a central event of action. In other words, 'action song' means a song that organically combines music and narrative by conveying the action on the stage as a song with lyrics. In addition, it is a song that moves the plot forward and contains a series of events or actions that are the material of the plot. This paper is intended to summarize the concept of'Action song which is not well known to us, and to lay the foundation of the stud, learned the concept, function and efficiency by the analyses of script and music of the musical . As a result, action songs accumulate and amplify tension caused by conflicts and induce the audience to immerse in their emotions. At the same time, the action song multiplies fun and interest of the play while the audience's expectation increased for the next scene after the action song and the progression of the play with single action makes the contents of the drama to be understood clearly.