• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.220-220
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• 2010

펄스 직류 $BCl_3$ 플라즈마를 이용하여 GaAs와 AlGaAs의 건식식각을 연구하였다. 공정의 주요 변수는 펄스 직류 전압(350~550V), 펄스 직류 시간($0.4{\sim}1.2{\mu}sec$.), 펄스 직류 주파수(100~250kHz)이었다. 식각 실험 후 샘플의 식각률, 식각 선택도, 표면 형상을 비교, 분석하였다. 또한, 광학 발광 분석기(Optical Emission Spectroscopy)를 이용하여 식각하는 동안 플라즈마 방전 특성을 분석하였다. 표면 단차 측정기(Alpha-step IQ, Tencor)로 식각 깊이를 측정해 식각률을 계산하였다. 표면 거칠기 또한 단차 측정기의 표면 거칠기 프로그램을 이용하여 분석하였다. 식각 벽면과 표면 상태는 주사전자현미경(Field-emission scanning electron microscopy)을 이용하여 관찰하였다. 분석 결과는 1) 펄스 직류의 전압이 증가하면 전극에 걸리는 파워가 올라가고 GaAs와 AlGaAs의 식각률도 증가하였다. 2) 76 mTorr 공정 압력, $0.7{\mu}sec$. 펄스 직류 시간과 200 kHz 주파수 일 때 10 sccm $BCl_3$ 펄스 직류 플라즈마에서 GaAs와 AlGaAs 둘 다 약 $0.4{\mu}m/min$ 이상의 식각 속도를 보여주었다. 3) 식각 선택도는 펄스 직류의 전압이 높아지면 증가하였고, 펄스 직류 주파수의 증가도 공정 파워와 GaAs와 AlGaAs의 식각률을 증가시켰다. 4) 그러나 펄스 직류 주파수가 150kHz 이하일 때에는 GaAs와 AlGaAs가 거의 식각되지 않았다. 5) 표면 거칠기는 펄스 직류 주파수가 증가하면 미세하게 좋아졌고 플라즈마는 펄스 직류 주파수가 100~250kHz 일 때 생성되었다. 6) 펄스 직류 시간의 증가는 공정 파워, 식각률, 식각 선택도 모두의 증가를 가져왔다. 7) 광학발광분석기(OES) 데이타는 $BCl_3$ 플라즈마에서 넓은 범위(450~700nm)에서의 염소(Cl) 분자 피크를 나타내었다. 8) 전자 현미경 사진은 펄스 직류 전압이 400 V보다 550 V 일 때보다 더 이방성(Anisotropic)측면과 부드러운 표면을 나타냈지만, 조금의 홈(Trench)이 발견되었다. 결론적으로 펄스 직류 $BCl_3$ 플라즈마는 GaAs와 AlGaAs의 건식식각에서 우수한 결과를 나타냈었다.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2010.05a
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• pp.101-104
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• 2010

A bulkhead-type pulse separation device has been developed for the multi-pulse rocket motor. The design parameters of the pulse separation device were the shape of the rupture disc slit, welding conditions, and the implementation of the seal disc. The pneumatic tests of the fabricated pulse separation devices showed that the rupture pressure increased as the quantity of the rupture disc slit and welding strength increased and the seal disc was implemented.

• Proceedings of the Korean Powder Metallurgy Institute Conference
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• 1995.11a
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• pp.20-20
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• 1995

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2000.05a
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• pp.894-897
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• 2000

본 연구에서는 초미세 형상부품의 제작기술로서 방전가공기술의 활용을 전제로 하여, WEDG(Wire electric discharge grinding: WEDG)가공에 있어서 가공액의 공급방식을 포함한 공급환경이 표면상태에 미치는 영향에 관하여 조사하였다. WEDG법을 이용한 형상가공에 있어서는 단위 방전 펄스당의 에너지를 극소화하여 제거단위를 미세화함으로서 가공정밀도(가공표면 및 가공형상의 정밀도)를 향상시키는 것이 가능하다.(중략)

• Proceedings of the Korean Magnestics Society Conference
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• 2003.06a
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• pp.34-35
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• 2003

