• Title/Summary/Keyword: 표면피막

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Anodic Film Formation on Aluminum(IV) (양극산화피막 형성에 관한 연구(IV))

  • 한성호
    • Journal of the Korean institute of surface engineering
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    • v.22 no.3
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    • pp.145-153
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    • 1989
  • 양극산화 피막의 형성 반응에 대한 연구는 1930년대부터 되어 왔으며, 특히 High Field Conduction에 대한 물리학자들의 관심도는 아주 높아었다. 1960년대 이르러 비정질 구조에 대한 심도 있는 연구가 진행되면서, 여러 가지 이론적으로 풀지 못하는 실험실적 결과들에 대한 제한들이 나오게 되었고, Ionic Migration Process에 대한 Kinetics는 많은 발전을 보게 되었다. 최근까지의 연구결과, Ioinc Conduction Mechanism은 Anodic Film의 미세 결정 구조와 밀접한 연관성을 가진다는 결론에 도달하였고, 비정질 구조의 High Field하에서의 거동에 대한 새로운 분야의 연구가 진행되고 있다. 본 고에서는 반응 Mechanism에 관한 연구결과들을 1930년대 이후 어떻게 진행되어 설명 되었는가를 조명하므로서 실제 실험 결과의 해석게 도움이 되었으면 하는 바램이다.

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EFFECT OF VARIOUS MECHANICAL TREATMENTS OF HYDROXYAPATITE-COATED IMPLANT SURFACES (Hydroxyapatite 피막 처리된 임프란트에 대한 여러가지 기계적 표면처리방법이 임프란트 표면조도 및 성상에 미치는 영향)

  • Yang, Kyung-Ran;Jung, Oh-Chul;Lee, Jae-Mok;Suh, Jo-Young
    • Journal of Periodontal and Implant Science
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    • v.24 no.1
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    • pp.131-143
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    • 1994
  • For maintenance of exposed implant in healthy state, it is necessary to treat the surface of implant fixture and provide the surface adjustable to surrounding tissues. Variable techniques have been introduced such as citric acid and air-abrasive system to treat the failed implant. Although when the rough surface of HA coated implant was exposed to oral environment, the surface treatment method with citric acid or air-abrasive system is effective for removal of bacterial endotoxin, it is unsuccessful to prevent plaque deposition due to difficulty in removal of rough surface of HA coated implant. Thus, in this study the method that removes bacterial endotoxin and makes smooch surface without alteration of surface characteristics was studied. HA coated disc manufactured by IMZ Co. Was treated with high speed diamond bur, low speed diamond bur, stone bur, rubber point, jetpolisher. And then its surface state was examined with profilometer and SEM to evaluate the surface smoothness, and its surface component was analyzed with EDX to evaluate wheter the surface characteristics were altered or not. As a result, following results were obtained. When the surface roughness of each implant disc was measured by profilometer, the group I showed a $R_{max}\;2.11{\mu}m$ and the group II, III, IV, V showed a $R_{max2}\;4.17{\mu}m$, $7.28{\mu}m$, $8.61{\mu}m$ and $39.44{\mu}m$ respectively. That is, surface smoothness was highest in the group I and it has been gradually decreased in the group II, III, IV and V. Under the SEM examination, the group I showed relatively smooth surface and the group II showed slightly rougher surface than the group I due to partially remaining HA particles while most HA particle was removed. The group III and IV showed rough topography due to HA particles that was not grinded, and HA coated surface in group V showed very irregular surface with deep groove and prominence. In cross-sectional view, the group I showed uniform surface, and the group III, IV showed rough surface due to remaining HA particles but the thickness of HA coating was remarkably reduced. The group II has similar pattern in group I, and the group V showed about $40{\mu}m$ thickness although it was not constant. By analysis of surface component with EDX, the group II in which the grinding was effective showed a small quantity of calcium and phosphorous and the group III, IV, in which the grinding was incomplete showed calcium and phosphorus peak. In all experimental group, no other than titanium, aluminum, calcium, phosphorus was observed.

