• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.214-214
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• 2010

Indium-tin-oxide(ITO)는 평판디스플레이 산업이 성장함에 따라 그 수요는 계속 늘고 있지만 세계적으로 In의 매장량의 한계로 그 단가가 매우 높다. 또한 ITO는 플렉시블 디스플레이에 적용함에 있어서 고온 공정으로 인해 많은 단점을 보이고 있어 이를 대체할 새로운 투명전극의 개발이 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 IZTO($In_2O_3$:ZnO:$SnO_2$=80:10:10 wt.%)의 In 량을 절감한 조성의 타겟을 제조하였다. 그리고 유리기판 위에 IZTO 박막을 펄스 DC 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 증착압력과 활성 산소의 분압을 변화시키며 증착하였다. 증착압력의 변화는 3mTorr~8mTorr 범위에서 제어하였고 활성 산소의 분압은 0%~3% 범위에서 제어하였으며 기판의 온도의 제어 없이 상온에서 증착하였다. 증착한 박막은 전기적, 광학적 및 구조적 특성 등을 조사하였다. 증착압력 6mTorr와 산소분압 2%의 조건에서 비저항은 $5.07{\times}10^{-4}\;({\Omega}{\cdot}cm)$, 캐리어 농도는 $2.96{\times}10^{20}(cm^{-3})$, 이동도는 $41.6(cm^{-2}/Vs)$로 가장 좋은 전기적 특성을 보였다. 박막의 투과율을 측정한 결과 평균 85% (400nm~800nm)이상의 우수한 광학적 특성을 보였다. 또한 이 IZTO 박막을 이용하여 OLED 소자를 제작하여 그 특성을 조사하였다. 조사 결과 플렉시블 디스플레이 분야에서 IZTO 박막은 In 절감효과와 상온 공정에서 우수한 투명전극 특성을 보여 ITO를 대체할 물질로 가능성을 보여주었다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2009.10a
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• pp.755-761
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• 2009

The major advantage of transparent materials over traditional materials in noise barriers is aesthetics. The transparent panel materials such as clear plastic or glass are an ideal way of reducing or virtually eliminating the visual impact of a noise barrier. With the use of transparent materials, the drivers' view of the roadside and the sunlight penetration to the highway would not be blocked. With the use of transparent materials, the highway and barrier appear less imposing. Korean Industrial Standards for soundproof panels have been established. But, transparent soundproof panels are not included in this standards. And, some specifications provide only a few basic characteristics for transparent soundproof panels. To develop guidelines on quality criteria for transparent soundproof panel, their mechanical properties such as wind load resistance, safety under impact, and abrasion resistance were experimentally investigated.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2006.11a
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• pp.105-106
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• 2006

현재 투명 전도성 산화물로 널리 사용되고 있는 ITO등의 물질들이 갖는 문제점을 해결하기 위하여 ZnO 에 Ga이나 Al등의 불순물을 첨가하여 투명 전도성 재료로써 이에 대한 연구가 진행중에 있다. 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터법으로 Al이 첨가된 ZnO:Al Ceramic 타겟으로 Coring 1737 유리기판과 파손의 우려가 적고 유연성을 갖는 $25{\mu}m$ 두께의 polyimide(PI) 기판위에 박막을 증착하여 특성을 비교 조사하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.334.1-334.1
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• 2014

태양전지, 터치센서와 같이 투명한 전극(TCO: Transparent conducting oxide)이 필요로 하는 곳에는 금속 산화물 형태의 ITO, ZnO, FTO와 같은 투명 전극이 사용된다. 그중에서 FTO는 저렴한 가격과 높은 투과율, 낮은 저항으로 주목을 받고 있다. 뿐만아니라 FTO 박막은 다른 산화물 전도체에 비해 구부림에 강한 저항성을 보여 주고 있다. FTO 박막의 캐리어 전하 생성 원리는 F 원자가 O 원자의 자리를 치환하게 되면서 잉여 전자의 발생으로 전기가 흐를 수 있다. 아직까지는 화학적 조성비에 유리한 CVD를 이용한 증착 방법이 많이 사용되고 있다. 스퍼터 장비 역시 공정 가스에 따라 화학적 조성비 변화가 가능하고 CVD와 비교하여 공정이 간단하며 연속 공정이 쉽고 대면적 적용이 가능하다. 본 실험은 본사에서 R&D용으로 제작한 Daon-1000 S 장비를 사용하였으며 DaON-1000 S는 3개의 2" sputter gun이 장착 되어 있어 co-sputtering이 가능한 장비이다.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 2011.11a
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• pp.61.2-61.2
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• 2011

본 연구에서는 박막 태양전지용 투명전극으로 사용하기 위해서 Gun-type RF 마그네트론 스퍼트링을 이용하였다. 챔퍼안의 타겟은 AZO타겟(Zn: 98[wt.%], Al:2[wt.%]을 장착하였고 공정압력은 고진공을 유지하였다. 온도는 $300^{\circ}C$로 고정하였고 전력은 70W로 고정하였다. $Ar^+$ 가스유량비를 20sccm~100sccm으로 변화를 주어 기판 위에 AZO를 증착하여 AZO의 구조적 및 광학적 특성의 의존성을 알아보았다. 모든 가스변화에서 400에서 700 nm까지의 가시광 영역에서의 AZO 박막의 평균 투과도는 약 85% 이상의 우수한 투과율을 보인다. AZO 박막 내의 결정 구조는 (002)면으로 우선 배향을 하는 wurtzite 구조를 가지며, $Ar^+$변화에 의해 두께가 증가하면서 결정립의 주상 (columnar) 성장이 향상되고 결정립의 크기도 증가한다. 이러한 경향성은 $Ar^+$변화에 의해 결정성이 향상된다는 것을 의미한다. 이와 같은 구조 및 광학 특성을 가지는 유리 기판 위에 증착된 AZO는 박막 태양전지용 투명 전극으로 응용이 가능할 것이다.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.41 no.11
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• pp.575-580
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• 1997

Benzyl viologen was synthesized and the electrochromic properties was examined. At an applied voltage of 2.6 V the electrocoloration was appeared but electrooptical response abruptly decreased after a certain period of time. It was a cause that the quality of the ITO film was degraded, e.g. the conductivity of the ITO film reduced from the original value. The ITO surfaces under some different conditions were observed by XRD and SEM.