고에너지적 Nd-Fe-B계 소결자석 제조를 위한 펄스자장 성형시, 금형 및 다양한 성형조건이 자석의 이방화율 향상에 미치는 영향에 대하여 조사하였다. 일반적으로 butterfly, disk or coin 형태의 자석을 제조하는 방법으로는, 종축자장성형법(Axial Die Press, ADP)을 이용하여 최종제품의 near-net shape으로 성형 및 소결하는 방법과, 횡축자장성형법(Transverse Die Press, TDP)을 이용하여 blick or cylinder 형태로 제조한 후 여러 단계의 가공공정을 거쳐 최종제품으로 제조하는 방법이 적용되고 있다. 그러나, ADP의 경우 분말의 자장정렬 후 성형단계에서 성형밀도가 증가함에 따라 배향의 틀어짐 현상이 증가하므로 이방화율 향상의 한계가 있어 (BH)$_{MAX}$+iHc=54 이상의 자석은 제조되기 어렵고, TDP의 경우 고이방화 자석의 제조가 가능하나 복잡한 형상의 제품을 직접 성형할 수 없어 성형/소결 후 복잡한 가공공정을 거쳐야 하므로 재료의 손실뿐만 아니라 고가의 가공비용이 소요되므로 경제적인 문제점을 갖게 된다. 반면에, 펄스자장 종축성형방법(PDP)은 3T~5T의 펄스자장을 이용하여 분말의 정렬 및 성형을 동시에 수행함으로써 TDP보다 향상된 배향율이 얻어질 수 있으며, ADP으로만 실현 가능한 복잡한 형성의 자석을 near-net shape으로 제조가 가능한 잇점이 있다.다.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.14 no.5
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• pp.101-110
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• 2010

Dual pulse rocket motor is a solid motor with two grains separated by a bulkhead and rupture disc. The elasto-plastic explicit dynamic analysis for the rupture disc was conducted by finite element method. The effect of the slit geometry of a rupture disc was parametrically analyzed in terms of rupture time and shape. The results can be used to control the rupture pressure by changing the slit geometry of rupture disc.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2010.05a
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• pp.105-112
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• 2010

Dual Pulse Rocket Motor is a solid rocket motor with two grains separated by a bulkhead and rupture disc. The elasto-plastic explicit dynamic analysis of rupture disc was conducted by finite element method. The effect of the slit geometry of a rupture disc was analyzed for rupture time and shape by the parametric study. The results can be used to control the rupture pressure by the change the slit geometry of a rupture disc.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2003.06a
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• pp.1199-1202
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• 2003

In this research, microfabrication technique using localized electrochemical deposition is presented. Electric field is localized near the tip end region by applying ultra short pulses. Platinum tip is used as the counter electrode and copper is deposited on the copper substrate in 0.5 M CuSO$_4$ and 0.5 M H$_2$SO$_4$ electrolyte. The deposition characteristics such as size, shape, and structural density according to pulse duration and applied voltage are investigated. Micro-columns less than 10 $\mu\textrm{m}$ in diameter are fabricated using the presented technique. The process can be potentially used for three dimensional metal structure fabrications with micrometer feature size.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.3 no.2
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• pp.121-124
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• 1993

보자력이 큰 강자성체의 자기이력곡선, 자기변형, 자기이방성등의 측정에 사용할수 있는 펄스전자석을 설계제작하였다. 철심의 형상이 주어졌을때 권선의 회수에 따른 전자석의 여러특성과 축전기 방전시의 전류진폭 감쇄비등을 계산하는 일반식을 유도하고 그것에 의하여 철심단면적 46 nm * 32 nm, 공기간격 28nm의 전자석을 설계 제작하여 20 mT/A의 기울기로 0.49 T까지 직선적인 자기장 대 전류특성을 얻었다. 이 전자석에 에너로그 적분기에 의한 자속계를 부쳐서 박막 또는 박대시료의 major 및 minor 이력곡선을 단번에 쉽게 얻을 수 있는 자기이력곡선 측정기가 구성되었다.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2011.11a
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• pp.69-72
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• 2011

The ground tests of the dual pulse solid rocket motors(SRM) were performed to prove the performance of the developed dual pulse solid rocket motors. To achieve dual pulse, pulse seperation device(PSD) and independent ignition systems were installed between the 1st pulse motor and the 2nd pulse motor. The three major development goals are as follow. First, the total impulse of the dual pulse SRM must be over 90% of the single SRM which has same envelopment and weight. Second, the ignition of the 2nd pulse motor can be started at any time between 0 and 60 seconds after termination of the 1st pulse motor. Last, the rupture disk of PSD must not be broken at the 1st pulse pressure, but be broken at below 30% of the 2nd pulse operating pressure. The results of the ground tests satisfied the development goals.