• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.21 no.6
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• pp.287-294
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• 2012

In the high vacuum condition of the space, outgassing from any assembly of satellite can contaminate satellites, especially second surface mirror and optical lens, it cause satellite to fail in own missions. Therefore, all unit shall be check for compatibility with vacuum using CVCM (Collected Volatile Condensable Material) and TML (Total Mass Loss) in advance. CVCM and TML of the PZT-5 piezoelectric ceramic vibrator has less than 0.1% and 1.0% respectively. Also, it has less than 500 $ng/cm^2/hr$ of Thermoelectric Quartz Crystal Microbalance for vacuum bake-out test using high temperature(more than $80^{\circ}C$) and high vacuum (less than $5.0{\times}10^{-3}$ Pa). Thus, piezoelectric ceramic vibrator may be employed in the vacuum environments. Finally, it can be confirmed that the characteristics change of the piezoelectric ceramic vibrator is less than 1% under vacuum environments.

• Journal of Korean Society of Steel Construction
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• v.12 no.4 s.47
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• pp.387-395
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• 2000

The purpose of this research is to evaluate the capacity of strength and plastic deformation of those members, and provide experimental data on the seismic behavior of these members as a basis for developing guidelines for designing seismically resistant concrete-filled steel tubular columns. Eighteen cantilever-type specimens were tested under constant axial load and cyclically lateral load as models of bottom columns in high-rise building. The parameters studied in the test program included, are width-thickness ratio of steel tube, slenderness ratio (Lo/D) and axial force ratio. From the test results, the effects of parameters on the strength, the deformation capacity, energy absorption capacity are discussed. The specimen flexural capacity under combined axial and lateral loading was found to be almost accurately predicted by criteria AIJ and AISC-LRFD providing conservative results. Therefore KSSC for encased composite column can be applied to the concrete filled column if composite section and elastic modulus are modified according to AIJ and AISC-LRFD. Finally, the proposed flexural capacity considering confinement effects is a food agreement on the tests results.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.02a
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• pp.238-239
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• 2011

최근 반도체 산업은 더 높은 성능의 회로 제작을 통해 초고집적화를 추구하고 있다. 이를 위해서 회로 설계의 최소 선폭과 소자 크기는 지속적으로 감소하고 있고 이를 위한 배선 기술들은 플라즈마 공정을 이용한 식각공정에 크게 의존하고 있다. 식각공정에 있어서 반응가스의 조성은 식각 속도와 선택도를 결정하는 중요한 요소이다. 본 연구에서는 CIS QMS (closed ion source quadrupole mass spectrometer)를 이용하여 CF4+Ar를 이용한 실리콘 산화막의 플라즈마 식각 공정 시 생성되는 라디칼과 이온 종들을 측정하였다. Ar 이온이 기판표면과 충돌하여 기판물질간의 결합을 깨놓으면, 반응성 기체 및 라디칼과의 반응성이 커져서 식각 속도를 향상 시키게 된다. 본 실험에서는 2 MHz의 RPS (remote plasma source)를 이용하여 플라즈마를 발생시키고 13.56 MHz의 rf 전력을 기판에 인가하여 식각할 웨이퍼에 바이어스 전압을 유도하였다. CF4/(CF4+Ar)의 가스 혼합비가 커질수록 식각 부산물인 SiF3의 양은 증가 하였으며, CF4 혼합비가 0일 때(Ar 100%) 비하여 1일 때(CF4 100%) SiF3의 QMS 이온 전류는 106배 증가하였다. 이때의 Si와 결합하여 SiF3를 형성하는 F라디칼의 소모는 0.5배로 감소하였다. 또한 RPS power가 800 W일 때 플라즈마에 의해서 CF4는 CF3, CF2, CF로 해리 되며 SiO2 식각 시 라디칼의 직접적인 식각과 Si_F2의 흡착에 관여되는 F라디칼의 양은 CF3 대비 7%로 검출되었고, 식각 부산물인 SiF3는 13%로 측정되었다. Ar의 혼합비를 0 %에서 100%까지 증가시켜 가면서 측정한 결과 F/CF3는 $1.0{\times}105$에서 $2.8{\times}102$로 변화하였다. SiF3/CF3는 1.8에서 6.3으로 증가하여 Ar을 25% 이상 혼합하는 것은 이온 충돌 효과에 의한 식각 속도의 증진 기대와는 반대로 작용하는 것으로 판단된다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.88-88
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• 2011

