• 제목/요약/키워드: 패턴 깊이

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전기도금 공정으로 제조한 Bi-Te 박막의 열전특성 및 미세열전소자 형성용 포토레지스트 공정 (Thermoelectric Characteristics of the Electroplated Bi-Te Films and Photoresist Process for Fabrication of Micro Thermoelectric Devices)

  • 이광용;오태성
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제14권2호
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    • pp.9-15
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    • 2007
  • 미세열전박막소자에 적용을 하기 위해 전기도금으로 형성한 Bi-Te 박막의 열전특성과 포토레지스트 공정에 대하여 연구하였다. $Bi_2O_3$$TeO_2$를 1M $HNO_3$에 용해시킨 20 mM 농도의 Bi-Te 도금 용액을 사용하여 박막을 도금 후, 용액내 Te/(Bi+Te)비에 따른 Bi-Te 박막의 열전특성을 분석하였다. Te/(Bi+Te)비가 0.5에서 0.65로 증가함에 따라 Bi-Te 도금막의 전자농도의 증가로 Seebeck 계수가 $-59{\mu}V/K$에서 $-48{\mu}V/K$로 변하고 전기비저항이 $1m{\Omega}-cm$ 에서 $0.8m{\Omega}-cm$로 감소되었다. 조성이 $Bi_2Te_3$에 근접한 도금막에서 가장 높은 $3.5{\times}10^4W/K^2-m$의 출력인자를 얻을 수 있었다. 다층 overhang 공정을 이용하여, 직경 $100{\mu}m$이며 깊이 $30{\mu}m$ 형상의 미세열전소자 형성용 포토레지스트 패턴의 형성이 가능하였다.

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산불 후 개미군집의 단기변화 (Short-term Changes in Ant Communities after Forest Fire)

  • 이철민;권태성
    • 한국응용곤충학회지
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    • 제52권3호
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    • pp.205-213
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    • 2013
  • 산불은 산림에 서식하는 곤충들을 죽이거나 분산시킴으로서 그들의 군집을 교란한다. 산불 후 개미군집은 종다양성, 종구성, 기능군 구성이 달라질 것이다. 본 연구는 1996년 강원도 고성에서 발생한 대형 산불 직후 일년동안 산불지와 비산불지의 개미군집의 변화를 비교하기 위해서 수행되었다. 총 16종 1,308개체의 개미가 채집되었고, 산불지에서 15종 696개체, 비산불지에서 13종 612개체가 채집되었다. 산불 후 다양도와 풍부도가 감소될 것이란 일반적인 예상과는 달리 산불지와 비산불지는 개미군집의 풍부도, 종다양성, 종구성, 기능군 구성에서 차이가 없었고, 종풍부도(추정치)는 산불지가 비산불지 보다 오히려 높았다. 그러나 개미의 월별 출현양상은 (풍부종과 전체) 산불지와 비산불지 간에 많이 달랐다. 산불직후인 1996년 5월에는 산불지에서 개미가 더 많았으나, 가을(1996년 9월과 10월)에는 비산불지에서 개미가 더 많았다. 이는 산불지의 환경변화(토양건조 등)로 인해 개미개체군의 변동(개체군의 사멸 또는 이동)이 원인일 것이다. 결론적으로 봄에 발생하는 산불은 토양 깊이 월동하는 개미 군체를 파괴하지 못하기 때문에 산불은 개미상에 유의한 영향을 미치지 못했다.

자폐아동 모발에서의 미네랄 및 중금속 함량에 관한 연구 (Study on the Mineral and Heavy Metal Contents in the Hair of Preschool Aged Autistic Children)

