• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.149.1-149.1
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• 2014

전자총의 방출전류량과 소스크기, 그리고 방출 각전류밀도(angular current density)를 측정함으로서 얻어지는 전자총의 휘도(brightness)는 대물렌즈의 수차와 더불어 전자현미경의 성능을 좌우한다. 국내업체의 전자현미경은 대부분 상대적으로 휘도가 낮지만 작동압력이 10-5 Torr의 이하여서 제작과 사용이 용이한 텅스텐 필라멘트 열전자총을 채용하고 있다. 주사전자현미경의 성능을 좌우하는 프로브 크기와 전류량은 광학계의 배율과 전자총의 휘도에 의해서 결정되며, 설계시 전자현미경의 사양을 결정하기 위해서는 전자총의 휘도 측정이 필수이다. 한국표준과학연구원에서는 국내에서 생산되는 전자현미경용 열전자총의 휘도를 측정하기 위해, 전자총의 방출 각전류밀도와 소스 크기를 측정할 수 있는 전자총 휘도 측정 시스템을 개발하고 있다. 본 발표에서는 개발중인 시스템의 측정 원리를 기술한다. 또한 외부 자기장에 의한 교란을 방지하기 위해 연자성 재료인 연강으로 제작한 진공챔버의 진공특성을 보고한다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.215.1-215.1
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• 2016

플라즈마는 반도체, 디스플레이, 태양전지 등 다양한 산업 분야에 이용된다. 플라즈마 공정 시 수율 향상을 위해 플라즈마를 진단하는 기술이 필요한데, 대표적으로 전자온도가 있다. 반도체 공정의 낮은 압력과 높은 밀도의 플라즈마에서 전자온도는 1~10 eV 정도인데, 0.5 eV정도의 아주 적은 차이로도 공정 결과에 큰 영향을 미친다. 플라즈마의 전자온도를 측정하는 방법은 전기적 탐침 방법인 랑뮤어 탐침(Langmuir Probe)과 와이즈 프로브(Wise Probe)를 이용한 방법, 그리고 광학적 방법인 방출분광법(OES : Optical Emission Spectroscopy)이 있다. 전기적 탐침 방법은 직접 플라즈마 내부에 탐침을 넣기 때문에 불활성 기체를 사용한 공정에서는 잘 작동하지만 건식식각이나 증착에 사용할 경우 탐침의 오염으로 인한 오동작, 공정 시 생성된 샘플에 영향을 줄 수 있다는 단점이 있다. 반면에 방출분광법은 광학적 진단으로, 플라즈마를 사용하는 공정 진행 중에 외부에 광학계를 설치하여 플라즈마에서 발생하는 빛을 광학적으로 분석하기 때문에 공정에 영향을 미치지 않고, 공정 장비에 적용이 쉬운 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 RF Power를 인가한 유도결합플라즈마(ICP : Inductively Coupled Plasma) 공정에서 아르곤 가스와 산소 혼합가스 분압과 인가전압을 변화시켜 플라즈마 방출광 세기 변화에 따른 전자온도를 측정하였다. 전자온도 측정에는 전기적 방법인 랑뮤어 탐침, 와이즈 프로브를 이용한 방법과 광학적 방법인 방출분광법을 사용하여 측정하였으며 이를 비교 분석하였다.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.31 no.9
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• pp.1-8
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• 2003

Velocity data were acquired at a series of stations in the chordwise direction above a delta wing with leading edge extension, using a triple axis hot film anemometry. Surveys normal to planform yield velocity field data at incidence angle of 24$^{\circ}$and 32$^{\circ}$at a centerline chord Reynolds number of $1.76{\times}10^6$. Experimental results of velocity measurements of mean velocity of three components gave a confidence to quantitative investigate the vortical flow field over a LEX-delta wing with this probe. The present experiments indicated the existence of both wing and LEX vortex where the local mean axial velocity is maximum. It also shown the development of secondary vortex of opposite sign of rotating above the wing surface near the leading edge. The insertion of probe across the flow field was found to have little influence on the position of the vortex core.

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.13 no.4
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• pp.813-820
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• 2009

This paper describes the realization of ubiquitous healthcare monitoring system using wearable pulse oximeter based on a wireless sensor network. In order to obtain information of oxygen saturation from a patient, a small size and low power consumption wearable pulse oximeter was designed. Information of oxygen saturation collected by wireless sensor node was transmitted wirelessly to a base-station for storage and display purposes via wireless sensor network. Wireless sensor nodes were programmed by TinyOS application to perform data acquisition and transmission. Lab VIEW server program was designed to monitor information of oxygen saturation and process the measured PPG (photo plethysmogram) signals to APG(Accelerated plethysmogram) signals by appling second order derivatives. PPG signals are simple and cost effective technique to measure blood volume change.

