• Journal of the KSME
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• v.33 no.2
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• pp.152-160
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• 1993

이 글에서는 현재 반도체 생산과 연계된 길이측정 기술을 변위측정과 표면측정으로 대별하여 이에 이용되고 있는 대표적인 방법들의 기본 원리와 장단점을 기술하였다. 반도체 분야의 길이 측정은 1나노미터 수준의 초정밀 분해능을 요구하고 있어 이를 구현하기 위해 광학과 물리학의 기본원리들이 측정에 실제적으로 폭넓게 적용되고 있다. 또한 측정의 고속화와 측정결과의 효 율적인 처리를 위해 컴퓨터의 활용이 활발히 진행되고 있음을 알 수 있다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2004.07d
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• pp.2662-2664
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• 2004

레이저 시스템의 정밀한 동작시점 제어를 위해서 초정밀 동기용 시간 지연 발생기(time delay generator)를 제작하였다. 제작된 장치는 8 비트 delay line IC를 조합하여 구현하였으며 사용자 프로그램에서 지연 시간과 펄스폭을 설정할 수 있도록 하였다. 또한 RS232 통신 방식으로 설정 값을 전달할 수 있도록 하였고 모듈 단위로 2 개의 채널을 사용할 수 있도록 하였으며 7 비트 어드레싱 방식의 $I^2C$(Inter IC Bus)를 이용할 경우 최대 127 개의 모들을 동작시킬 수 있도록 하였다.

• The Optical Journal
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• s.97
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• pp.62-66
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• 2005

본 고는「특집: 여러 가지 초정밀기술을 응용한 옵토메카트로닉스부품화기술」이라는 주제로 일본 광기술콘택트지 (Vol. 42, No. 12(2004년), 637~641쪽)에 게재됐던 카사이 도시오(河西敏雄)씨가 기고한 내용을 번역, 정리한 것으로 초정밀기술과 옵토메카트로닉스부품의 현황과 과제에 관해 간단히 논하였다. 산업계에서 신문보도등에 의하면 교또의정서의 발효는, 러시아의 기준에 의해 2005년 2월경이라고 한다. 지금까지 앞서간다고 여겨져 왔던 엄한 CO가스의 삭감규제가 드디어 아주 가깝게 대두되었다. 환경문제로 지구온난화를 조금이라도 억제하려는 기업 노력이 추진되어 왔지만, 금후의 초정밀기술 및 옵토메카트로닉스부품·시스템에 대해서도 이를 염두에 둔 새로운 기술전개가 시작될 것으로 예상된다.

• The Optical Journal
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• s.101
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• pp.31-38
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• 2006

디지털카메라, 카메라폰, DVD 픽업 등의 수요가 증가하고 있고, 유리 성형 기술의 자동화가 진보하고 있기 때문에 유리 성형 프로세스의 동아시아 이전·전개가 진행되고 있다. 최근 동아시아에서도 단순한 축대칭비구면의 성형틀은 정밀가공이 가능해져, 더욱 부가가치가 높은 광학부품을 생산해내기 위해, 복잡형상 세라믹틀의 연삭가공기술의 개발이 반드시 필요하다. 그래서 본고에서는 마이크로 복잡형상 광학부품 성형틀의 초정밀 미세가공기술의 일부를 소개하겠다.

• The Optical Journal
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• s.98
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• pp.35-37
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• 2005

2001년 개원이래 초정밀 관련 장비 구축사업 및 공동연구개발사업을 수행해온 한국광기술원 초정밀가공팀(팀장·김정호)은 초소구경 비구면 광학렌즈 등 핵심 광학부품 기술개발과 보유기술의 기업이전을 통해 최첨단 기술개발의 전략적 거점으로 발돋움 하고 있다. 특히 중소기업에선 쉽게 보유하기 힘든 고가의 최첨단 가공장비와 우수한 연구인력을 통해 국내 광학업체들이 리스크 없이 성공적으로 고부가가치 사업을 영위할 수 있도록 최대한 지원하는 것에 주안점을 두었다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2003.02a
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• pp.88-89
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• 2003

산업이 고도로 발달함에 따라 생산 부품의 소형화와 정밀도가 크게 요구되고 있다. 특히 최첨단 제품인 반도체와 광통신 부품, 그리고 광학 부품 등에 있어 이러한 추세가 두드러지게 나타나고 있다. 이에 따라 이들 부품들에 대한 제조 공정 못지 않게 초정밀 측정에 대한 관심도 꾸준히 늘고 있다. 뿐만아니라 요즘 새롭게 부각되고 있는 생명 공학 기술(Bio-Technology)과 나노기술(Nano-Technology)을 이용한 바이오센서나 칩, 그리고 타소 나노 튜브 등을 제작하거나 검사를 할 때도 초정밀 측정을 필요로 하게 된다. (중략)

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2008.11a
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• pp.737-738
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• 2008

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2007.11a
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• pp.459-460
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• 2007

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2007.11a
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• pp.179-180
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• 2007

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.17 no.12
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• pp.16-19
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• 2000