  • 정명애;장현서;박은주;이한우;최정화
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제37권11호
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    • pp.1422-1426
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    • 2008
  • 본 연구에서는 일반아동과 자폐아동 모발의 무기질, 유해 중금속 함량, 혈액의 자유라디칼 및 세로토닌 함량을 측정함으로써 일반아동에 대한 자폐아동의 특성을 연구하고자 하였다. 실험그룹은 $3{\sim}9$세 사이의 50명의 아동을 일반아동(22명) 및 어린이 정신과 의사에 의해 판정된 자폐아동(28명)의 두 그룹으로 나누었다. 일반아동과 자폐아동 간의 나이, 신장, 체중 및 식이섭취량은 두 군간 유의적인 차이가 없었으나, 모발 중 다량미네랄 함량을 측정한 결과 Ca, Mg, P 및 S는 일반아동이 자폐아동보다 다소 높게 나타났으며, Na 및 K는 자폐아동에서 일반아동에 비해 유의적으로 높았다. 또한, 모발 중 미량미네랄 함량을 측정한 결과에서는 Cu, Zn, Fe, Cr 및 Se는 일반아동이 자폐아동보다 높게 나타났으며, 특히, Cu, Zn, Fe의 경우 두 그룹 간에 유의적인 차이를 나타내었다. Mn, B, Co 및 Mo는 두 그룹 간에 차이가 없었다. Al의 경우에는 자폐아동에서 더 높은 것을 관찰할 수 있었으나 유의적인 수준은 아니었다. 일반아동 및 자폐아동의 모발 중 유해중금속 함량을 측정한 결과 As, Hg 및 Be의 경우에는 두 그룹 간에 유의적인 차이를 나타내지 않았으나 Cd와 Pb는 일반아동에 비해 자폐아동에서 유의하게 높은 것을 관찰할 수 있었다. 혈액 내 자유라디칼 함량은 자폐아동이 일반아동에 비해 유의적으로 높게 나타났으며, 세로토닌 함량은 일반아동과 자폐아동 간의 유의적인 차이가 없었다. 이상의 결과 본 연구에서는 식이섭취량을 단 하루만을 조사하였으나 향후에는 조사기간을 더 늘리고 식품섭취유형과 패턴 및 식행동 장애 분석 등 좀 더 다양하고 깊이 있는 연구가 진행되어야 할 것이다. 또한 자폐아동은 일반아동에 비해 모발의 일부 미네랄 함량은 감소, 중금속 함량의 증가 및 자유라디칼 생성이 증가함으로써 자폐아동의 행동 및 발달장애에 영향을 미치는 것으로 사료된다. 향후 연구에서는 자폐아동에게 부족한 영양소의 보충 및 중금속 해독 영양소를 섭취함으로써 자폐아동의 행동 및 발달장애의 개선 기능에 대한 연구가 시행되어야 할 것이다.

지형학적 인자를 이용한 광역 홍수범람 위험지역 분석 (Analysis of large-scale flood inundation area using optimal topographic factors)

  • 이경상;이대업;정성호;이기하
    • 한국수자원학회논문집
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    • 제51권6호
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    • pp.481-490
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    • 2018
  • 최근 기후변화와 이상기후의 영향으로 인한 홍수재해의 시 공간적 패턴의 변화가 복잡해짐에 따라 홍수범람 예측은 점점 어려워지고 있다. 이러한 기상이변에 따른 홍수피해를 예방하고 대응하기 위한 비구조적 대책으로 홍수위험등급 및 범람범위 등의 정보를 포함하고 있는 홍수위험지도의 작성이 필요하다. 실제로 고정밀도 홍수위험지도를 작성하기 위해서는 1차적으로 지형, 지질, 토지피복, 기상 등의 자료를 기반으로 강우-유출-범람해석을 통해 침수면적 및 침수깊이 등 범람 정보를 획득해야 되며, 2차적으로 피해액 산정을 위해 사회 경제와 관련된 다양한 DB를 필요로 한다. 하지만 개발도상국에서는 이러한 자료가 부족하고, 일부지역에서는 자료자체를 획득할 수가 없어 홍수위험지도 제작이 불가능하거나 그 정확도가 매우 낮은 실정이다. 본 연구에서는 ASTER 또는 SRTM과 같은 범용 지형자료로부터 주요 지형학적 인자를 선정하고, 선형이진분류법(Liner binary classifiers)과 ROC분석(Receiver Operation Characteristics)을 사용하여 실제 홍수유역을 유사하게 모의하는 최적 지형학적 인자를 도출하고, 이를 기반으로 광역 홍수범람지도를 작성하는 방안을 제시한다. 본 연구에서 제시하는 방법론의 정확도 검증을 위해 북한(2007), 방글라데시(2007), 인도네시아(2010), 태국(2011), 미얀마(2015) 5개국의 대규모 홍수범람에 대해 적용하였다. 실제 홍수범람 영상정보에서 획득된 침수면적과의 공간적 비교 검토 결과, 최저(38%, 방글라데시), 최고(78%)으로 평균적으로 약 60%의 정확도를 나타내는 것으로 분석되었다. 본 연구에서 제시하는 지형학적 인자 기반의 홍수범람지도 작성방법은 미계측유역에 대해서도 DEM만을 사용하여 홍수위험 지역을 쉽게 구분할 수 있다는 장점을 가지고 있어 1 2차원 범람해석 모형의 적용이 어려운 대유역에 대해 홍수범람 우려지역에 대한 공간정보를 제공해줄 수 있을 것으로 판단된다.