• Proceedings of the Korean Society of Postharvest Science and Technology of Agricultural Products Conference
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• 2003.04a
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• pp.120-121
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• 2003

과수원에서 재배되는 배는 과수원 내의 위치, 시비, 토양 등의 요인에 따라 다양한 품질을 나타내며, 당도와 숙도의 편차가 크기 때문에 과수농가에서는 경험에 의존하여 적정 숙기로 판단되는 배를 수확하고 있다. 그러나 과학적이지 못한 사실에 기초한 수확 관행은 시장유통되는 배에 대하여 소비자들의 신뢰성 저하를 초래하게 되고 소비 감소와 더불어 농가 소득 감소로 이어지게 된다. 최근, 전국의 청과물 산지유통센터에는 근적외선을 이용하여 과일 내부의 당도, 산도, 결함 등을 실시간으로 판정할 수 있는 비파괴 선별기가 보급되고 있으나 이는 수확이후의 선별.규격화 유통을 위한 것이다. 본 연구에서는 이와는 달리, 수확 이전, 즉 재배 단계에서 배의 당도와 숙도를 판정하여 수확적기를 판단할 수 있도록 나무에 매달린 배에 대하여 가시광선과 근적외선 반사스펙트럼을 측정할 수 있고 이를 이용하여 당도와 숙도가 판정가능한 휴대형 센서를 개발하였으며, 개발된 시작기를 이용하여 당도판정의 가능성을 시험하였다. 휴대형 당도판정센서는 광원과 광섬유프로브, 광검출부, 당도판정부, 전원공급부로 구성된다. 광원은 할로겐램프(6V)를 이용하였고, 광섬유프로브는 동심원 형태로서 외부의 광섬유를 통하여 광원에서 시료로 빛이 조사되게 하고, 내부의 광섬유를 통하여 광검출기로 확산반사되는 광이 전달될 수 있도록 하였다. 전원공급부는 휴대와 충전이 가능한 배터리(12V, 2AH)와 이 배터리에서 정전류가 광원으로 보내어 질 수 있도록 제작된 회로로 구성하였다. 당도 판정을 위하여 518nm에서 1046nm의 파장대역에서의 반사스펙트럼을 이용하였고, 레퍼런스로써 백색 테플론 구를 제작하여 사용하였다. 수원 농산물 도매시장에서 판매중인 2002년산 신고 배를 구매하고, 시작기를 이용하여 총 113개의 배에 대한 반사스펙트럼을 측정하였다. 다음으로 굴절당도계로 당도값을 측정하고 반사스펙트림을 이용하여 당도값을 예측하기 위한 부분최소제곱회귀(PLSR)모델을 개발하였다. 여기서 모델의 정밀도는 교차검정법을 이용하여 검증하였다. 시료 표면과 광섬유프로브와의 접촉상태 불균일, 광원의 시간에 따른 경시 변화, 과일 형상의 차이 등에 의하여 측정된 반사스펙트럼은 상당한 변이를 나타내었으므로 이를 보정하기 위하여 반사 스펙트럼은 다분산보정처리하여 이용하였다. 당도 예측용 PLSR모델 개발의 결과, 모델의 결정계수($R^2$)는 0.67, SEC는 $\pm$0.4brix.로 나타났으며, 교차검정에 의한 미지 시료의 예측에서 총 113개의 미지 시료에 대한 결정계수는 0.57, SEP는 $\pm$ 0.46brix.로 나타났으며, 이는 현장에서 충분히 활용가능할 것으로 판단되었다. 금후, 전체 시스템의 부피와 중량을 줄이고 각 부분품들의 전력소모의 최소화할 수 있도록 개선할 계획이다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.132-132
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• 2004

카본나노튜브는 나노튜브의 종류에 따라 1~10nm의 직경과 수 $\mu\textrm{m}$정도의 길이를 가지는 고종횡비(high aspect ratio)가 가능하며, 고강성, 전기화학적 내성, 마모에 대한 강인성 때문에 원자력간 현미경(AEM)의 프로브로서 이상적인 재료로 인식되어 왔다. 따라서 단백질이나 DNA를 측정하는 바이오 분야, 나노 일렉트로닉스 분야, 나노 구조 측정분야 등 나노 관련 측정분야에서 점차 그 활용도가 높아 져가고 있다. 특히 100nm이하의 반도체의 CD(critical Dimension)을 측정하는데 있어서 나노튜브는 가장 이상적인 후보라고 할 수 있겠다.(중략)

• KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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• v.28 no.6C
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• pp.339-347
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• 2008

The penetration of the probe produces the excess pore pressure due to the disturbance. The objective of this study is to evaluate the disturbance zone by using the dissipation of the excess pore water pressure, which was generated due to the penetration of the penetrometer with different size. The CPT, DMT and FVP (Field Velocity Probe) are adopted for in-situ tests. The tests are carried out in the construction site of north container pier of Busan new port, Korea where is accelerating the consolidation settlement using plastic board drains (PBD) and surcharges by crushed gravels. The coefficient of consolidation $(C_h)$ and soil properties are deduced by the laboratory test. The in-site tests are performed after the predrilling the surcharge zone at the point of 90% degree of consolidation. To minimize the penetration effect, the horizontal distance between penetration tests is 3m, the change of the pore pressure is monitored at the fixed depth of 24m. The coefficient of consolidation $(C_h)$ and the $t_{50}s$ are calculated based on the laboratory test and the in-situ data, respectively. The equvalent radi based on the $t_{50}$ shows that the FVP and the DMT produce the smallest and the greatest equivalent radi, respectively.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.95-95
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• 2016

반도체 및 디스플레이 공정용 플라즈마 장치에서 플라즈마 변수를 측정하기 위한 방법들이 많이 개발되어 왔다. 전자 밀도와 온도는 정전 탐침이나 컷오프 프로브 등을 사용하여 활성종이나 중성종에 비해 상대적으로 쉽게 측정할 수 있고, 활성종과 중성종은 LIF (Laser Induced Fluorescence) 방법, OES (Optical Emission Spectrometry) 방법, 그리고 QMS (Quadrupole Mass Spectrometry) 방법 등을 이용하여 측정할 수 있으나 절대적인 크기를 측정할 수 있는 경우는 제한적인 것으로 알려져 있다. 이러한 문제를 극복하기 위해 측정한 전자 밀도와 전자 온도를 기반으로 하여 고려되는 종들의 밀도를 계산할 수 있는 프로그램도 제작된 바 있다. 개발된 프로그램의 입력 값으로 사용되는 플라즈마 화학반응 데이터베이스는 계산 결과의 정확성과 밀접한 관계가 있으며, 이런 이유로 신뢰성 높은 데이터베이스를 확보하기 위한 연구도 진행되었다. 개발된 프로그램을 이용하여 계산한 플라즈마 변수의 장비 변수에 대한 의존성이 진단 데이터와도 잘 부합하는 것으로 확인되었다.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.30 no.2
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• pp.111-123
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• 2019

In this paper, we propose a method for defining the input termination for on-wafer-type device under test (DUT) measurement. Using the newly defined input termination and noise wave correlation matrix (NWCM) measurement method based on noise power ratio, the NWCM of the on-wafer-type DUT was measured. We demonstrate a noise measurement configuration that includes wafer probes and bias tees to measure the on-wafer DUT. The S-parameter of the adapter that combines the bias tee, probe, and a line terminated by open is required to define the input termination for on-wafer DUT measurement. To measure the S-parameter of the adapter, a 2-port S-parameter measurement method using 1-port measurement is introduced. Using the measured S-parameters, a method for defining the new input termination for on-wafer-type DUT measurement is applied. The proposed method involves the measurement of the NWCM of the chip with a 1.5 dB noise figure. The noise parameters of the chip were obtained using the measured NWCM. The results indicate that the obtained values of the noise parameters are similar to those mentioned on a datasheet for the chip. In addition, repeated measurements yielded similar results, thereby confirming the reliability of the measurements.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.34 no.12
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• pp.9-17
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• 2006

An experimental study was carried out to examine the behavior of the unsteady boundary layer. An NACA 0012 airfoil with aspect ratio of 2.7 was set vertically in a test section, which is sinusoidally pitched about the quarter chord. The oscillating amplitude is from -6$^{\circ}$ to +6$^{\circ}$ and the mean angle of attack is 0$^{\circ}$. Surface mounted probes (Glue-on probes) were employed to measure the surface flow of the boundary layer. Measurements were made at free-stream velocities of 1.98, 2.83, and 4.03m/s, and the corresponding Reynolds numbers based on the chord length were 2.3$\times$104, 3.3$\times$104 and 4.8$\times$104, respectively. The reduced frequency is fixed as 0.1 in all cases. The results show that the surface position of minimum shear stress and of boundary layer break-down can be discerned in the Reynolds number between 2.3$\times$104 and 3.3$\times$104.