• Conservation Science in Museum
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• v.13
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• pp.45-49
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• 2012

A scientific analysis was carried out on the 14 pieces of glass beads excavated from the Daho-ri site NO. 6, Changweon. Most of the glass pieces were made of light blue transparent glass with round bubbles aligned in a regular direction. As a result of the SEM-EDS analysis, all the glass pieces turned out to be within the potash glass group (K₂O-SiO₂) and were identified to be the LCA (Low CaO, Low Al₂O₃) series glass, of which the concentration is 5% or below for CaO and Al₂O₃ respectively. In addition, it is presumed that plant materials were refined or a mineral (saltpetre, KNO₃) was used as the raw materials for making potash and also that the ingredient acting as a colorants for light blue color was affected deeply by CuO.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.161.1-161.1
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• 2016

박막 태양전지의 광 산란을 위한 텍스쳐 된 표면은 반사 손실을 감소시키기 위한 것이다. 그러나, 투명한 전극(TCO)의 텍스쳐 된 표면은 빛의 가용성을 제한하고, 장파장 영역에서 haze의 수치를 감소시키며, 전반사의 증가는 박막 태양전지의 Jsc를 감소시킨다. 본 논문에서는 높은 빛의 가용성을 위하여 HF+HCl 혼합용액을 이용하여 표면의 질을 향상시키기 위한 해결책을 제시했다. 같은 HF+HCl 혼합용액을 사용하여, 540 nm의 파장에서 약 85 %의 높은 haze 수치를 달성했으며, ZnO:Al 막의 증착 후에 식각된 유리 기판과 함께 비교했을 때, 2.3%의 haze 수치의 감소를 얻었다. 또, 깊은 습식 식각에 의하여 Haze 수치를 증가시키기 위한 메커니즘 간단히 설명했다. 텍스쳐 된 유리 기판의 haze 수치의 측면에서 광학 이득은 일반적인 Asahi FTO 유리(${\lambda}=540nm$의 13.5%)에 비해 상당히 높다. 이러한 높은 haze 수치의 AZO 박막은 박막 태양전지의 Jsc를 개선하는데 이용할 수 있다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.307-307
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• 2010

광포획 기술을 통하여 빛의 흡수 증가시키는 것은 고효율 비정질 실리콘 박막 태양전지 제작에 있어 매우 중요하다. 비정질 실리콘 박막 태양전지에서 일반적으로 사용되는 광포획 기술은 전면 투명전극 및 후면 반사막 표면에 패턴을 형성하는 것이며, 이때의 패턴은 불규칙하게 형성된다. 이러한 불규칙한 패턴 대신 주기적인 패턴을 형성하면 보다 효과적인 광포획 효과를 얻을 수 있다. 본 연구에서는 주기적인 패턴 형성된 유리 기판 위에 비정질 실리콘 박막 태양전지를 제작하여 태양전지의 광학적 특성 및 변환효율 변화를 살펴보았다. 먼저, 패턴이 형성된 유리 기판에 대한 광추적 전산모사를 통하여 광학적 특성 변화를 살펴보았으며, 실험을 통하여 태양전지를 제작하고 광학적 특성 및 변환효율을 측정하였다. 광추적 전산모사 결과와 실험을 통하여 얻은 결과를 비교 분석하여 유리 기판의 반사방지 및 광포획 효과를 알아보았으며, 박막형 비정질 실리콘 태양전지의 변환 효율에 대한 긍정적인 영향을 확인 할 수 있었다. 박막형 비정질 실리콘 태양전지 제작에는 PECVD가 사용되었으며, 태양전지의 광학적 특성 및 변환효율 측정에는 UV-VIS 분광기, 적분구, solar simulator 등이 사용되었다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.17 no.2
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• pp.372-377
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• 2016

Communication flow is changing rapidly. Recently, a range of wearable devices such as wearable glasses and wearable watch, have been launched. These kinds of wearable devices help people to live a more comfortable life. Wearable devices most have an antenna for wireless communication. This paper reports a transparent antenna that is made of an optically transparent material for wearable glasses. Transparent antenna can be applied to smart windows and will not disturb the view of user. IZTO/Ag/IZTO multilayer electrode has higher electrical and optical properties. This antenna is available because of its good electrical properties. This study measured the performance of the proposed transparent antenna, which is made of a multilayer electrode, applied to a lens. The proposed antenna was simulated with several substrates. The antenna impedance was matched with length and width of the antenna. The antenna's conductivity and transparency was measured using a HMS-3000 and UV-spectrometer. A 40nm thick Ag single layer antenna was fabricated on a flexible polyimide substrate for comparing the antenna performances. The fabricated antenna is useable at a frequency of 2.4-2.5GHz, which is suitable for Wifi communications and has peak gain of 2.89dBi and an efficiency of 34%.