Arbuscular Mycorrhizal Fungi(AMF)의 공생활성에 미치는 해안 간척지 토양환경의 영향 (Effects of Soil Environment on Symbiotic Activities of Arbuscular Mycorrhizal Fungi(AMF) in the Coastal Reclaimed Lands)

  • 고성덕
    • 한국균학회지
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    • 제26권4호통권87호
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    • pp.562-573
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    • 1998
  • 간척연도가 다른 두 간척지의 고등식물의 근권에 존재하는 arbuscular mycorrhizal fungi(AMF)의 포자밀도, 공생강도와 토양의 물리 화학적 특성 및 AMF포자의 수직분포 등을 조사하여 토양특성에 따른 AMF의 공생생활성의 반응, 식물의 인 흡수에 미치는 AMF의 영향 등을 규명하였다. 간척지에서 AMF 포자의 수직분포는 포자가 표토로부터 20cm 깊이 이내에 분포하는데 그 원인은 뿌리의 수직분포, 지하수위 및 토양의 통기(aeration)와 관계가 있을 것이다. 토양 특성의 수직분포 중에서 토심이 깊어짐에 따라 증가되는 토양요인을 W.C., A-P 및 K이었고, 감소하는 요인은 O.M, Ca 및 Zn이었다. AMF의 공생생활성인 포자밀도와 공생강도는 토양의 pH, O.M., T-N 함량이 증가함에 따라 증가되고 W.C., A-P, Na 함량이 증가함에 따라 감소되는 두 반응 패턴이 나타났다. 간척지 식물의 인 흡수는 AMF의 공생활성이 커짐에 따라 증가되고, AMF의 공생활성은 토양의 인 함량이 적음에 따라 커짐으로써 식물은 AMF의 공생활성에 의하여 인 함량이 적은 토양에서 많은 양의 인을 흡수하였다.

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HTTP 응용들의 식별을 위한 패턴 기반의 시그니쳐 생성 (Pattern-based Signature Generation for Identification of HTTP Applications)

  • 진창규;최미정
    • 정보화연구
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    • 제10권1호
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    • pp.101-111
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    • 2013
  • 오늘날 인터넷의 발달과 더불어 다양한 스마트 기기들의 증가로 인하여 많은 양의 트래픽이 발생하고 있다. 특히 기존의 데스크탑 이외의 다양한 모바일 기기와 스마트 디바이스에서는 HTTP 기반의 응용 트래픽이 많이 증가하고 있다. 이렇게 증가하는 모바일 트래픽은 인터넷에 망 과부하, 웹보안과 같은 다양한 문제들을 발생시키고 있다. 인터넷 망의 과부하 및 보안 문제를 해결하기 위해서는 우선적으로 응용의 정확한 탐지가 필요하다. 이를 위하여 전통적으로는 잘 알려진 포트 기반의 분석 방법이 사용되었다. 그러나 과도한 트래픽을 발생시켜 방화벽이나 IDS 장비에서 포트를 제한한 P2P 응용 프로그램들이 포트를 변경하여 사용하기 때문에 포트 기반의 분석은 정확성이 떨어진다. 이를 보안하기 위하여 제안된 시그니쳐 기반의 분석 방법의 경우 잘 알려진 포트 기반 분석 방법에 비해 비교적 높은 분석률과 정확성을 가지지만 분석에 필요한 시그니쳐를 생성해야 하는 오버헤드를 가지고 있다. 또한 기존의 시그니쳐에 생성에 관한 연구는 각각의 응용에 대해 분류하고 분석하지만 HTTP를 이용하는 트래픽에 대해서는 프로토콜 레벨의 분석만 가능할 뿐 HTTP를 전송 프로토콜로 사용하는 응용 프로그램의 분류와 같은 깊이 있는 분석이 이루어지지 않고 있다. 본 논문에서는 HTTP 헤더의 반정형적인 특성을 바탕으로 HTTP 기반 응용을 정확히 탐지하기 위한 시그니쳐 생성 방법에 대하여 제시하고 있다. 이를 학내망 트래픽에 실제 적용함으로써 본 논문의 타당성을 보인다.

