• Defense and Technology
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• no.6 s.256
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• pp.46-53
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• 2000

강직성은 우주 공간에 대해 일정한 방향을 유지하려고 하는 성질로 뉴턴의 제1법칙인 관성력을 이용한 한 형태라고 할 수 있다. 강직성은 자체 회전축의 방향을 변화시켜려는 외력에 대항하여 자이로의 지지대를 기울여도 자이로의 축을 원위치로 유지하게 하는 성질이다. 이 성질은 3개의 변수인 로터의 질량, 반경, 회전속도에 좌우된다. 강직성을 이용하여 만든 자이로를 3축 자이로 혹은 Free Mounted Gyro라 하며 3축 자이로는 항공기 계기에서 자세기준, 방향기준을 설정하는데 이용된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.230-230
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• 2013

플라즈마를 활용한 미세 패턴의 건식 식각은 반도체 소자 공정에 있어서 가장 중요한 기술 중 하나이다. 한편, 매년 발행되는 ITRS Roadmap 에 따르면 DRAM 의 1/2 pitch 는 감소하는 동시에 Contact A/R (Aspect Ratio) 는 증가하고 있다. 이러한 추세 속에서 기존의 공정을 그대로 활용할 경우 식각물의 프로파일 왜곡 혹은 휨 현상이 발생하고 식각 속도가 저하되며 이러한 특성들이 결과적으로는 생산성의 저하로 이어질 수 있다. 이러한 현상을 최소화하기 위해서는 무엇보다 독립된 plasma parameter 들이 식각물의 프로파일 혹은 식각 속도 등에 어떠한 영향을 주는 지에 대한 학문적 이해가 필요하다. 본 논문에서는 최소 CD (Critical Dimenstion) 100nm, 최대 A/R 30 인 HARC (High Aspect Ration Contact hole) 의 식각 특성이 plasma parameter 에 따라 어떻게 변하는지 확인해 보고자 한다. 산화물의 식각은 대표적인 high density plasma source 중의 하나인 ICP에서 진행하였으며 기존에 알려진 plasma parameter 에 더하여 자장의 인가가 산화물의 식각 특성에 어떠한 영향을 주는지 살펴보고자 전자석을 ICP 에 추가로 설치하여 실험을 진행하였다. 결과적으로, plasma parameter 에 따른 혹은 자장의 세기 변화에 따른 산화물의 식각 실험을 플라즈마 진단 실험과 병행하여 진행함으로써 다양한 인자에 따른 산화물의 식각 메커니즘을 정확하게 이해하고자 하였다. 실험 내용을 요약하면 다음과 같다. 먼저, 전자석의 전류 인가 조건에 따라 축 방향 혹은 반경 방향으로의 자장의 분포가 달라질 수 있음을 확인하였고 플라즈마 진단 결과 축 방향 혹은 반경 방향으로의 자장이 증가하였을 때 고밀도의 플라즈마가 형성될 수 있음은 물론 반경 방향으로의 플라즈마 밀도의 균일도가 향상됨을 확인할 수 있었다. 또한 ICP 조건에서 바이어스 주파수, 압력, 바이어스 파워, 소스 파워, 가스 유량 등의 plasma parameter 가 산화물의 식각 특성에 미치는 영향 및 메커니즘을 규명하였고 이 과정을 통해 최적화된 프로파일을 바탕으로 축 방향 혹은 반경 방향으로 증가하는 자장을 인가하였을 때 (M-ICP 혹은 자화 유도 결합 플라즈마) ICP 대비 산화물의 식각 속도가 증가함은 물론 PR-to-oxide 의 선택비가 개선될 수 있음을 확인할 수 있었다. 자장의 인가에 따른 산화물의 정확한 식각 메커니즘은 향후의 실험 진행을 통해 이해하고 이를 통해 궁극적으로는 산화물의 식각 공정이 나아가야 할 올바른 방향을 제시하고자 한다.

• Journal of the Society of Naval Architects of Korea
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• v.35 no.1
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• pp.24-31
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• 1998

Unsteady propeller blade forces arising from shaft inclination have been found to be an important contribution tn total blade forces. The position of the wake relative to a blade oscillates with the first blade frequency, thus giving rise to unsteady blade forces which is significant relative to the forces produced directly by flow inclination. In order to find a wake geometry due to shaft inclination, a non-axisymmetric wake model is developed and applied to a specific case, which has experimental values. Predicted cavity shapes and unsteady forces acting on the blades of an inclined shaft propeller are compared to those predicted by other numerical methods, as well as those measured in experiments.

• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.16 no.4
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• pp.21-28
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• 1997

In this study, comparison between Harris-theoretical values and experimental data of load-deflection characteristics in bearing was made. The experiments are conducted under the conditions of the various radial loads and speed of shaft. In the case of non-defective ball bearing, the experimental data agreed well with the Harris-theoretical values for the small steady radial load but not for the large steady radial load. For the radial load bearing, the experimental results show that the stiffness of bearing at the single and multiple defective bearing are bigger in the radial defectiion than in the axial deflection. Load-deflection characteristics for the bearing defect part make it possible to detect the presence of a defect in bearing.

