마이크로웨이브 플라즈마 화학기상증착장비를 사용하여 합성한 탄소나노튜브의 니켈 촉매층 수소 플라즈마 전처리조건에 따른 성장특성 (Effect of Hydrogen Plasma Pre-treatment on Growth of Carbon Nanotubes by a Microwave PECVD Method)
-
- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
- /
- 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
- /
- pp.189-190
- /
- 2005