• 한국광학회지
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• 제34권2호
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• pp.53-60
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• 2023

193 nm에서 반도체 전공정 검사 장치에 적용될 수 있는 반사 굴절 혼합 형식(카타디옵트릭)의 수치 구경(numerical aperture, NA) 0.6 대물렌즈를 설계하였다. 200 nm 공간 분해능 및 0.15 mm 이상의 시야를 확보하기 위하여, 먼저 렌즈 전체 배치를 포커싱 렌즈 그룹, 필드 렌즈 그룹 및 NA 변환 그룹으로 구성하였으며, 선행 그룹에 포커싱된 빔의 수치 구경 값을 필요 값, 즉 0.6으로 변환하는 기능을 수행한다. 총 11매의 광학 소자로 구성된 최종 설계는 모든 관측 시야에 대하여 λ/80 이하의 RMS 파면 수차를 만족하였다. 또한 고분해능 대물렌즈의 높은 환경 민감도로 인한 온도 변화에 따른 광학계 성능 해석 결과, ±0.1 ℃의 온도 변화에서도 목표 성능 이하로의 성능 저하가 확인되어 온도 변화에 따른 광학 보상이 반드시 필요하였다. 이에 초점면 이동을 보상자로 적용할 경우, 20 ± 1.2 ℃까지 RMS 파면 수차 변화량이 λ/30 이하로 목표 성능을 만족하여 실제 반도체 공정 환경에서도 이용이 가능함을 확인하였다.

• 한국산업안전학회:학술대회논문집
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• 한국안전학회 2000년도 춘계 학술논문발표회 논문집
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• pp.254-259
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• 2000

현재 막대한 기초투자비와 대규모의 고가장비들로 이루어진 가스시설물 및 관련 산업분야는 풍부한 경험과 깊이 있는 공학적 지식을 바탕으로 코드, 가이드라인, 체크리스트, 표준규격 등의 관리체계를 통해 사업장내에서 상당한 수준의 안전을 보증하고 있다. 하지만 여전히 관련된 사고의 개연성은 상존하고 있으며 인명 및 재산피해를 수반한 사고도 지속적으로 발생하고 있다. (중략)

• 한국통신학회논문지
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• 제26권6A호
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• pp.1099-1106
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• 2001

본 논문에서는 IEEE 802.11a 표준안으로 확정된 OFDM(Orthogonal Frequency Division Multiplexing) 방식을 적용한 고속 무선 LAN의 최적 시스템을 설계하기 위하여 실내 채널 특성들을 분석하였다. 통계적 채널 모델링 및 JTC(Joint Technical Committee) 모델에서의 실내 및 실외 환경을 선택하여 채널에 따른 고속 무선 LAN 시스템을 모의 실험하였다. 또한 채널에 의한 열화를 보상하기 위하여 무선 LAN 표준안에 따른 긴 훈련 신호를 이용한 채널 등화기법인 LS(Least Square) 방식과 LMMSE(Linear Minimum Mean Square Error) 방식을 비교 분석하였다. LS 기법과 본 논문에서 제시한 LS 방식으로 채널의 지연 확산 rms(root mean square) 값을 추정한 후 LMMSE 기법을 사용한 경우의 차이점을 고찰하였다. 이러한 LMMSE 기법을 채택할 경우 LS 기법에 비해 실외환경과 같은 열악한 채널환경 하에서도 시스템 성능에 상당한 개선효과가 나타남을 확인할 수 있었다.

• 한국방사선학회논문지
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• 제11권7호
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• pp.671-677
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• 2017

본 연구에서는 피사체 두께 증가에 따른 산란선 발생이 의료 영상화질에 미치는 영향을 정량적으로 분석하기 위한 연구를 수행하였다. 기존 병원에서 검사빈도가 높은 흉부를 조직등가물질로 제작한 미국표준협회(ANSI; American National Standards Institute) 팬텀을 이용하여 피사체 두께가 증가함에 따라 발생하는 산란선 비율을 MCNPX 전산모사 하였으며, 실제 측정값과의 비교 분석을 수행하였다. 또한 피사체 두께 증가에 따라 획득된 X선 영상을 이용하여 RMS 입상성 평가, RSD 및 NPS 분석을 통해 산란선 발생 증가에 따른 화질 영향을 평가하였다. 흉부 팬텀위에 두께 1 인치의 아크릴 팬텀을 추가적으로 증가시키면서 분석한 결과, 표준 두께인 6.1 inch에서 산란선 비율은 48.9 %를 기준으로 1 인치 증가시마다 57.2 %, 62.4 %, 66.8 %로 증가하는 것으로 나타났으며, 이는 MCNPX 모의실험과 실제 측정한 산란선량은 유사한 결과를 보였다. 획득한 영상의 RMS 측정 결과, 피사체 두께가 증가함에 따라 표준편차가 낮아지는 값으로 도출되었다. 하지만 이를 평균 입사선량을 고려한 RDS 분석에서는 6.1 inch에서 0.028, 7.1 inch의 경우 0.039, 8.1 inch 경우 0.051 및 9.1 inch에서 0.062으로 증가하는 결과를 나타났다. 이는 피사체 두께 증가에 따른 산란선 발생 증가가 신호대 잡음비를 감소시킨다는 것을 알 수 있었다. 또한 검출기에 입사한 산란선 분포만 이용하여 측정한 NPS 결과에서도 피사체 두께가 증가할수록 노이즈가 증가하는 결과로 도출되었다.