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A Comparative Study for Chemical Conversion Layers on Magnesium Alloys (마그네슘 합금에 따른 화성피막 비교)

  • Kim, Hye-Jeong;Park, Yeong-Hui;Gang, Gyeong-Su
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2011.05a
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    • pp.45-45
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    • 2011
  • 마그네슘 합금은 상용 구조용 합금 중에서 비중이 1.74로 가장 낮아 경량화가 요구되는 분야에서 오랫동안 각광을 받아왔다. 그러나 마그네슘 합금은 상용 금속들 중에서 가장 화학적 활성이 커서 표면처리 후 내식성 확보가 필수적이다. 기존의 마그네슘 합금의 표면처리 방법은 주로 AZ91D의 다이캐스팅재에 집중되어 왔으며, 포스코에서 생산되는 AZ31의 스트립 캐스팅재의 표면처리는 합금의 차이로 인하여 공정이 새롭게 개발되어야 한다. 본 연구에서는 화성처리 공정에서 AZ31, AZ61, AZ91D의 합금 차이에 의한 화성피막의 특성을 고찰하였다.

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Etcher용 상부전극의 Life Time 평가 방법 연구

  • No, Seung-Wan;Song, Je-Beom;Sin, Jae-Su;Gang, Sang-U;Kim, Jin-Tae;Sin, Yong-Hyeon;Yun, Ju-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.43-43
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    • 2010
  • 반도체 및 디스플레이의 진공부품은 알루미늄 모제에 전해연마법(electrolytic polishing), 양극산화피막법(anodizing), 플라즈마 용사법(plasma spray) 등을 사용하여 $Al_2O_3$ 피막을 성장시켜 사용되고 있다. 반도체 제조공정 중 30~40% 이상의 비중을 차지하는 식각(etching) 및 증착(deposition) 공정의 대부분 은 플라즈마에 의해 화학적, 물리적 침식이 발생하여 피막에 손상을 일으켜 피막이 깨지거나 박리되면서 다량의 particle을 생성함으로써 생산수율에도 문제를 야기 시킨다. 본 연구에서는 이러한 진공부품의 하나인 etcher용 상부전극을 양극산화피막법(Anodizing)으로 $Al_2O_3$ 피막을 성장시킨 샘플을 제작하여 플라즈마 처리에 따른 내전압, 식각율, 표면 미세구조의 변화를 관찰하였고 이를 종합적으로 고려하여 etcher용 상부전극의 Life Time 평가 방법을 연구하였다. 이러한 실험을 통해 플라즈마 처리 후 피막에 크랙이 발생되는 것을 확인할 수 있었고 피막의 손상으로 전기적 특성이 감소되는 것을 확인할 수 있었다. 또한 플라즈마 처리 중 ISPM 장비를 이용하여 플라즈마 공정에서 발생하는 오염입자를 실시간으로 측정할 수 있는 방법을 연구하였다. 이러한 결과를 이용하여 진공공정에서 사용되는 코팅부품이 플라즈마에 의한 손상정도를 정량화 하고 etcher용 상부전극의 Life Time 평가 방법을 개발하여 부품 양산업체의 진공장비용 코팅부품의 개발 신뢰성 향상이 가능할 것으로 기대된다.

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Effect of pH Adjuster on Adhesion Strength between electroless copper film and Ta diffusion barrier (반도체 배선용 무전해 구리 도금액의 pH 조정제가 접합력에 미치는 영향)

  • Lee, Chang-Myeon;Lee, Hong-Gi;Heo, Jin-Yeong;Song, Dong-Ho
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2013.05a
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    • pp.186-186
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    • 2013
  • 반도체 배선용 무전해 구리 도금에서 pH조정제가 구리피막과 Ta 확산방지막 사이의 접합력에 미치는 영향에 대하여 연구하였다. TMAH로 pH가 조절된 경우 NaOH 사용시에 비하여 높은 접합력을 나타내었다. 면간거리 및 밀도 측정결과 TMAH를 사용한 경우 구리피막이 보다 치밀한 구조임을 확인할 수 있었다. TMAH 사용시의 높은 접합력은 NaOH을 사용 한 경우에 비하여 무전해 구리피막이 보다 낮은 내부응력을 갖기 때문으로 판단되었다. pH조정제에 따른 내부응력의 변화를 결정구조의 관점에서 자세히 고찰하였다.

