• Title/Summary/Keyword: 초음파 주사 현미경

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Reliability Evaluation of Semiconductor using Ultrasound (초음파를 이용한 반도체의 신뢰성 평가)

  • Jang, Hyo-Seong;Ha, Job;Jhang, Kyung-Young
    • Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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    • v.21 no.6
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    • pp.598-606
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    • 2001
  • Recently, semiconductor packages trend to be thinner, which makes difficult to detect defects therein. A preconditioning test is generally performed to evaluate the reliability of semiconductor packages. The test procedure includes two scanning acoustic microscope (SAM) tests at the beginning and end of the entire test, in order to help detect physical defects such as delaminations and package cracks. In particular, of primary concern are package cracks and delaminations caused by moisture absorbed under ambient conditions. This paper discusses the failure mechanism associated with the moisture absorbed and encapsulated in semiconductors, and the use SAM to detect failures such as tracks and delaminations grown during the preconditioning test.

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Separation of Superimposed Pulse-Echo Signal for Improvement of Resolution of Scanning Acoustic Microscope -Deconvolution Technique Combined with Wavelet Transform- (초음파 주사 현미경의 분해능 향상을 위한 중첩된 펄스에코 신호의 분리 기법(디컨볼루션과 웨이브렛 변환의 혼합기법))

  • 장경영;장효성;박병일
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.17 no.7
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    • pp.217-225
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    • 2000
  • Scanning Acoustic Microscope (SAM) is used as an important nondestructive test tool in semiconductor reliability evaluation and failure analysis. However, inspections of chip attach adhesive interface fer thin chip has proven difficulty as the reflected signals from the chip top and bottom are superimposed. In this paper, in order to overcome this difficulty, a new signal processing method based on the deconvolution technique combined with the wavelet transform is proposed. The wavelet transform complements a disability of deconvolution technique of which performance largely decreases when the waveform of target signal is not identical to that of reference signal. Performances of the proposed method are demonstrated by through computer simulations using model signal and experiments for the fabricated semiconductor samples, and satisfactory results are obtained.

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반응사출성형시 초음파 발포의 응용에 관한 연구

  • 조우종;박혁;윤재륜
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 1992.04a
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    • pp.94-98
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    • 1992
  • 낮은 점도를 갖는 단위체(monomer)나 반응성이 있는 올리고머(oligomer)를 이용한 생산속도가빠른 반응사출성형(reaction injection molding)은 일반적인 열가소성 고분자 재료의 사출성형(thermoplastic modding)에 비하여 기계 설비비용을 상당 히 감소시킬 수 있는 장점을 갖으며, 매우 크고 복잡한 형태의 제품을 가공하기가 용이하고, 특히짧은 가공주기(cycle time) 에 부합하는 금형 내에서의 빠른 종합반응이 특징이다. 본 연구는 반응사출성형용 폴리우레탄을 이용한 미세포 포옴의 가공 시 초음파 가진의 영향에대한 이론적 해석과 반응사출 성형을 모사할 수 있는 실험장치에의해 가공되어지는 시편의 파단면을 전자주사현미경에 의해 관찰함으로써 기포의 크기를 조절할 수 있는 가능성에 대한 고찰이 목적이다.

A Study on Ultrasonic Vibration Cutting of Carbon Fiber Reinforced Plastics (탄소섬유강화 플라스틱의 초음파 진동절삭에 관한 연구)

  • 김정두;이은상;최인휴
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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    • v.18 no.1
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    • pp.24-33
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    • 1994
  • The main applications of CFRP are sports, aerospace and general industrial uses including automobiles. As this application fields expands the opportunity of machining, but CFRP is difficult to cut because of delamination of the composites and the short tool life. In this paper, the machinability of multidirectional CFRP by means of ultrasonic vibration cutting, which has been verified experimentally investigated.The experimentally to be highly effective in view of cutting force and surface quality.

Characteristics of Welds of Pure Titanium Plate Using Ultrasonic Attenuation (초음파 감쇠를 이용한 순 티타늄 판재의 용접부 특성)

  • Seon, Sang-Won;Yi, Won;Park, Hee-Dong;Hwang, Yeong-Tak
    • Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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    • v.33 no.2
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    • pp.205-211
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    • 2013
  • This paper studies on mechanical properties, fractures, and ultrasonic characteristics of Pure Titanium welds using ultrasonic attenuation. Ti specimen was made by using AR purge gas. When the titanium weld specimen is fractured, Tensile tests were conducted in order to observe the ultrasonic signal changes. A scanning electron microscope(SEM) was used to observe changes in failure surface and an ultrasonic normal probe with the central frequency of 4 MHz was used to obtain ultrasonic signals. As a result, the value of the mechanical properties in the weld zone was lower than that in the base zone and heat affected zone(HAZ) from Ti. Also the grain size in the weld zone was bigger than that in the weld zone and HAZ from Ti. Ultrasonic signals using a RMS method presents correlation between envelope area and the tensile strength. Consequently, the ultrasonic method could be potential tool for integrity evaluation of the Ti weld zone.