• 한국환경보건학회지
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• 제42권6호
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• pp.450-464
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• 2016

Objectives: This study developed and validated reference materials (RMs) to analyze metal compounds in blood. Methods: We referred to KoNEHS (Korea National Environmental Health Survey) to estimate concentrations of blood metals (cadmium, Cd; lead, Pb; mercury, Hg) and applied analytical methods (inductively coupled plasma - mass spectroscopy, ICP-MS, for Cd and Pb; graphite furnace - atomic absorption spectrometry, GF-AAS, for Cd and Pb; and direct mercury analyzer, DMA, for Hg). Homogeneity and stability tests were carried out. In addition, certified values and uncertainties of RMs were calculated through internal and external experiments. All RMs were developed and assessed in various forms according to element, analytical method, and two types of concentration levels high concentration for occupational exposure and low concentration for environmental exposure. Results: All samples showed acceptable homogeneity, except for low concentration of Cd in the GF-AAS method. Short- and long-term stabilities were satisfied by ANOVA testing. In the inter-laboratory comparison, robust medians were lower than the certified values of all RMs (robust median/reference value; $1.301/1.327{\mu}g/L$ for Cd, ICP-MS, low concentration; $3.152/3.388{\mu}g/L$ for Cd, ICP-MS, high concentration; $1.219/1.301{\mu}g/L$ for Cd, GF-AAS, low concentration; $3.074/3.321{\mu}g/L$ for Cd, GF-AAS, high concentration; $14.473/14.516{\mu}g/L$ for Pb, ICP-MS, low concentration; $50.069/50.114{\mu}g/L$ for Pb, ICP-MS, high concentration; $12.881/14.147{\mu}g/L$ for Pb, GF-AAS, low concentration; $47.015/47.591{\mu}g/L$ for Pb, GF-AAS, high concentration; $4.059/4.218{\mu}g/L$ for Hg, DMA, low concentration; $11.474/11.181{\mu}g/L$ for Hg, DMA, high concentration). Conclusion: This study demonstrates procedures for developing and validating RMs for biomonitoring in the field of the environmental health.

• Radiation Oncology Journal
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• 제26권3호
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• pp.181-188
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• 2008

목 적: 호흡을 고려한 사차원방사선치료의 효용성 증대를 위하여, 규칙적이고 안정된 호흡주기 및 호흡량을 갖도록 환자를 교육하고 호흡을 연습시키는 호흡연습장치 및 프로그램을 자체 제작하여 유용성을 평가하였다. 대상 및 방법: 호흡연습장치를 사용시 및 사용후의 호흡의 규칙도의 변화를 측정하기 위해 11명(자원자 9명, 환자 2명)을 대상으로 실험을 실시하였다. 자유롭게 호흡하는 '자유호흡(free-breathing)'법, 자유호흡 시 시뮬레이션 된 표준 호흡주기를 따라함으로써 일정한 호흡주기를 만드는 '신호모니터-호흡(guided-breathing)'법 및 호흡연습 후 시뮬레이션 신호 없이 호흡하는 '연습 후 호흡(postguided-breathing)'법 등 3가지 방법으로 호흡주기를 기록하여 호흡주기(PTP (Peak To Peak))와 호흡크기(Amplitude) 및 호흡패턴(Area, RMS (Root Mean Square))의 변화를 정량적으로 분석하였다. 결 과: 호흡주기를 보여주는 PTP 값은 '신호모니터-호흡'에서 표준편차 값(standard deviation)이 의미 있게 감소하여 호흡주기가 더 규칙적이었고(자유호흡 0.568 vs 신호모니터-호흡 0.344, p=0.0013), '연습 후 호흡'법에서는 '자유호흡' 시보다 표준변동치가 낮아 호흡주기가 보다 안정적이었으나 통계적으로 유의한 차이는 없었다(자유호흡 0.568 vs 연습 후 호흡 0.512, p=ns). 호흡량 측정 결과는 '자유호흡'보다 '신호모니터-호흡'의 경우 호흡량의 표준편차 값이 낮아 호흡량이 보다 일정하게 유지되었으나 통계적으로 유의한 차이는 없었다(자유호흡 1.317 vs 신호모니터-호흡 1.068, p=0.187). 호흡 패턴은 '자유호흡'과 '모니터 호흡' 사이에는 큰 차이가 발생하지 않았지만, '연습 후 호흡'에서는 호흡주기 내 호흡함수의 평균 면적이 7% 감소하였고 RMS 값은 5.9% 감소를 보였다. 결 론: '신호모니터-호흡'에서 호흡주기 및 호흡량이 가장 일정하게 유지되었다. 호흡연습의 효과는 시뮬레이션 신호 없이 호흡하는 '연습 후 호흡'의 경우 시간 경과에 따라 감소할 것으로 판단되었다. 본 연구에서 제작한 호흡연습장치 및 프로그램은 호흡의 주기의 규칙성과 호흡량을 일정하게 유지시키는데 효과적으로 평가되었다.

