• 제목/요약/키워드: 초정밀 연마

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경면가공기술개발 -공구의 선택 및 마멸대책-

  • 이재경
    • 기계저널
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    • 제30권4호
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    • pp.367-373
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    • 1990
  • 초정밀 절삭용 다이아몬드 공구의 날끝 형상에 관해서는 여러 가지 설계안이 개발되어 제각기 성공적으로 사용되고 있지만 제품 품질의 균일성, 즉 성능과 수명의 차이는 아직까지 미해결이다. 또한, 초정밀공구의 날끝 능선에 관해서 최근 측정 데이터가 발표되고 있으나, 양호한 날끝능선, 불량한 능선 및 소정의 다듬질이 이루어지지 못하고 수명에 달해버린 능선 등에 대한 제각기의 형상, 구조 등이 밝혀지지 않고 있으며, 공구의 제작법을 개발하는 것은 금후의 연구과제로 남 아있다. 그리고, 단결정 바이트의 연마에 대해서는 많은 기술적인 진전이 이루어져 왔으나, 수 명의 차이는 해결하지 못하고 있다. 이는 날끝능선의 연마방향과 더불어 다이아몬드의 이방성, 원석의 품질 등과 관련이 있다고 볼 수 있다. 공구의 마멸과정이 결정방위에 의존하는 것은 당연하겠지만, 공구의 연마가공에서는 이방성 그 자체가 공구마멸에 나타나는 문제 및 경사면과 여유면의 마멸과 달리 예리한 인선을 둔화시키는 날끝 능선의 마멸은 어떻게 진행되는가가 문 제이며, 공구의 결정방위와 성능, 수명과의 관련은 실험적으로 해명되어야 할 것이다. 또한 재 료인 다이아몬드 원석에 있어서도, 커다란 결함이 발견된 것은 제외되지만 극히 경미한 결함은 어디까지 허용될 것인지가 문제이다. 내부응력, 착색 등 결함의 인자는 다양하지만 제각기 공구 의 성능 및 수명과의 관련은 명확하게 밝혀져 있지 않다. 이러한 인자 중에서도 어느 것이 가장 크게 영향을 미치는지 확인된다면 커다란 진보가 이루어질 것으로 기대된다.

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반도체용 대구경관의 전해 복합연마에 대한 초정밀 가공 특성연구 (A Study on the characteristics of ultra precision about Buffing and Electropolishing for Semiconductor Large Radius Pipe)

  • 이정훈;이은상
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2004년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.609-613
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    • 2004
  • On this study, electrochemical polishing is adapted to ultra-fine surface for semiconductor large radius gas-tube. The system which buffing and electrochemical polishing can be performed simultaneously was constructed in connection with developing exclusive system. Based on existing papers and the research of background, electrode gap and electrolyte flow were fixed. Current density and electrochemical precision time were chosen as variables. On this study, it is objected to find optimal precision condition and precision variables on the in-process electrochemical polishing.

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마찰력 측정을 이용한 홈(Groove) 및 임의패턴 초정밀 연마판의 특성 비교 (Comparison of Characteristics of Texture and Groove Precision Lapping Plate by Measuring Frictional Forces)

  • 노병국
    • 한국기계가공학회지
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    • 제5권4호
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    • pp.21-26
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    • 2006
  • Characteristics of texture and groove precision lapping plate are experimentally investigated by Measuring frictional forces. It is found that the frictional coefficient decreases as the embedding of diamond particles progresses. The groove precision lapping plate with concentric micro-channels indicates superior capability in embedding micrometer-sized diamond particles and uniformity in diamond embedding compared with the texture precision lapping plate with a series of circular micro-channels.

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초정밀 자기연마 가공 기술과 최근 연구 (Magnetic Abrasive Polishing and Its Application)

  • 곽태수;곽재섭
    • 한국정밀공학회지
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    • 제29권3호
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    • pp.266-272
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    • 2012
  • This paper has aims to share fundamental knowledge for magnetic abrasive polishing and to mainly introduce recent research results. In order to enhance a magnetic flux density for nonferrous materials, advanced magnetic abrasive polishing system which is called 2nd generation system was established by electro-magnet array table, and the effectiveness of the electromagnet array table was evaluated in real polishing experiments. To increase adhesiveness of the abrasives in high speed polishing, a silicone gel agent was proposed and carbon nanotube particles as new magnetic abrasives were applied in the magnetic abrasive polishing. In addition, a strategy for optimal step-over determination by heuristic algorithm was introduced for applying large size workpiece. Curved surfaces having a uniform radius were simulated and tested with installed electro-magnet array table.

ER 유체를 이용한 미세3차원 행상의 초정밀연마 (Ultraprecision Polishing Technique for Micro 3-Dimensional Structures using ER Fluids)

  • 김욱배;이상조;김용준;이응숙
    • 한국정밀공학회지
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    • 제19권12호
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    • pp.134-141
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    • 2002
  • The ER fluid can be one of efficient materials in ultraprecision polishing for optics, ceramics and semiconductors because of electrically controllable apparent viscosity. To finish small 3 dimensional structures such as the aspherical surface in optical elements, the possible arrangement of a tool, workpiece and auxiliary electrode is described. We examined the influence of the addition of a few abrasive particles on the performance of the ER fluid by measuring yield stress, and observed the behavior of abrasive particles in the ER fluid by a CCD camera, which is also theoretically predicted from the electromechanical principles of particles. On the basis of the above results, the steady flow analysis around the rotating micro tool is worked out considering the non-uniform electric field. Finally, Pyrex glass is polished using the mixture of the ER fluid and abrasive particles, and the effect of the electric field strength is evaluated.

미세채널 구조물 상부의 초정밀 연마 기술 연구 (A Study on the Ultra-Precision Polishing Technique for the Upper Surface of the Micro-Channel Structure)

  • 강정일;이윤호;안병운;윤종학
    • 한국공작기계학회:학술대회논문집
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    • 한국공작기계학회 2003년도 추계학술대회
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    • pp.313-317
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    • 2003
  • Micro-Channel ultra-precision polishing is a new technology used in magnetic field-assisted relishing. In this paper, an electromagnet or the i18 of test system was designed and manufactured. A size of magnetic abrasive is used on 25~75${\mu}{\textrm}{m}$ and for the polish a micro-channel upper part. A surface of channel which is not even is manufactured using magnetic abrasive finishing at upper surface of micro-channel. As a result, the surface roughness rose by 80% after upper surface of micro- channel was polished up 8 minutes by polishing.

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