CLEANLINESS AND WALL MOPHOLOGY OF ULTRASONIC ROOT-END RETROGRADE CAVITY (초음파로 형성된 치근단 역충전와동의 정화도 및 와벽형태)

  • Kim, Sung-Kyo;Lee, Jae-Whan;Baek, Seung-Moo
    • Restorative Dentistry and Endodontics
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    • v.22 no.2
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    • pp.536-545
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    • 1997
  • The purposes of this study were to evaluate the degree of cavity cleanliness and to observe cavity wall morphology when root-end retrograde cavity preparation was done with ultrasonics. Root resections were done on 20 extracted human maxillary central incisors after canal filling with gutta-percha, and retrocavities were prepared using a slow-speed round bur as a control, and stainless steel ultrasonic tips of power settings of 2 and 6 ($Miniendo^{TM}$, EIE, SA, USA) as experimentals. The degree of the remaining cavity debris and smear layer, and wall morphology were evaluated under the scanning electron microscope. The results were as follows : Cavity prepared with ultrasonics of either power setting showed significantly less smear layer than did slow-speed preparations (p<0.01). However, there was no significant difference in canal debris (p<0.05). Cavity prepared with ultrasonics showed hatcheted appearance of wall, while slow-speed preparation showed relatively plain one.

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태양전지용 단결정 실리콘 웨이퍼의 기계적 강도 및 결함 분포

  • Sin, Bong-Geol;Hyeon, Chang-Yong;Lee, Jun-Seong;Park, Seong-Eun;Kim, Dong-Hwan;Byeon, Jae-Won
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2009.06a
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    • pp.450-450
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    • 2009
  • 최근 전세계적으로 태양전지의 대량보급에 따라 실리콘 원료의 공급에 차질이 생겨 원자재 값이 상승하는 추세에 있다. 결정질 실리콘 태양전지의 제조비용중 실리콘 재료 및 웨이퍼가 차지하는 비율은 약 50~60%정도로 높기 때문에 실리콘 웨이퍼의 두께를 감소시키는 것이 비용절감을 위한 효과적인 방법으로 기대되고 있다. 그러나 실리콘 웨이퍼의 두께가 앓아질수록 제조공정중 균열이나 파손이 발생할 가능성이 높아지기 때문에 이에 따른 실리콘 웨이퍼의 기계적 물성에 대한 연구가 필수적이라 할 수 있다. 본 연구에서는 현재 상용으로 사용되고 있는 크기가 5 인치인 $200{\mu}m$ 두께의 실리콘웨이퍼 (As-saw)를 약 80여개의 시편으로 절단한 후 각각의 파단강도를 부위별로 측정하였다. 또한 표면절단결함을 제거하는 saw damage etching(SDE) 시간을 제어하여 두께가 $150{\mu}m$, $130{\mu}m$인 웨이퍼를 준비하였다. 이들 시험편에 대해서도 부위별 파단강도를 측정하여 as-saw상태의 시험편과 비교하였다. 파단강도 측정은 4 접 굽힘시험을 통하여 측정하였으며 파단면은 주사전자현미경을 통하여 관찰하였다. 또한 실리콘 웨이퍼의 미세균열을 비파괴적으로 검출하기 위하여 100MHz 고주파수를 이용하는 초음파현미경(SAM, scanning acoustic microscope)을 이용하여 균열의 분포를 영상화하였다.