• Journal of Biosystems Engineering
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• v.14 no.3
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• pp.196-206
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• 1989

와권(渦券) 노즐에 작용(作用)되는 힘은 분두(噴頭)의 도구(導溝) 및 와실(渦室)의 기능(機能)에 의하여 축방향력(軸方向力)과 반경방향력(半徑方向力)으로 분류(分類)되고, 이 두 개의 힘은 미립화(微粒化)의 과정(過程)에 각각(各各)의 특성(特性)을 주고 있다. 반경방향(半徑方向)의 힘은 분두(噴頭)에서 분사(噴射)되는 입자(粒子)에 전단력(剪斷力)으로서 작용(作用)하지만 이 힘의 크기는 물방울의 직경(直徑) $100{mu}m$을 기준(基準)하여 2.4m/s의 속도(速度) 이내(以內)의 범위(範圍)이었으며, 그 속도범위(速度範圍)는 다음 유도된 식(式)으로 산출(算出)할 수 있었다. $$V_{ot}=(\frac{8g{\sigma}}{d{\gamma}})^{1/2}$$ 축방향력(軸方向力)은 아래 유도된 식(式)과 같이 분사액류(噴射液流)의 굴절각에 매우 민감하게 영향을 미치었고, 그 크기는 반경방향력(半徑方向力)에 비교(比較)하여 큰 값을 나타내었다. $$V_{\ell}={\sigma}[\frac{1}{2}{\rho}_{a}sin2{\theta}_d-4({\mu}+{\eta})\frac{\ell}{r_o}]^{-1}$$.

• Journal of the Korean Society of Visualization
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• v.9 no.1
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• pp.49-54
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• 2011

An investigation has been made of a viscous incompressible flow in a circular cylindrical tank. The flow is driven by the spinning bottom disk of tank together with/without central injection and radial uniform-ejection through the sidewall. Numerical solutions of steady and unsteady flows to 3-dimensional Navier-Stokes equation were obtained for several cases of injection strength. In a moderate flow rate of injection, the mass transfer occurs through the boundary layers but, as the flow rate increases, the inner region far from the container walls takes part in mass transfer.

• Journal of the Korean Society of Fisheries and Ocean Technology
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• v.19 no.1
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• pp.40-45
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• 1983

The paper describes an experimental investigation of axisymmetric diesel spray and flame which is held in rapid compression machine (RCM) with electromagnetic single injection nozzle. The axisymmetric diesel spray and flame are taken with high speed photograph and analysis it with image processor. The data presented include fuel concentration of spray, flame temperature, soot concentration of flame in axial and radial direction at a moment and compared it with each other.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.37 no.2
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• pp.149-154
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• 2013

This study was performed to develop a high efficiency submersible axial pump for concentration wastewater treatment. To do this, we simulated the effect of some parameters such as the axial twist angle of a blade(${\beta}$), the radial twist angle of a blade(${\alpha}$) and the length of a blade (l) on pump efficiency using commercial code, ANSYS CFX and BladeGen. The results showed that the axial twist angle of a blade(${\beta}$) was the most sensible parameter on the pump efficiency. And the pump efficiency had a maximum at ${\beta}=20^{\circ}$, ${\alpha}=110^{\circ}$ and l=240 mm.

• Korean Chemical Engineering Research
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• v.47 no.1
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• pp.72-78
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• 2009

For the electro-discharge machining of an electro-conductive anisotropic composite, an unsteady state formulation was established and solved by Galerkin's finite element method. The distribution of temperature on work piece, the shape of the crater and the material removal rate were obtained in terms of the process parameters. The $12{\times}12$ irregular mesh that was chosen as the optimum in the previous analysis was used for computational accuracy and efficiency. A material having the physical properties of alumina/titanium carbide composite was selected and an electricity with power of 51.4 V and current of 7 A was applied, assuming the removal efficiency of 10 % and the thermal anisotropic factors of 2 and 3. As the spark was initiated the workpiece immediately started to melt and the heat affected zone was formed. The moving boundary of the crater was also identified with time. When the radial and axial conductivities were increased separately, the temperature distribution and the shape of the crater were shifted in the radial and axial directions, respectively. The material removal rate was found to be higher when the conductivity was increased in the radial direction rather than in the axial direction.

• 기계와재료
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• v.21 no.3
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• pp.52-59
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• 2009

테이퍼롤러 베어링의 축방향 과다 예압에 의한 수명 단축 효과를 실험적으로 검증하고 그 결과에 의한 베어링의 수명 분포를 분석하여, 기존의 $L_{10}$ 수명식에 비하여 현장 작동 조건에 따른 실질적인 수명을 산출할 수 있는 축방향과 반경방향을 고려한 수명식을 도출하고 이를 프로그램화 하여 설계 및 생산 현장에서 용이하게 활용할 수 있도록 하였다.