• Title/Summary/Keyword: 패턴 정밀도

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마이크로 프리즘 패턴의 엔드밀링에서 공구 마모와 정밀도 (Tool Wear Rate and Accuracy of Patterns in Micro Prismatic End-milling)

  • 안주은;이정희;곽재섭
    • 한국기계가공학회지
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    • 제17권3호
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    • pp.1-6
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    • 2018
  • Micro prism pattern is applying in order to get increase of luminance, control the light, and so forth especially in optics and display industry. Most patterns are fabricated by lithography, planning, and EDM, but they have limitations on the productivity or the unit cost of produce. However, ultra precision mold is one of the processes able to replace it, and assure high productivity required by industries. In this investigation, micro prismatic end-milling is suggested in order to fabricate the pattern effectively. Micro prism pattern having $100{\mu}m$ of pitch and height was machined on STD-11. After machining, the flank and boundary wear on micro end mill were measured and analyzed, as well as burr formation and dimensional accuracy of fabricated pattern were evaluated. Thus the optimal cutting conditions were derived.

32" 대면적 V-형상 미세 패턴을 위한 초정밀 가공기술 개발 (Development of Ultra-Precision Machining Technology for V-Shape Micropatterns with 32" Large Surface Area)

  • 이성근;김현철
    • 한국정밀공학회지
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    • 제28권3호
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    • pp.315-322
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    • 2011
  • High-accuracy micropatterns such as V-shaped microgrooves are increasingly in demand for various engineering areas. And the technical trend goes for large surface areas in precision machining technology. So micropatterns with large surface areas are expected to play an increasingly important role in today's manufacturing technology In this study, we focused on developing machining technologies. First, a machine vision system for precise tool setting is developed. Second, an on-machine measurement (OMM) system for large-area measurement is implemented. And also software for tool path generation and simulation is developed. With these technologies we fabricated large-surface micropatterns in an electroless nickel-plated workpiece with single-crystal diamond tools and a 32-in, $675mm{\times}450mm$ mold with tens of V-and pyramid-shaped micropatterns.

전자처리 스페클 패턴 간섭법에 의한 2차원 면내변위 측정에 관한 연구

  • 김경석;김형수;양승필;최형철
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 1992년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.172-176
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    • 1992
  • 금속의 조면, 불투명 유리 또는 종이 등의 확산 반사면에 레이저광을 조사하면 확산광 가운데 또는 그 상 가운데 보통의 광에서는 볼 수 없는 반점 모양의 형태가 나타나게 된다. 이러한 현상은 레이저의 단색성, 가간섭성, 집속성등의 우수한 성질과 응용 면에 있어서의 풍부한 가능성으로 레이저 응용계측이 연구되어 왔다. 따라서 레이저 개발에 따른 새로운 계측 법이 급속히 진전되는 가운데 그 중에서 구조 및 재료강도의 계측분야의 일환으로 레이저를 이용하여 물체표면의 정보를 갖는 스페클 패턴(speckle pattern)이 변화하는 성질을 이용하여 어떠한 물체를 상온 하에서 인장력에 의한 면내변위를 2차원적으로 측정하고자 한다.

미세탐침기반 기계-화학적 리소그래피공정을 이용한 3차원 미세 구조물 제작에 관한 기초 연구

  • 박미석;성인하;김대은;장원석
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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    • pp.128-128
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    • 2004
  • 나노 스케일의 구조물 제작에 있어서 기존의 리소그래피 공정들이 가지는 한계점을 극복하기 위해서 다양한 방식의 새로운 공정들이 개발되고 있다. 특히, 기계-화학적 가공공정을 이용한 미세탐침 기반의 나노리소그래피 기술(Mechano-Chemical Scaning Probe based Lithography; MC-SPL)은 기존의 포토리소그래피 공정의 단점을 극복하고, 보다 경제적이며 패턴 디자인 변경이 유연한 미세 패턴 제작 기술임이 확인되었다.(중략)

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퀄츠 마스터를 이용한 300nm급 사출성형실험

  • 이준형;서영호;최두선;유영은;제태진;황경현
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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    • pp.131-131
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    • 2004
  • 최근 정보량의 증가와 통신속도의 증가로 인해 광 저장매체의 용량 증가에 대한 요구가 급증하고 있다. 광 저장매체의 용량을 증가시키기 위해서는 광 저장매체의 최소 피치 크기를 줄이는 방법으로 가능해진다. 기존의 광 저장매체에 대한 패턴 식각 기술은 광을 이용한 노광 기술로 이루어져 왔다. 그러나 광을 이용한 노광 기술은 광 굴절에 의한 한계로 인해 500nm이하의 패턴을 형성하는데 많은 어려움이 따른다.(중략)

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LIGA-reflow Micro-lens Pattern 적용 도광판의 미세사출성형

  • 황철진;허영무;하수용;이규현
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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    • pp.134-134
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    • 2004
  • LCD-BLU의 고효율 광특성을 유도하기 위한 도광판의 초미세패턴 형상가공기술, 미세사출성형기술과 미세형상패턴 광학해석기술 및 전광특성 측정 및 보완기술이 요구된다. 이러한 기술들을 바탕으로 LCD-BLU의 고단가의 주요요인인 기능성 광학 sheet(prism sheet 등)를 연차적으로 제거 및 도광판에 기능을 결합하는 기술개발이 본 연구의 목적이다.(중략)

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핫 엠보싱을 이용한 3차원 미세 구조물 복제에 관한 연구

  • 박선준;정성일;정해도
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
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    • pp.150-150
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    • 2004
  • 현재의 핫 엠보싱 기술은 나노/마이크로 패턴의 복제 기술로 다방면에서 연구되어지고 있다. 기존에 알려진 핫 엠보싱 기술은 하드 몰드를 사용하여 열과 압력을 가해서 PR 패턴 제작이나 나노/마이크로 구조물을 제작하였다. 그러나 이러한 하드 몰드의 사용은 3차원 구조물을 구현할 수 없다는 단점이 있다. 이에 본 연구에서는 하드 몰드 대신 소프트 몰드를 사용하여 3차원 미세 구조물을 구현해 보고자 한다.(중략)

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