• Title/Summary/Keyword: 초정밀 절단

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A Study on Ultraprecision Dicing Machining of Silicon Wafer (실리콘 웨이퍼의 초정밀 절단가공에 관한 연구)

  • 이은상;송지복;김성철
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.17 no.6
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    • pp.185-191
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    • 2000
  • Recently, a slightest influence to the circuit can be a great damage because the size of semiconductor smaller. It must be controlled the chippingless dicing process and the precision dicing without any damage to tile circuit. In this study, the relationship between chipping effect and the force of dicing was analysed. The rate of chipping was decreased as the farce of dicing decreased. It was also examined that the farce of dicing decreased according to the lower feed rate and higher blade speed. The lower feed rate and the higher blade speed must be controlled to achieve the chippingless process.

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A Study on Ultraprecision Dicing Machining of Silicon Wafer (실리콘 웨이퍼의 초정밀 절단가공에 관한 연구)

  • 김성철
    • Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference
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    • 1999.10a
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    • pp.502-506
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    • 1999
  • Recently, the miniature of electric products such as notebook, cellular-phone etc. is apparently appeared, due to the smaller size of the semiconductor chips. As the size of chip gets smaller, the circuit could be easily damaged by the slightest influence, so it is important to control the chipping generation in the process of dicing. This paper deals with chipping of the silicon wafer dicing. The relationships between the dicing force and the wafer chipping are investigated. It is confirmed that the wafer chipping increases as the dicing force increases.

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특집 : 레이저 기반 초정밀 초고속 가공시스템 - 신개념 레이저 기반 초정밀/초고속 가공시스템 개발

  • Seo, Jeong;Son, Hyeon-Gi
    • 기계와재료
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    • v.22 no.1
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    • pp.6-13
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    • 2010
  • 스마트 폰을 비롯한 고성능/다기능/소형 모바일 기기를 중심으로 고밀도/다층/차세대 FPCB의 적용이 지속적으로 확대되고 있다. 이러한 고부가 FPCB의 생산 공정에서 드릴링, 절단, 트리밍, 리페어 등의 고정에 적용하기 위한 UV 레이저 기반 초정밀/초고속 드릴링 및 복합/유연 공정 및 장비 기술의 개발을 목표로 하는 청정제조기반 산업원천기술개발 과제가 한국기계연구원의 총괄로 2009년 6월 출범하였다. 본 고에서는 본 과제에 대해 간략하게 설명하고, 관련 국내외 시장의 최신 동향을 살펴보고자 한다.

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기획특집2_레이저 산업의 동향 - 신개념 레이저 기반 초정밀.초고속 가동시스템 개발동향

  • Seo, Jeong
    • The Optical Journal
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    • s.124
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    • pp.28-32
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    • 2009
  • 초정밀 초고속 레이저 가공공정 및 장비는 유연소재의 태양전지, 인쇄전자소자(printed electronics devices)의 초고속 절단공정, 고기능 다기능 모바일 기기용 고부가 PCB의 초정밀 초고속 레이저 드릴링 및 복합 유연 가공 등에 적용된다. 최근 레이저 가공기 연구개발 패러다임은 레이저 의존형 장비 개발에서 레이저 맞춤형 장비 개발로 변화되고 있다. 즉, 수입된 레이저 발진기 및 광학기기를 사용하여 레이저 공정 및 장비를 개발하는 방식에서 벗어나, 개발하고자 하는 공정 및 장비에 최적화된 레이저 발진기 개발을 병행하는 것이다. 이러한 상황에서 최근 지식경제부 산업원천기술개발사업으로 신개념 레이저 기반 초정밀 초고속 가공시스템 개발이 착수되었으며, 본 고에서는 이에 대한 전반적인 내용들 소개하고자 한다.

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특집 : 레이저 기반 초정밀 초고속 가공시스템 - 신개념 레이저 기반 초정밀/초고속 레이저 복합/유연 가공 기술 개발

  • Ryu, Gwang-Hyeon;Nam, Gi-Jung
    • 기계와재료
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    • v.22 no.1
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    • pp.30-35
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    • 2010
  • 전자부품산업이 빠르게 발전하고 있기 때문에 고기능성 PCB의 수요 또한 많이 늘고 있다. 이러한 PCB는 전자제품의 굴곡성(flexibility) 있는 형태로 발전하여 전자제품의 소형화 및 고밀도화가 가능하고, 반복적인 굴곡에 높은 내구성을 갖는 연성(flexible) PCB(FPCB)의 사용이 증가하고 있으며, 이런 시장의 요구에 맞춰 연성 다층 구조의 FPCB에 대한 정밀 고속 가공 기술에 대한 수요도 급격히 확대되고 있다. 따라서 장비 운영의 효율성 극대화 및 설비 투자를 최소화하고 단일 장비로 절단(half cut, full cut), 제거, 트리밍, 리페어 고정 등을 수행할 수 있는 장비 개발을 위한 스캐너/스테이지 고정밀 제어, Z축 스텝가공, 멀티포인트 비전 인식을 통한 왜곡 최소화 등의 요소기술 개발관련 내용을 소개하고자 한다.

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Study of Laser Trimming and Cutting of Printed Circuit Board by using UV Laser with Nanosecond Pulse Width (나노초 펄스폭을 갖는 자외선 레이저를 이용한 전자회로기판의 저항체 트리밍과 절단공정 특성에 관한 연구)

  • Ryu, Kwang-Hyun;Shin, Suk-Hoon;Park, Hyeong-Chan;Nam, Gi-Jung;Kwon, Nam-Ic
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.27 no.10
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    • pp.23-28
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    • 2010
  • Resistance trimming and cutting processes of printed circuit board by making use of high power UV laser with nano-second pulse width have been proposed and investigated experimentally. Also laser-based application system with high flexibility and complex has been designed and adopted power controller, auto beam size control, auto-focusing and control program developed for ourselves. The function of each module shows that they can be reliable for industrial equipments. Resistance trimming method used a plunge and double cut process with $20{\mu}m$ spot size beam. Results show that double cut process is more effective to control resistance trimming in precision than plunge cut process.

Study on High Speed Laser Cutting of Rigid Flexible Printed Circuit Board by using UV Laser with Nano-second Pulse Width (자외선 나노초 펄스 레이저를 이용한 경연성(Rigid Flexible) 인쇄전자회로기판(Printed Circuit Board) 고속 절단에 관한 연구)

  • Bae, Han-Sung;Park, Hee-Chun;Ryu, Kwang-Hyun;Nam, Gi-Jung
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.27 no.2
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    • pp.20-24
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    • 2010
  • High speed cutting processes of rigid flexible printed circuit board by making use of high power UV laser with nano-second pulse width have been proposed and investigated experimentally. Also robust laser cutting system has been designed and developed in order to obtain a good cutting quality of rigid and flexible PCB with multi-layers (2-6 layers). Power controller module developed for ourselves is adapted to control the laser output power in the range less than 1%. The systems show the good performance of cutting speed, cutting width and cutting accuracy, respectively. Especially we have confirmed that the short circuit problem due to the carbonized contamination occurred in cross section of multi-layers by thermal effect of high power laser has been improved largely by using multi-pass cutting process with low power and high speed.