SF$_6$ 플라즈마를 이용한 텅스텐 실리사이드 박막의 반응성 이온 식각

• 박상규 (포항공과대학교 화학공학과 재료공정 연구실) ;
• 서성우 (포항공과대학 화학공학과 재료공정 연구실) ;
• 이시우 (포항공과대학 화학공학과 재료공정 연구실)

• Published : 1993.02.01

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