• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.141.2-141.2
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• 2015

교류임피던스 측정기법을 이용하여 전기화학적으로 외부환경에서 소재 금속까지 물질 및 전하이동에 관한 임피던스 측정이 가능하며 도막의 부식 및 노화정도 및 내식성의 평가가 가능하여 산업체에서 널리 이용되고 있다. RPCS(Remote Plasma Cleaning Source)는 패널 및 반도체 제조공정에서 CVD 증착공정 후 챔버 내부에 입혀지는 Si(실리콘)을 화학적으로 세정하기 위한 F(불소) Radical을 공급하는 원격 고밀도 플라즈마를 발생시키는 제품이다. RPCS의 바디는 알루미늄을 사용하고 절연 및 플라즈마에 대한 내구성을 확보하기 위해 아노다이징 코팅을 한다. 반응기 내벽의 표면이 공정 플라즈마에 노출될 때 소재는 화학적으로 매우 활성이 높은 라디칼과의 반응뿐만 아니라 이온의 충격을 동시에 받게 되며 이 과정에서 다량의 불소 (Fluorine) 라디칼과 전계에 반응한 이온의 운동에 노출되면서 아노다이징 코팅이 손상되는데 이는 기기의 수명 단축 및 파티클을 발생시키며, Arc의 원인이 되기도 한다. 실제 사용 환경에서는 기기의 분해 없이 아노다이징의 상태를 주기적으로 모니터링 하기가 대단히 어려워, 정기적으로 교체하고 있는 실정이다. 본 연구에서는 RPCS내 발생된 플라즈마 현상을 컨덕터로 활용하여 고주파 리액턴스를 임피던스로 환산하여 아노다이징 코팅의 손상 정도를 진단 및 모니터링하였다. 아노다이징이 손상된 내부 블럭과 정상상태인 내부 블럭의 임피던스를 비교하였고, 아노다이징 두께별 임피던스를 측정하였다. 그 결과 아노다이징 절연막이 손상된 블록의 임피던스가 정상 블록에 비해 낮았으며 두께별 임피던스도 비례함을 알 수 있었다. 향후에는 장기간 현장에서 축척되어진 시험데이터를 바탕으로 아노다이징 코팅의 수명예측진단 시스템을 구축하고자 한다.

• Korean Journal of Materials Research
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• v.7 no.11
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• pp.991-998
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• 1997

중성과 산성의 전해질내에서 여러 탄소전극의 전기화학적 특성과 전극재료의 중요함수인 이중층 축전용량에 대하여 조사 하였다. 이를 위해 임피던스 스펙트로스코피를 이용하였으며, 0.5M $K_{2}$SO$_{4}$용액과 0.1M H$_{2}$SO$_{4}$용액내에서 electrographite와 박판상 흑연의 경우 이중층 축전용량은 다른 두 전극재료에 비하여 높게 나타났으며, 0.1M H$_{2}$SO$_{4}$용액에서 탄소재료의 전하이동저항 R$_{1}$은 유리상 탄소와 PVDF graphite의 경우 140 ㏀과 31.9㏀로 나타났으며 electropraphite와 박판상 흑연의 경우 2.0㏀과 5.7㏀의 적은 값을 나타냈다. 이는 재료의 표면이나 내부의 기공에 의해 생기는 커다란 비 표면적 때문이며, 이것에 의해 재료의 상경계에서 측정된 임피던스량은 저주파영역에서 낮게 나타났다. 특히 electrographite는 전극계면에서 흡착의 영향이 현저하게 나타났으며, 4종류 전극재료의 전기화학적 특성과 이중층 축전용량은 전극표면 조직에 의해 차이가 나타났다.

• Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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• v.6 no.4
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• pp.571-583
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• 1996

The electrochemical behavior on electrographite and graphite foil electrode with porous surface in 0.5 M $K_{2}SO_{4}$ solution with 1 mM $[Fe(CN)_{6}]^{3-}/[Fe(CN)_{6}]^{4-}$ have been characterized by impedance spectroscopy. In cyclic voltammograms, relative high current according to structure of porous surface for graphite materials was represented, and indicated hgih double layer capacitance on graphite foil. The faraday-impedance and the change of impedance spectrum on both graphite materials were not remarkable during polarization by reaction of field transport. Chemical adsorption was represented on electrographite and was depended highly at anodic polarization.

• Proceedings of the Korea Society for Industrial Systems Conference
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• 1998.10a
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• pp.861-866
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• 1998

본 논문은 프로우브 급전한 주기적인 위상 배열 마이크로스트립 안테나의 계산된 결과를 제시한다. 수치적인 마들은 엄밀한 그린 함수와 캘러킨 (Galerkin)해에 근거를 둔다. 임의의면(plane)에서의 입력 임피던스를 스캔 각도에 따라 계산하여 반사계수를 구하고 유전체의 유전율과 두께가 위상 배열 안테나에 미치는 영향을 제시한다. 표면파에 의한 스캔 블라인드 현상을 설명하고 유전체의 두께에 따른 E-면과 H-면에서의 입력 임피던스 대역폭을 계산한다.

• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.13 no.5
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• pp.5-14
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• 1994

In this study, the ground impedance is measured using the standing wave method in a free field on the grass, the soil, and the ground covered with asphalt and cement. And the excess attenuation of sound is investigated. Results are obtained in the frequency range between 300Hz and 1000Hz. There are very good agreements between the results of the measured ground impedance and the prediction of Delanyand Bazley. The ground impedance is increased in order the grass, the soil, the asphalt and the cement road, decreased with frequency for each the ground. The excess attenuation of sound is mainly determined by the ground impedance. The experimental results of the excess attenuation over the different types and the microphone heights are compared with the theoretical values.

• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.18 no.4
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• pp.65-70
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• 1999

To examine the space variances of the sound pressure level for five different types (normal frequency spacing) of reverberation rooms, simulations were conducted using the Finite Element Method. In case of infinite surface impedance, nonrectangular reverberation rooms showed small Standard Deviations across the band of frequency, and in case of finite surface impedance, ideal rectangular reverberation rooms showed the similar results as those in irregular shaped reverberation rooms.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2012.11a
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• pp.71-71
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• 2012

Memory 반도체 Test공정에서 사용되는 Probe Card의 Probing Area가 넓어지면서 종래에 사용되던 Cantilever제품의 사용이 불가능하게 되고, MEMS공정을 사용한 새로운 형태의 Advanced제품이 시장에 출현을 하였다. MEMS형의 제품은 다수의 Micro Spring을 MLC(Multi Layer Ceramic)위에 MEMS 공정을 사용하여 생성하는 방식으로서 MLC는 좁은 지역에 다수의 Pin을 생성 할 수 있는 공간을 만들어 주며, 또 다른 이유는 전기적 특성인 임피던스를 맞추고 다수의 Pin의 압력에 의하여 생기는 하중을 Ceramic기판으로 지탱하기 위한 목적도 있다. 이에 MLC와 같은 전기적 특성을 임피던스를 맞춘 RF-CPCB를 사용하여 작은 면적에 다수의 Pin접합이 가능한 방법을 마련한 후, 이 RF-PCB를 부착하여 Pin의 하중을 받는 Wafer와 유사한 열팽창을 갖는 Substrate를 사용하여 MLC를 대체하여 다양한 온도 조건에서 사용이 가능하며, 복잡하고 공정비가 많이 드는 MEMS 공정에 의한 일괄 Micro Spring 생성 공정을 전주 도금 또는 2D방식의 도금 Pin으로 대체하였으며, Probe Card의 중요한 물리적 특성인 Pin들의 정렬도를 마련하기 위해 Photo Process를 사용한 Wafer로 만든 Wafer Pin Array Frame을 사용하여 2D 제작 Pin을 일괄 또는 부분 접합이 가능한 방법으로 Probe Array Head를 제작하여 이들을 부착하여 Probe Array Head를 이전의 MEMS공정 방법에 비해 쉽고 빠르게 만들어 probe Card를 제작 할 수 있게 되었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2015.05a
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• pp.174-174
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• 2015

아연 도금 강판은 우수한 내식성으로 인해 널리 사용되고 있지만 최근 아연의 자원 고갈 및 지속적인 가격 상승문제로 인해 아연의 사용량을 줄이기 위한 연구 들이 진행 중이다. 최근 마그네슘이 첨가 된 아연 박막이 기존 아연 도금 강판에 비해 우수한 내식성을 갖는 결과들이 보고 된 바 있다. 본 연구에서는 비대칭 마그네트론 스퍼터링 방식을 활용해 합성된 Zn-Mg 박막을 전기화학적 임피던스 분광법 (EIS)을 통해 침지시간에 따른 전하이동저항의 변화를 분석하였다. EIS와 XRD 분석 결과에서 Zn-Mg 박막이 부식되면서 형성되는 안정한 simonkolleite 상이 전하이동저항의 증가에 큰 영향을 미치는 것으로 판단된다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2013.05a
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• pp.74-74
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• 2013

본 연구에서는 AZ31 마그네슘 합금의 내식성을 향상시키기 위하여 플라즈마 전해산화(PEO, plasma electrolytic oxidation)법을 이용하여 $5{\sim}50{\mu}m$ 두께의 산화피막을 형성시켰으며, 염수침지법, 동전위 분극실험 및 a.c. 임피던스 측정법을 이용하여 형성된 산화피막의 특성을 평가하였다. 플라즈마 전해산화 피막은 다양한 용액에서 펄스전류를 인가하여 형성하였으며, 플라즈마 전해산화 처리된 AZ31 마그네슘 합금 시편은 증류수에서 실링 처리할 경우 0.5 M NaCl용액에 침지 시 600 시간동안 부식이 일어나지 않았다.

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.9 no.3
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• pp.602-608
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• 2005

We have studied to obtain the SAW filter for the Single Phase Unidirectional Transduce. (SPUDT), was formed on the Langasite substrate and was evaporated by Aluminum-Copper alloy and then we performed computer-simulated by simulator. We can fabricate that the block weighted type IDT as an input transducer of the filter and the withdrawal weighted type IDT as an output transducer of the filter from the results of our computer-simulations. Also, we have performed to obtain the properly conditions about impedance matching of the SAW filter for SPUDT. We have employed that the number of pairs of the input and output IDT are 50 pairs and the thickness and the width of reflector are 5000A and $3.6{\mu}m$, respectively. And the width of IDT' fingers is $2.4{\mu}m$, and the space between IDT' finger and reflector is $2.0{\mu}m$. Frequency response of the fabricated SAW filter has the property that the center frequency is about 190MHz and bandwidth at the 3dB is probably 7.7MHz after when we have matched impedance. Also, we could obtain that ripple characteristics is less than 0.4dB and standing wave ratio is probably 1.5 after when we have matched impedance.