• Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers
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• v.14 no.4
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• pp.13-21
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• 2005

The affected factors for an accuracy of theodolite system are not only the measurement environment of temperature, illumination, etc. but also the measurement processes of the distance between two theodolites, the distance from theodolite system to scale bar and the distance from theodolite system to targets. We have known that the best collimation distance between two theodolites and the best distance from theodolite system to scale bar is $3{\sim}4m$. This study was performed for searching the best distance from theodolite system to targets on above measurement configuration. And, we could know that the best distance from theodolite system to targets is $2{\sim}6m$ and the system accuracy could be within ${\pm}0.025mm$.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2003.10a
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• pp.99-99
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• 2003

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2011.05a
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• pp.61.2-61.2
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• 2011

넓은 밴드갭을 가지고 있어 가시광에서 투명하며 높은 이동도를 가진 산화물 반도체는 기존의 Si 기반 TFT 소자를 대체할 차세대 디스플레이의 핵심 소재기술로 관심이 높아지고 있다. 그러나 대표적인 산화물 반도체인 In-Ga-Zn-O (IGZO)에 포함된 인듐의 수요 증가에 따른 가격 급등 문제로 이를 대체할 수 있는 새로운 산화물 반도체 재료에 대한 연구의 필요성이 대두되고 있다. 이에 비교적 저가의 물질로 구성된 Zn-Sn-O계 산화물 소재에 대한 연구가 진행된 바 있으나, 높은 수준의 캐리어 농도를 가지고 있어 TFT 채널용 반도체소재로 적용되기 위해서는 이를 $10^{17}\;cm^{-3}$ 이하로 조절할 수 있는 기술개발이 요구된다. 본 연구는 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착된 Ga-Zn-Sn-O (GZTO) 박막의 갈륨 첨가에 따른 특성변화를 조사하였다. GZO ($Ga_2O_3$ 5wt%)와 $SnO_2$ 타켓의 인가 파워를 고정한 상태에서 $Ga_2O_3$ 타켓의 인가 파워를 0~100W로 조절하여 박막 내 Ga 함량을 증가시켰다. 제조된 모든 GZTO 박막은 Ga함량에 관계없이 비정질 구조를 가지며 가시광 영역에서 약 78%의 우수한 투과율을 나타낸다. Ga 함량에 따라 박막의 구조적, 광학적 특성은 크게 변하지 않지만 전기적 특성은 뚜렷한 변화를 나타냈다. $Ga_2O_3$ 파워가 증가할수록 박막 내 캐리어 농도와 이동도의 감소로 비저항이 크게 증가하는데 특히 캐리어 농도는 $Ga_2O_3$ 파워가 0에서 100W로 증가할 때 $2{\times}10^{18}$에서 $8{\times}10^{14}\;cm^{-3}$으로 감소하였다. 이는 Ga-O의 화학적 결합 에너지가 다른 원소들(Zn 또는 In)에 비해 커서 박막 내 산소공공의 감소가 야기되었기 때문이다. 이러한 전기물성의 변화를 이해하기 위해 XPS 분석을 수행하였다. 제조된 GZTO 박막은 $Ga_2O_3$ 파워가 증가함에 따라 O 1s peak에서 산소공공과 관련된 530.8 eV peak의 intensity가 감소한다. 따라서 Ga을 첨가에 따른 캐리어 농도의 감소는 산소공공의 발생억제로 기인한 것으로 판단되며, 본 연구결과는 ZTO계 비정질 산화물 반도체의 활용가능성을 제시하였다.

• Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers
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• v.14 no.2
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• pp.48-54
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• 2005

The theodolite system consists of two theodolites, a scale bar and a target bu. A measurement accuracy of theodolite system is affected by a measurement distance of each equipment. This study was performed fir measuring an accuracy when the distance from theodolite to scale bar was changed 2~ 6 m on two theodolites distance 3 a The results showed thai the measurement accuracy could be $\pm$0.021 mm when the distance from theodolite to target was 2,3 and 6 n Specially, it was found that the maximum measurement accuracy was 10.017mm on theodolite collimation distance 3m and the distance 4 m of the theodolite and scale bar.

• Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers
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• v.14 no.3
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• pp.67-73
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• 2005

An accuracy of theodolite system may be affected by a measurement environment and a measurement distance change from theodolite to scale bar and/or targets. This study was performed for measuring an accuracy when the distance from thodolite system to scale bar was changed $2\~6m$ on the distance 4m between two theodolites. The results showed that an accuracy was ${\pm}0.025mm$ or better when the distance from theodolite system to targets was 3, 4 and 5m. According to the results, it was found that the best distance from theodolite system to scale bar was $3\~4m$ when the collimation distance was $3\~4m$.

• Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers
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• v.13 no.4
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• pp.37-43
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• 2004

A measurement accuracy of theodolite system may be affected by a measurement environment, a measurement distance change and so on. This study was performed for measuring an accuracy when the height of scale bar is changed 0.05m, 0.5m, 1m and 1.5m under the distance 3m between two theodolites, the distance 4m from the theodolite system to scale bar and the distance 5m from the thodolite system to the horizontal target bar. And we could know that the best height is 0.05m and 1m.

• Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers
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• v.12 no.4
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• pp.36-42
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• 2003

Theodolite measurement system is non-contacted 3-dimensional measurement system. The system accuracy is ${\pm}0.5mm$or better for distance 0~100m. And the system is used for the measurement of a product of middle and large scale. This study is performed for the measurement error factors of the system. We could know that the main measurement error factors are temperature, illumination and skill. Also, we performed the study for the effect according to the height difference of scale bar.

• Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers
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• v.13 no.2
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• pp.61-68
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• 2004

A non-contact precision measurement system is a theodolite system, a laser tacker and a photogrammetry system etc. Nowadays, the system reaches to a limit of measurement accuracy required from industrial product of middle and large scale. The one of the solutions for this problem is to maximize the accuracy of the existing measurement system. According to it we performed the study far a measurement accuracy of theodolite system when the distance between two theodolites is changed 1m to 5m. We could blow that the changes of distance affect the measurement accuracy of theodolite system and that the maximum measurement accuracy is $\pm$ 0.02 mm on theodolite distance 3∼4 m.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1998.02a
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• pp.80-80
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• 1998

RU02 박막은 전이금속으로서 rutile 구조이며, 넓은 온도 영역에서 금속성의 를 나타내고, 700도 이상의 높은 온도에서 열적 안정성을 갖는 물질이다 이러한 특성 때문 에 RU02 박막은 실리콘 디바이스에서 배선 게이트 전극 확산 장벽 등에 응용가능성이 높 은 물질로 각광을 받고 있다- 특히 다결정 RU02 박막은 DRAM (dynamic random access m memory) 내의 강유전성 축전기의 전극으로서 유망한 물질이다. 지금까지 이러한 응용분야에 사용된 전극물질은 pt 금속이었다 그러나 이러한 금속전극은 SI 산소 그리고 강유전체의 구성물질 등과의 상호확산, pt 표면의 hillock의 존재로 생기는 전기적 단락, 기판과의 나쁜 점작성, 어려운 에칭 프로세스 등의 단점을 가지고 있다 더욱 더 심각한 문제는 P Pt'ferroelectric/Pt 구조에서 나타나는 aging과 fatigue인데, 이는 108 사이쿨 이후에 스위칭 가 능한 잔류 pOlarization 으$\mid$ 감소를 유발하게 된다- 최근 Berstein은 Pt 대신에 RU02를 사용함으로써 강유전체 축전기에서의 fatigue 현상을 크게 감소시켰다고 보고 한 바 있다 Burst川도 RU02 가 실리콘 표면과 유전체 물질 사이에 전기전도 어떠한 상호 확산도 일어나지 않음을 보였다. 그러나 이러한 연구 결과에도 증착조건과 RU02 박악의 특성에 관한 상호 관계가 충분히 더욱 더 중은 강유전성 박막올 만들기 위해서는 이러한 박막 전극에 않고 있다 연구되지 대한 상세한 연구가 반드시 필요하다고 본다. RU02 박막은 실리콘 기판 위에 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착하였다. 사용 한 타켓은 2 인치의 직경을 가지는 CERAC 사에서 제작한 Ruol다 초기 진공은 1O~6 Torr 이하였고, 고주파 전력은 20 - 80W 까지 변화시켰다 반응성 스퍼터링율 하기 위해 아르곤과 산소롤 주입하였고, 산소/(산소+아르곤)의 비를 변화시켰다 기판의 온도와 증착압력은 각각 상온에 서 500도까지 , 5mTorr에 서 100mTorr 까지 변 화시 켰 다 RU02 박막의 결정성을 조사하기 위해 XRD 표면 형상과 단면을 조사하기 위해 SEM을 사용하였다‘ 박악의 비저항을 조사하기 위해 4-단자법 van der Pauw 방법을 사용하였다. RU02 박막은 증착압력이 높을수록 비저항은 높아지고, 두께는 감소하였다. 특히 1 100mTorr에서는 작업가스와 스퍼터된 입자사이의 심각한 산란 때문에 아예 증착이 이루어 지지 않았다‘ RF 전력이 증가할수록 비저항이 낮아졌다. 이는 두께에 의존하는 결과이며 전형적인 금속박막에서 나타나는 현상과 유사함을 알 수 있었다- 기판온도와 작업가스의 산소 분압이 높을수록 비저항이 감소하였다‘ 이러한 사실은 성장한 박악의 결정구조와 밀접한 관련이 있음을 보여준다.