• Title/Summary/Keyword: 차세대관리공정

Search Result 44, Processing Time 0.028 seconds

Development of Real-Time Fault Monitoring and Detection System for Next Generation Fab (차세대 반도체 공정을 위한 실시간 수율관리 시스템 아키텍처 구축에 대한 연구)

  • Park, You-Jin;Park, Young-Soo;Hur, Sun;Lee, Hyun
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
    • /
    • 2010.11b
    • /
    • pp.555-558
    • /
    • 2010
  • 차세대 반도체 산업은 제조공정의 미세화, 복잡화, 다단계화 등이 심화되고 이로 인해 제조원가의 절감을 위한 단위 Wafer당 보다 많은 칩을 생산할 수 있는 450mm 웨이퍼의 도입을 반드시 필요로 한다. 본 논문에서는 클러스터 툴을 주로 사용하는 450mm 웨이퍼 수율관리 개선 시스템의 구현방향과 상세 기능과 각 모듈에 대한 연구를 수행하였으며, 450mm 웨이퍼 생산체제 하에서 필요한 수율관리시스템인 RTFMD 시스템을 제안 하였다.

  • PDF

사용후핵연료 차세대 관리공정 요소기술 검증시험(I)

  • 신영준;조수행;유길성;김익수;신희성;이주찬;김승수;김창규;도재범
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
    • /
    • 1998.05b
    • /
    • pp.497-502
    • /
    • 1998
  • 후행핵연료주기 정책 미결정국형 사용후핵연료 관리기술 개발을 위하여 자원으로서 가치가 있는 PWR 사용후핵연료를 대상으로 새로운 관리개념을 설정하였으며 본 개념을 뒷받침하는 요소기술들에 대한 비방사성 검증시험을 수행하였다. 본 논문에서는 이와 관련한 사용후핵연료 차세대관리 공정개념을 소개하고 모의 PWR 사용후핵연료의 금속전환 시험결과와 금속전환체의 관리상에 필수적으로 검토되어야할 핵임계안전성과 열안전성에 대한 예비해석 결과를 소개코자 한다.

  • PDF

The Development of Next Generation Smart PMIS System (차세대 스마트형 PMIS 시스템 개발)

  • Park, Kyung-Mo;Im, Chul-Woo;Kim, Chang-Duk;Jeong, Hyung-Seok
    • Korean Journal of Construction Engineering and Management
    • /
    • v.14 no.2
    • /
    • pp.117-130
    • /
    • 2013
  • It is a difficult thing to administer a various task in the construction site because, the person placing an order are eagerly demanding for the reduction of project duration as the trend of construction are becoming larger and international. The advanced country have made an effort to development PMIS based on the Web, which to exchanges a various construction information such as Time Management/Construction Management/Resource Management/Document Management to solve these problems since 2000. However, the expectation to develop a smart PMIS that can deal with a more quick change of a various process are becoming lager as the lively supply of IT equipment such as smart phone and table PC. The research are aim to develop the next generation smart PMIS, which is link with the table PC and smart phone for a site manager to use the system based on the web in the movement. Also, it has an object in view to introduce the development process and the major function of the next generation PMIS.