• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.08a
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• pp.136-136
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• 2012

기체부하가 작은 초고진공 시스템은 보통 60~360 l/s 정도의 배기속도를 가지는 이온펌프를 사용하고 있으며 $10^{-10}$ mbar대의 진공도를, 때에 따라서는 $10^{-11}$ mabr대의 도달진공도를 얻을 수 있다. 이온펌프의 단점 중 하나는 그 부피와 무게가 상당하다는 데 있고 따라서 사용자의 불편을 초래한다. 본 논문에서는 부피, 무게를 줄이면서도 동일한 진공성능을 구현하기 위한 노력을 보고하고자 한다. 아주 작은 크기의 이온펌프(10 l/s)와 소형 게터펌프를 조합하여 초고진공용 조합펌프를 구성하였고 그 진공특성을 조사하였다. 그 결과 작은 펌프의 조합으로도 $10^{-11}$ mabr대의 진공도를 비교적 손쉽게 얻을 수 있었으며 $10^{-10}$ mbar의 진공도는 재빨리 얻을 수 있었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1994.02a
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• pp.38-39
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• 1994

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1993.07a
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• pp.38-38
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• 1993

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2003.08a
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• pp.133-133
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• 2003

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2006.08a
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• pp.78-78
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• 2006

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.92-92
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• 2011

지식경제부의 청정제조기반 산업원천개발사업의 일환으로 진행 중인 "초고진공펌프 개발" 과제 중 제 3 세부 과제인 "고진공펌프종합특성평가시스템 설계, 진단기술 개발" 과제에서 추진된 연구결과를 소개한다. 국내 초고진공펌프 개발 수준의 선진화를 위한 기본적인 초석 확립은 현존하는 모든 진공 발생 장치의 국제적 신뢰성이 있는 완벽한 성능평가의 구현에 있다고 할 수 있다. 크라이오펌프 및 복합분자펌프의 최종 상용화 단계에 진입하기 위한 목적으로 핵심부품의 진공, 기계적 특성평가, 운전상태 및 진공특성평가, 신뢰성 확보/공정대응성 평가를 위한 관련 기술 및 장치가 개발되었으며, 시작품 단계의 기 개발품을 평가 진단하는 사업 추진단계에 진입하고 있다. 현재 구축되고 있는 저진공/고진공펌프의 성능평가장치의 개요를 소개하면서 향후 크라이오 펌프 및 터보분자펌프의 개발 및 상용화 단계에서 필요한 국제적 규격 및 내부적 가이드라인을 기 수행되고 있는 측정 데이터베이스에 근거하여 제시하고자 한다. 또한 향후 2년간의 최종 상용화에 필요한 국제 신뢰성, 공정대응성 확보 등 핵심사업 추진내용 및 infra 구축의 상세설계 로드맵 초안을 고찰하고자 한다.

• The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.14 no.5
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• pp.536-541
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• 2003

In order to avoid oxygen contamination on the diamond surface as far as possible during the device process, the A1/Ca $F_2$/diamond MISFET(metal-insulator-semiconductor field-effect transistor) was prepared by ultrahigh vacuum process and its electrical properties were investigated. The surface conductive layer of fluorinated diamond surface was employed for the conducting channel of the MISFET. The observed effective mobility(${\mu}$e$\_$ff/) of the MISFET was 300 c $m^2$/Vs, which is the highest value obtained until now in the diamond FET. Besides, the measured surface state density of the device was ∼10$\^$11//c $m^2$ eV, which is comparable with conventional Si MOSFET$\_$s/(metal-oxide-semiconductor field-effect-transistors). This work is the first report of the fluorinated diamond MISFET prepared by ultrahigh vacuum process and its application to inverter circuit.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.3 no.4
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• pp.401-404
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• 1994

초고 진공영역에서 배기특성 개선을 위하여 재질 및 구조가 다른 세가지 형태의 60(l/s) 형이온 펌프를 제작하여 그 배기특성을 측정하였다. 그 결과 음극판에 Ta 선을 전기용접한 펌프와 양극 cell의 구조에 변화를 준 펌프의 배기속도가 상용으로 이용되고 있는 펌프에 비해 약 50% 이상 개선되었다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.2 no.3
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• pp.275-281
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• 1993

본 논문은 포항가속기에서 건설 중인 진공 chamger의 용접에 관한 것이다. 저장링에 전자빔을 5시간 이상 저장하기 위하여 10-10torr 이하로 진공도를 유지하도록 설계되어 있기 때문에 초고진공에 적합한 TIG 용접(tungsten inert gas welding)을 하였다. 진공 chamber는 Al 5083-H321이며 flange의 재질은 Al 2219-T852이다. Sector chamber I, II의 총 용접 길이는 각각 27m, 37m이며 진공에 유해한 균열과 virtual leak가 생기지 않도록 하는 용접조건 등을 선정하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.154.2-154.2
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• 2014

작은 동전 모양의 게터를 사용하여 간단한 초고진공용 펌프를 제작하여 그 특성을 알아보았다. 이 게터는 대기 측에서 진공용기를 가열하여 금속 열전도를 통하여 활성화되도록 하였으며 상용 게터펌프(또는 이온펌프와의 조합)와도 그 진공성능을 비교하여 보았다. $350^{\circ}C$에서 24시간 활성화 한 후 수소의 배기속도는 약 200 l/s였으며 CO의 배기속도는 매우 낮았다. 그러나 최고 도달진공도는 ~2E-11 mbar로 상용 조합펌프와 견줄 만하였다. 이 실험 결과로부터 간접가열방식으로 적용 가능한 최대 활성화 온도에서 네그펌프가 안전히 활성화 되지 않음을 알 수 있었다. 그러나 네그펌프의 자체 기체방출이 매우 작아서 수소를 주로 배기하는 초고진공, 극고진공에서는 응용 가능할 것으로 보인다.