• 융합신호처리학회논문지
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• 제7권3호
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• pp.122-129
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• 2006

본 논문에서는 고차 비구면 렌즈의 성능 평가를 위해, Fizeau 형 위상 천이 간섭계 (FPSI) 시스템을 제안한다. 제안된 Fizeau 형 위상 천이 간섭계 시스템은 광학부와 신호처리부로 나뉘며 이는 하드웨어 운용 프로그램을 통해 구동된다. 또한, 제안된 시스템으로 획득된 간섭무늬를 해석하기 위해, 위상 천이 알고리즘을 적용한 간섭무늬 해석 프로그램을 개발하였다. 본 논문에서 제안한 FPSI 시스템의 측정 결과는 업계 표준으로 사용되고 있는 Zygo 사의 간섭계 측정 장치인 Mark IV와 직접 비교함으로써 그 타당성을 입증하였다. 평가된 고차 비구면 렌즈의 표면 오차에 대한 PV(Peak-to-Valley) 및 RMS 값은 각각 0.845 wave 및 0.1871 wave로 측정되었고 Mark IV 와 비교한 결과, 측정 오차는 각각 ${\lambda} /100$ 이하로 계산되었다. 또한, 비구면 렌즈의 성능평가 시스템의 반복능도 ${\lambda}/100$ 이하의 신뢰할 만한 결과를 얻었다.

• 한국정밀공학회지
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• 제7권3호
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• pp.37-47
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• 1990

In accordance with the high precision of mechanical elements, it has been required to high precision in surface roughness measurement and, therefore, stylus tip radius is manufa- ctured less than 2 .mu. m through ion sputter machining. In this experiment, by suing ion sputter machined stylus pf fine tip, radius and lapping machined stylus, surface roughness of standard specimens, silicon wafer were measured and then Rmax, Ra, RMS value were investi- gatedaccording to the variation of tip radius of stylus. As a result, measuring error due to the variation of stylus tip radius in surface roughness measurement was decreased by using ion sputter machined stylus and also the measuring accuracy was improved. And the measuring variation of Ra, RMS calculated from correlation coefficient lager than 0.9 on the wave of short period and amplitude using ion sputter machined stylus of fine tip radius.

• 한국추진공학회지
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• 제24권3호
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• pp.31-40
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• 2020

다수의 충격파에 대한 구조와 거동특성은 노즐 출구 마하수가 1.75인 모델에 대하여 유한체적기법을 사용하여 수치해석적으로 조사하였다. 먼저 이미지를 기반으로 한 충격파 진동특성을 Matlab 프로그램을 사용하여 분석한 후 특정 위치에서 벽면 정압변화를 분석하였다. 또한 다수 충격파들의 진폭 및 주파수도 조사하였다. 충격파 위치들 사이의 상호상관은 첫번째 충격파와 두번째 충격파는 서로 관련이 있는 반면에 다른 충격파들은 진동특성에서 위상 지연을 나타내었다. 벽면 압력변동의 RMS값은 충격파 위치에서 최대이며 유동의 다른 부분에서는 낮은 OS 표준편차값을 나타내었다.

• 한국기록관리학회지
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• 제11권2호
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• pp.189-215
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• 2011

업무환경의 변화와 불확실성의 증대로 인해 위험관리의 중요성이 날로 부각되는 상황에서 업무의 정당성 확보와 정보적 가치 제고를 위해 기록관리 측면의 위험관리 역시 매우 중요해지고 있다. 기존의 전통적인 기록관리의 위험성이 주로 보존기능에 집중되어 있었다면 IT기반에서는 업무와 기록의 연관성이 높아짐에 따라 기록의 생산, 유통, 활용 단계 즉 업무과정의 위험성이 기록관리의 위험성으로 직결되고 있다. 본 연구는 ISO 31000의 조직 전반의 위험관리 프레임웍을 토대로 기록관리의 위험관리 요소와 대응 전략을 제시하였다. 특히 기록관리 위험관리 프로세스를 ARMA에서 제시하는 업무영역과 NIST에서 제시한 시스템영역으로 구분하고, 각 영역의 프로세스별 점검요소는 ISO의 기록관리표준 중에서 업무과정에 대한 표준(ISO TR 26122)와 기록의 생산 맥락에 대한 표준(ISO 16175-3)에서 해당 요소를 추출하였다.