유미양서류 다리 재생 기간중 탈분화 시기 특이적 트립신, 키모트립신 유사 단백질 효소의 활성도 증가 (Dedifferentiation State Specific Increase of Trypsin- and Chymotrypsin-like Protease Activities during Urodele Limb Regeneration and Their Enhancement by Retinoic Acid Treatment)

  • 이은호;김원선
    • 한국동물학회지
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    • 제39권1호
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    • pp.65-74
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    • 1996
  • 재생중인 양서류의 다리에 레티노익산을 처리하면 패턴 복제가 유발되며 이러한 현상은 탈분화 정도와 깊이 연관이 있다. 본 연구에서는 한국산 도롱뇽(Hynobius leechii)과 멕시코산 도롱뇽의 일종인 엑소로틀(Ambystoma mexicanum)의 다리 재생 과정에서 탈분화 과정에 관여할 것으로 추정되는 트립신 및 키모트립신과 유사한 단백질 분해 효소의 활성도를 재생 단계에 따라 조사해 봄으로써 이들 단백질 분해효소의 활성도와 레티노익산에 의해 증가되는 탈분화 상태의 정도사이에 상관 관계가 있는지를 알아 보고자 하였으며 다리 생산 기간중 상기 효소의 활성도 변화에 종 특이적 차이가 존재하는 지를 알아보고자 하였다. 연구 결과, 이들 효소의 활성도는 탈분화시기에서 최대에 도달함을 알수 있었고 레티노익산 처리는 트립신 유사 단백질 분해 효소의 활성도를 증가시키는 것으로 나타났다. 이러한 효과는 한국산 도롱뇽에서 두드러졌고 이는 레티노익산 처리에 의한 반응에 종 특이적 차이가 있음을 반영하는 것으로 해석 되었다. 본 연구 결과는 트립신 및 키모트립신 유사 단백질 분해 효소가 재생중인 다리의 탈분화 과정에 중요한 작용을 하고 있으며, 이들 단백질 분해 효소가 레티노익산 처리에 의한 탈분화 과정의 강화에 관여하리라는 것을 암시한다.

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가능 최대강수량에 의한 토석류 범람 예측 (Prediction of a Debris Flow Flooding Caused by Probable Maximum Precipitation)

  • 김연중;윤종성;;허동수
    • 한국수자원학회논문집
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    • 제48권2호
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    • pp.115-126
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    • 2015
  • 최근 기후 변화에 따른 게릴라성 호우에 의한 전 세계 도심 속 산지 지역에서 토석류의 발생 빈도수가 증가하고 있으며, 이 결과 더 많은 인명피해와 주요 시설물 파괴 등의 피해가 사회적 큰 문제로 대두되고 있다. 현재까지는 도심지역 재해 관리 및 피난 계획 수립 시, 토석류 범람은 별도로 취급되어 피난 권고 시스템이 구축되고 있으나 피난계획 수립 시, 재해 발생 가능성을 고려한 여러 재해를 기반으로 통합적인 대책 수립이 필요하며 향후, 현재보다 더 큰 강우가 발생할 가능성이 굉장히 크며 이에 대한 대책 수립의 중요성 또한 강조되고 있다. 본 연구에서는 실제 지역에서의 토석류의 유동형태를 파악하고, 외력조건으로 DAD 분석을 통해 가능최대 강우량과 유출량을 산정하며 주거지 지역에서의 토석류 영향범위 파악을 목적으로 한다. 실제 지역에서의 토석류 특성을 분석하기 위해 토석류 흐름 패턴, 퇴적 깊이, 도달속도, 발생된 토사량 및 토석류 이동거리를 평가했다. DAD 해석 결과, 피크 시간 강우량은 국지성 호우에 의해 약 135mm, 24시간 누적 최대강우량은 태풍에 의한 호우로 약 544mm로 조사 되었다. 또한 토석류에 의한 영향범위를 파악 하였다.