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Wear characteristics of coated $Si_3N_4$-TiC ceramic tool (Coated $Si_3N_4$-TiC ceramic 공구의 마모 특성)

  • 김동원;권오관;이준근;천성순
    • Proceedings of the Korean Society of Tribologists and Lubrication Engineers Conference
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    • 1988.06a
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    • pp.43-48
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    • 1988
  • 보호피막을 입히는 방법으로는 화학증착법과 물리증착법이 주로 사용되고 있다. 고온 분위기에서 기체 상태인 반응물의 화학반응을 통하여 원하는 물질을 증착시키는 화학증착법은 물리증착법에 비해 점착성(adhesion)이 우수하고, 보호피막층의 성분조절이 용이하며, 반응물이 기체상태이므로 대량생산이 용이하여 보호피막 증착법으로 많이 사용되고 있다. $Si_3N_4$-TiC ceramic 표면에 TiC, TiN 및 Ti(C, N) coating을 함으로써 얻을 수 잇는 장점들은 표면층의 경도를 증가시키며, steel과의 마찰계수의 감소 및 coating 층 자체가 고온에서 고체 윤활제로 작용하여 마찰열의 상당한 감소를 얻을 수 있으며, 또한 coating층 자체가 비교적 안정한 화합물로 피삭재내의 성분원소들에 대한 diffusion barrier로 작용되며, 내식성을 증가시킬 수 있다. 본 연구에서는 각 증착층의 미소경도, 열충격저항, steel과의 마찰계수를 측정하였으며, 최종적으로 절삭시험을 통하여 증착층들의 내마모성을 조사, 규명하였다.

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Evaluation of Structural characteristic and corrosion resistance of anodic film depending on the concentration of Sodium Silicate on the AZ31B Magnesium Alloy by MAO process (AZ31 마그네슘 합금의 MAO(micro-arc oxidation) 처리 시 첨가 되는 $Na_{2}SiO_{3}$의 농도에 따른 양극피막의 구조 및 부식특성 평가)

  • Lee, Dong-Gil;An, Yun-Mo;Kim, Yong-Hwan;Jeong, Won-Seop
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.221-222
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    • 2009
  • AZ31 마그네슘 합금에 AC 전류를 인가하여 MAO(micro-arc oxidation) process로 양극산화 할 때 알카리 전해액에 첨가되는 sodium silicate(Na2SiO3)의 농도에 따라 형성되는 양극 피막의 구조와 부식특성을 평가하였다. 전해질의 조성은 10g/1 KOH와 4g/1 KF 혼합 전해액에 sodium silicate를 (5, 10, 20, 40, 80)g/1로 달리하여 첨가한 후 $40mA/cm^2$의 전류밀도로 20분간 MAO 처리한 후 양극피막의 조직을 SEM, XRD, EPMA를 이용하여 분석하였고 동전위 분극시험으로 부식 거동을 평가하였으며 micro-vickers 경도계를 이용하여 단면의 경도를 측정하였다.

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The Study on the properties of CrTiAlN Thin Films with Si Contents Variation by Cathodic Arc Ion Plating (아크이온플레이팅법에 의한 CrTiAlSiN 박막의 Si 함량 변화에 따른 특성 연구)

  • Jo, Yong-Gi;Yu, Gwang-Chun;Jeong, Dong-Geun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2012.11a
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    • pp.110-110
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    • 2012
  • 아크이온플레이팅법과 스퍼터링법을 이용하여 금형의 보호코팅으로서 CrTiAlSiN 박막을 합성하였다. 연구는 CrTiAlN 피막에 Si이 첨가됨에 따른 농도변화가 피막의 경도 및 내열성에 미치는 영향을 조사하였다. Si 함유량 변화에 따른 특성의 변화에 대해 XRD, TGA, 경도분석, 윤활성의 분석을 통해 조사하였으며, 함성된 피막은 기존 CrN 박막 대비 내열성이 우수하게 향상되었으며 경도의 향상과 낮은 윤활성을 보였다.

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Effects of magnesium ion on phosphating of Zn-Mg alloy coated steel (Zn-Mg 합금도금의 인산염처리에 있어 마그네슘의 영향성)

  • Min, Jae-Gyu;Son, Hong-Gyun;Yu, Yeong-Ran;Lee, Jae-Won;Gwak, Yeong-Jin;Kim, Tae-Yeop;Kim, Gyu-Yeong
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.264-264
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    • 2012
  • Zn-Mg 합금도금의 인산염 처리시 산성의 인산염 용액에 의해 도금층으로부터 용출된 마그네슘이온은 인산염 결정 형성에 참여하고, 이로인해 미세하고 치밀한 인산염 피막이 형성되었다. 마그네슘을 포함함 치밀한 인산염 피막은 우수한 내식성을 보였다. 마그네슘이온의 영향성 파악을 위해 인산염 용액내 추가적으로 마그네슘 이온을 투입하였으며, 마그네슘 함량증가에 따라 인산염 피막의 내식성이 향상됨을 확인하였다.

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