전처리가 CVD 텅스텐의 핵생성에 미치는 효과

• 이종무;권난영;김의송;이종길
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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  • 1992.05b
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  • pp.149-149
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  • 1992
• PDF

골롤의 신기술-텅스텐 코팅 골롤 사용의 성공사례

• Korea Corrugated Packaging Case Industry Association
• • Corrugated packaging logistics
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  • s.68
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  • pp.42-46
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  • 2006
• PDF

국내외 전기산업 동향-국내

• Korea Electrical Manufacturers Association
• • 전기산업
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  • v.2 no.3
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  • pp.66-71
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  • 1991
• PDF

1 GDRAM과 질화텅스텐(WN)박막응용

• 민석기;김용태
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
  • /
  • 1995.06a
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  • pp.47-47
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  • 1995
• PDF

TiSi gate 및 텅스텐 B/L spacer용 SiN 박막 증착 공정 개발

• 이석민;김명진;김석식
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1997.02a
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  • pp.71-71
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  • 1997
• PDF

Stress control of sputtered W film (텅스텐 스퍼터링시 박막의 응력조절)

• 이태호;이규한;안진호;박칠근
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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  • 1996.11a
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  • pp.82-82
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  • 1996
• PDF

TUNGSTEN ETCHING FOR X-RAY MASK (X-선 마스크 제작을 위한 텅스텐 식각)

• 정창영;송기창;전영삼;이돈희;안진호
• • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
  • /
  • 1996.11a
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  • pp.151-151
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  • 1996
• PDF

텅스텐 중합금에서 미세조직 변화에 따른 재료의 특성변화

• 백운형
• • Journal of Powder Materials
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  • v.5 no.3
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  • pp.227-235
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  • 1998
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SF$_6$ 플라즈마를 이용한 텅스텐 실리사이드 박막의 반응성 이온 식각

• 박상규;서성우;이시우
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1993.02a
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  • pp.36-37
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  • 1993
• PDF

Effect of carrier gases on ppropperties of tungsten thin film (운반기체가 텅스텐 박막의 물성에 미치는 영향)

• 이시우;최희석
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1993.02a
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  • pp.51-52
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  • 1993
• PDF

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