복합분자펌프는 기존의 터보분자펌프 turbine blade에 spiral grooved를 추가하여 초고진공(10-8 Pa)에서 저진공(330Pa)까지 넓은 압력범위에서 사용할 수 있고 이 펌프를 사용함으로서 완전 oil free한 진공시스템을 만들 수 있는 특징을 가지고 있다. 특히, 회전체를 비접촉으로 지지하는 자기베어링 방식을 적용함으로써, 진동은 극히 작고 베어링수명은 길면서 중저진공에 대한 배기속도가 크고 임의의 방향으로 접속이 가능하여 반도체 및 디스플레이 제조 공정과 같은 첨단산업의 다양한 분야에 쉽게 적용되고 있으며, 그 적용 분야와 시장은 계속 성장하고 있다. 고 진공과 배기 속도의 달성을 위해서, 고속으로 이동하는 격면과 기체분자를 충돌시켜, 기체 분자를 원하는 방향으로 유도하는 작동원리를 가지고 있다. 특히 공기분자의 밀도가 매우 낮은 희박가스 상태에서 고속 회전하는 blade로 공기분자를 쳐 내면서 작동됨으로써 날개의 상하 압력차에 의한 공기력보다도 날개의 고속회전이 매우 중요시 되고 압력으로는 10-1 Pa 이하의 분자영역에서 그 성능을 최고로 발휘 할 수 있다. 이러한 복합 펌프의 주요 장점은 다음과 같다. 1. 10-8 Pa (10-10torr)~10 Pa (1 torr) 까지 넓은 영역에서 배기가 가능하다. 2. 탄화수계의 대하여 높은 압축특성을 가지고 있고, 윤활유를 사용하지 않으므로 얻을 수 있는 진공상태가 고청정하다(oil free). 3. 정밀 5축제어 자기베어링으로 완전히 부상하여 회전함으로서 마모가 없고 진동이 최소화하였을 뿐만 아니라, 또한 운전음도 거의 없다. 4. 설치조건에 제한이 없고 고장이 거의 없다. 본 논문에서는 이러한 복합분자펌프의 개발을 위하여, 상기 연구기관에서 수행된 내용을 소개하고 있으며, 펌프 시스템의 기본 설계 및 자기베어링 시스템의 설계 결과 및 수치해석 결과를 나타내었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.199-199
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• 2012

최근 그래핀의 대면적 합성 및 롤투롤 전사 공정의 개발로 그래핀의 상용화가 가시화 되고 있다. 하지만, 그래핀의 독특한 특성인 선형적이고 밴드갭이 없는 에너지 띠 분포 때문에 반도체 소자로서의 직접적인 적용에는 한계가 있다. 이러한 문제를 해결하기 위한 돌파구로써, 그래핀 복합체의 연구와 개발이 활발히 진행되고 있으며 본 연구에서는 그래핀 복합 적층 구조를 다룬다. 이는 디스플레이, 초고속 반도체 소자, 고성능 광전자소자 및 초고감도 센서 등 다양한 분야에 대한 그래핀의 실용화 가능성이 높아진 것을 의미한다. 특히, 높은 가시광 투과도와 낮은 면저항으로 기존 투명 전극에 대표적으로 사용되고 있는 ITO (Indium Tin Oxide)를 그래핀으로 대체하는 것에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 하지만 그래핀이 높은 전자이동도를 가지는 것에 비하여 비저항과 투과도 측면에 있어서는 ITO의 성능을 뛰어넘지 못하는 실정이다. 따라서 본 연구에서는 ITO가 가지는 취약점인 기판과의 약한 접착력, 높은 취성, 기판과의 열팽창률 차이 등의 공정상 문제점을 극복하고자 하였다. 그래핀 복합 적층 필름은 플라스틱 기판 (PET) 위에 열 화학기상증착법(Chemical Vapor Deposition, CVD)을 이용하여 합성한 그래핀을 전사하고, ITO 용액을 도포한 다음 다시 그래핀을 씌워 제작하여 샌드위치 구조(sandwich structure)를 형성하였다. 완성된 필름은 광학적, 전기적 특성 분석을 수행하였다. 광학적 분석으로는 라만 분광을 이용한 그래핀 품질평가와 파장대에 따른 광 투과도, 그리고 반사도 측정을 하였으며, 전기적 특성은 면저항을 측정함으로써 분석한다. 결함이 적고, 대면적에 걸쳐 한 층을 이루어야 하는 고품질 그래핀의 요구사항에 따라 라만 분광의 G, 2D, D 띠를 분석하였다. G와 2D 띠의 비율을 통해 그래핀의 층 수를, D 띠의 강도를 통해 결함의 유무를 판단하였다. 또한, 가시광 영역에서 90% 이상의 광 투과도를 보여야 하는 투명 소자의 요구사항 달성 정도를 UV-VIS를 이용하여 확인하였다. 마지막으로, 제작한 필름의 면저항 또한 4-프로브 멀티미터를 이용하여 측정하고, 일반적인 터치스크린의 면저항인 $500{\Omega}/sq$를 만족하는지 평가하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2012.02a
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• pp.400-400
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• 2012