중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각기술을 이용한 TiN/HfO2 layer gate stack structure의 저 손상 식각공정 개발

  • 연제관;임웅선;박재범;김이연;강세구;염근영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.406-406
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    • 2010
  • 일반적으로, 나노스케일의 MOS 소자에서는 게이트 절연체 두께가 감소함에 따라 tunneling effect의 증가로 인해 PID (plasma induced damage)로 인한 소자 특성 저하 현상을 감소하는 추세로 알려져 있다. 하지만 요즘 많이 사용되고 있는 high-k 게이트 절연체의 경우에는 오히려 더 많은 charge들이 trapping 되면서 PID가 오히려 더 심각해지는 현상이 나타나고 있다. 이러한 high-k 게이트 식각 시 현재는 주로 Hf-based wet etch나 dry etch가 사용되고 있지만 gate edge 영역에서 high-k 게이트 절연체의 undercut 현상이나 PID에 의한 소자특성 저하가 보고되고 있다. 본 연구에서는 이에 차세대 MOS 소자의 gate stack 구조중 issue화 되고 있는 metal gate 층과 gate dielectric 층의 식각공정에 각각 중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각을 적용하여 전기적 손상 없이 원자레벨의 정확한 식각 조절을 해줄 수 있는 새로운 two step 식각 공정에 대한 연구를 진행하였다. 먼저 TiN metal gate 층의 식각을 위해 HBr과 $Cl_2$ 혼합가스를 사용한 중성빔 식각기술을 적용하여 100 eV 이하의 에너지 조건에서 하부층인 $HfO_2$와 거의 무한대의 식각 선택비를 얻었다. 하지만 100 eV 조건에서는 낮은 에너지에 의한 빔 스케터링으로 실제 패턴 식각시 etch foot이 발생되는 현상이 관찰되었으며, 이를 해결하기 위하여 먼저 높은 에너지로 식각을 진행하고 $HfO_2$와의 계면 근처에서 100 eV로 식각을 해주는 two step 방법을 사용하였다. 그 결과 anistropic 하고 하부층에 etch stop된 식각 형상을 관찰할 수 있었다. 다음으로 3.5nm의 매우 얇은 $HfO_2$ gate dielectric 층의 정확한 식각 깊이 조절을 위해 $BCl_3$와 Ar 가스를 이용한 중성빔 원자층 식각기술을 적용하여 $1.2\;{\AA}$/cycle의 단일막 식각 조건을 확립하고 약 30 cycle 공정시 3.5nm 두께의 $HfO_2$ 층이 완벽히 제거됨을 관찰할 수 있었다. 뿐만 아니라, vertical 한 식각 형상 및 향상된 표면 roughness를 transmission electron microscope(TEM)과 atomic force microscope (AFM)으로 관찰할 수 있었다. 이러한 중성빔 식각과 중성빔 원자층 식각기술이 결합된 새로운 gate recess 공정을 실제 MOSFET 소자에 적용하여 기존 식각 방법으로 제작된 소자 결과를 비교해 본 결과 gate leakage current가 약 one order 정도 개선되었음을 확인할 수 있었다.

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개인고유의 호흡주기를 적용한 휴대형 호흡 연습장치 개발 및 유용성 평가 (Development and usability evaluation of portable respiration training device which is applied to personal respiration cycle)

  • 박문규;이동한;조유라;황선붕;박승우;이동훈
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국정보통신학회 2014년도 춘계학술대회
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    • pp.833-835
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    • 2014
  • 본 연구에서는 호흡동조방사선치료(Respiratory Gating Radiation Therapy, RGRT)에서 매우 중요한 요소 중에 하나인 호흡의 안정성을 효과적으로 향상 시킬 수 있는 호흡연습장치(respiratory training system)를 개발하였다. 개발한 호흡연습장치는 개인고유의 호흡주기를 적용하여 환자에게 편안한 호흡유도를 제공한다. 충분한 연습시간을 부여하기 위해 언제 어디서나 쉽고 간편하게 연습 할 수 있도록 휴대형 기기에 모듈화 시켰으며, 이를 환자에게 제공함으로써 호흡동조방사선치료의 효율성과 정확성을 높이고자 했다. 호흡연습장치를 사용했을 때 호흡의 규칙성, 안정성, 지속성 향상 정도를 알아보기 위해 5명을 대상으로 실험을 진행 하고자 한다. 개인이 자유롭게 호흡하는 '자유호흡(free breathing)' 개인고유 호흡주기를 적용하여 시청각 프로그램을 통해 호흡을 유도하는 '모니터호흡(guide breathing)' 호흡연습 후 시청각 프로그램 없이 호흡하는 '예측호흡(predict breathing)' 3가지 호흡법의 데이터를 이용하여 호흡주기(period)와 호흡깊이(amplitude) 및 호흡패턴(Area)의 변화를 정량적으로 분석함으로써 휴대형 호흡연습장치의 유용성을 평가하고자 한다.

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