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유/무기 하이브리드 기술을 이용한 서방형 가공제 합성 연구(2)

  • Park, Seong-Min;Gwon, Il-Jun;Kim, Sang-Uk;Mun, Du-Hwan;Yun, Nam-Sik
    • Proceedings of the Korean Society of Dyers and Finishers Conference
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    • 2011.03a
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    • pp.99-99
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    • 2011
  • 최근 건강에 대한 관심이 높아지면서 천연 기능물질을 이용한 고기능 및 고부가가치 상품개발이 여러 산업분야에서 일반화되는 추세이다. 대표적으로 마이크로캡슐은 원하는 기능을 발휘할 수 있는 기능성 물질을 다양한 방법으로 다양한 제품에 부여함으로써, 기능성 물질을 오랜 기간 동안 외부로 방출하거나 외부의 환경으로부터 보호하는 수단으로 각광받고 있다. 이러한 마이크로캡슐은 의약분야 제초제, 멸충제, 곰팡이 방지제, 살균제로 적용되는 농약분야, 식품 분야, 화장품 분야 등의 전반에 걸쳐 응용 및 연구가 활발히 이루어지고 있다. 이에 본 연구에서는 다양한 나노 합성기술과 유/무기 하이브리드를 이용해 서방화 관련 기술을 개발하여 보습성, 항균, 노화방지, 외부 유해물질로부터의 피부보호 특성을 가진 인체 친화형 복합기능성 섬유 가공조제를 개발하여 다양한 섬유소재에 적용하고자 하며, 궁극적으로 기존 선진국 제품의 기능을 뛰어넘는 원천기술, 즉 새로운 가공제 합성과 응용성, 그 성능평가와 동시에 최적의 처리기술을 개발함으로써 섬유제품의 부가가치를 높이는 계기를 마련하고자 한다. 본 연구에서는 나노미터 직경을 갖는 침상형의 주형(hydroxyapatite)을 이용하여 중공 나노구조체를 제조 한 후 이에 천연고분자를 혼합하여 초음파처리 후 유/무기 하이브리드 기술을 이용한 서방성 가공제를 합성하였다. 중공의 나노구조체 확인은 투과전자현미경(TEM)을 이용하였으며, 주형의 나노구조체는 주사전자현미경(FE-SEM)으로 확인하였다. 이상의 결과를 통해 본 연구에서 제안한 방법이 나노구조체의 새로운 합성방법으로써 가능성을 확인할 수 있었다.

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Measurement of Mechanical Property and Thermal Expansion Coefficient of Carbon-Nanotube-Reinforced Epoxy Composites (탄소나노튜브로 강화된 에폭시 복합재료의 기계적 물성과 열팽창 계수 측정)

  • Ku, Min Ye;Kim, Jung Hyun;Kang, Hee Yong;Lee, Gyo Woo
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.37 no.5
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    • pp.657-664
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    • 2013
  • By using shear mixing and ultrasonication, we fabricated specimens of well-dispersed multi-walled carbon nanotube composites. To confirm the proper dispersion of the filler, we used scanning electron microscopy images for quantitative evaluation and a tensile test for qualitative assessment. Furthermore, the coefficients of thermal expansion of several specimens having different filler contents were calculated from the measured thermal strains and temperatures of the specimens. Based on the microscopy images of the well-dispersed fillers and the small deviations in the measurements of the tensile strength and stiffness, we confirmed the proper dispersion of nanotubes in the epoxy. As the filler contents were increased, the values of tensile strength increased from 58.33 to 68.81 MPa, and those of stiffness increased from 2.93 to 3.27 GPa. At the same time, the coefficients of thermal expansion decreased. This implies better thermal stability of the specimen.

Effect of Fluorination and Ultrasonic Washing Treatment on Surface Characteristic of Poly(ethylene terephthalate) (불소화 및 초음파 수세가 폴리(에틸렌 테레프탈레이트) 필름의 표면 특성에 미치는 영향)

  • Kim, Do Young;In, Se Jin;Lee, Young-Seak
    • Polymer(Korea)
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    • v.37 no.3
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    • pp.316-322
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    • 2013
  • In this study, poly(ethylene terephthalate) (PET) was treated with fluorination and ultrasonic washing treatment for hydrophilic modification of PET film. We measured the change of surface modified PET film surface characteristics using contact angle, surface free energy, FE-SEM, AFM and XPS. After direct fluorination and ultrasonic washing treatment, the water contact angle was measured to be $10.81^{\circ}$, 85% reduction compared to the untreated PET film. Total surface free energy has been measured to be $42.25mNm^{-1}$, 650% increase compared to the untreated PET film. Also RMS roughness has been measured to be 1.965 nm, 348% increase compared to the untreated PET film. Hydrophilic functional group C-OH bond concentration has increased approximately 3 times. These results are attributed to the hydrophilic functional group and cavitation due to chemical etching. From this result, it was suggested that the fluorination-ultrasonic washing treatment method could be useful to make PET film surface hydrophilic.