산화물 반도체는 넓은 에너지갭을 가지고 높은 이동성과 높은 투명성을 가지기 때문에 초고 속 박막 트랜지스터(Thin film transistor; TFT)에 많이 응용되고 있다. 그러나 ZnO 및 $In_2O_3$ 산화물 반도체를 박막트랜지스터에 사용할 경우 소자가 불안정하여 전기적 성질이 저하되고 문턱전압의 이동이 일어난다. TFT에 사용되는 산화물 반도체로는 GaInZnO, ZrInZnO, HfInZnO 및 GaSnZnO의 전기적 특성에 관한 연구가 많이 되었다. 그러나 titanium-indium-zinc-oxide (TIZO) TFT에 대한 연구는 비교적 적게 수행 되었다. 본 연구에서는 TFTs의 안정성을 향상하기 위하여 TFT의 채널로 사용되는 TiInZnO를 형성하는데 간단한 제조 공정과 낮은 비용의 용액 증착방법을 사용하였다. 졸-겔 전해액은 Titanium (IV) isopropoxide $[Ti(OCH(CH_3)_2)_4]$, 0.1 M Zinc acetate dihydrate $[Zn(CH_3COO)_2{\cdot}2H_2O]$ 그리고 indium nitrate hydrate $[In(NO_3)_3{\cdot}xH_2O]$을 2-methoxyethanol의 용액에 합성하였다. $70^{\circ}C$에서 한 시간 동안 혼합 하였다. Ti의 몰 비율은 10%, 20% 및 40% 로 각각 달리하여 제작하였다. $SiO_2$층 위에 2,500 rpm 속도로 25초 동안 스핀 코팅하여 TFT를 제작하였다. TIZO 박막에 대한 X-선 광전자 스펙트럼 관측 결과는 Ti 몰 비율이 증가함에 따라 Ti 2p1/2피크의 세기가 증가함을 보여주었다. TiZO 박막에 Ti 원자를 첨가하면 $O^{2-}$ 이온이 감소하기 때문에 전하의 농도가 변화하였다. 전하 농도의 변화는 TiZO 채널을 사용하여 제작한 TFT의 문턱전압을 양 방향으로 이동 하였으며 off-전류를 감소하였다. TiZO 채널을 사용하여 제작한 TFT의 드레인 전류-게이트 전압 특성은 on/off비율이 $0.21{\times}107$ 만큼 크며 이것은 TFT 소자로서 우수한 성능을 보여주고 있다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.13 no.5
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• pp.2319-2324
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• 2012

In this paper, the design of asymmetric branch line couplers using artificial dielectric substrate (ADS) is described. The effective permittivity and permeability increase in ADS because of the lots of the inserted via-holes. So the physical length and width of transmission lines realized on ADS are reduced compared to the standard lines. This enables one to design size-reduced microwave circuits. As an instance in this work, an asymmetric branch line coupler with the ratio of 3:1 is designed at 2GHz. The designed coupler has a small size of 53.4% compared to the normal circuit while the same performances are preserved. A good agreement between the simulated and measured asymmetric power dividing ratio is shown. The measured loss is only less than 0.2dB, which is a very small value.

• Journal of Broadcast Engineering
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• v.15 no.4
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• pp.527-539
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• 2010

Most video coding systems use YCbCr color space for their inputs, but RGB space is more preferred in the field of high fidelity video because the compression gain from YCbCr becomes disappeared in the high quality operation region. In order to improve the coding performance of RGB video signal, this paper presents an adaptive frequency-selective weighted prediction algorithm. Based on the sign agreement and the strength of frequency-domain correlation of residual color planes, the proposed scheme adaptively selects the frequency elements as well as the corresponding prediction weights for better utilization of inter-plane correlation of RGB signal. Experimental results showed that the proposed algorithm improves the coding gain of around 13% bitrate reduction, on average, compared to the common mode of 4:4:4 video coding in the state-of-the-art video compression standard, H.264/AVC.

• Journal of Broadcast Engineering
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• v.18 no.6
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• pp.816-822
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• 2013

The latest video coding standard HEVC was developed by the joint work of JCT-VC(Joint Collaborative Team on Video Coding) from ITU-T VCEG and ISO/IEC MPEG. The HEVC standard reduces the BD-Bitrate of about 50% compared with the H.264/AVC standard. However, using the various methods for obtaining the coding gains has increased complexity problems. The proposed method reduces the complexity of HEVC by using both CPU parallel processing and GPU-accelerated processing. The experiment result for UHD($3840{\times}2144$) video sequences achieves 15fps encoding/decoding performance by applying the proposed method. Sooner or later, we expect that the H/W speedup of data transfer rates between CPU and GPU will result in reducing the encoding/decoding times much more.

• The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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• v.27 no.4C
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• pp.371-379
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• 2002

In this paper, the MMIC SPST switches operating from DC to 3GHz were designed and implemented. Prior to the design of switches, the small and large-signal switch models were needed to predict switch performance accurately. The newly proposed small-signal switch model parameters were extracted from measured S-parameters using optimization technique with estimated initial values and boundary limits. In the extraction of large-signal switch model parameters, the current source was modeled by fitting empirical equations to measured DC data and the charge model was derived from extracted channel capacitances from measured S-parameters varying the drain-source voltage. To design basic series-shunt SPST switches and isolation-improved SPST switches, we applied this model to commercial microwave circuit simulator. The improved SPST switches exhibited 0.302dB insertion loss, 35.762dB isolation, 1.249 input VSWR, 1.254 output VSWR, and about 15.7dBm PldB with 0/-3V control voltages at 3GHz.