• 제목/요약/키워드: 차단막

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$Cl_2/Ar$ 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 $N_2$ 가스 첨가 효과 (The Effect Of Additive $N_2$ Gas In Pt Film Etching Using Inductively Coupled $Cl_2/Ar$ Plasmas)

  • 류재흥;김남훈;장의구;김창일
    • 대한전자공학회논문지SD
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    • 제37권7호
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    • pp.1-6
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    • 2000
  • 본 연구에서는 Pt 박막을 식각하기 이하여 기존에 최적화된 가스 혼합비인 $Cl_2$(10)Ar (90)에 $N_2$ 가스를 첨가하기 실험하였다. $Cl_2$(10)/Ar(90)의 가스 혼합비에 20% $N_2$가스 첨가시, $SiO_2$ 마스크에 대한 Pt 박막의 선택비 향상으로 70$^{\circ}$ 이상의 식각 프로파일을 얻을 수 있었다. 이는 $SiO_2$ 마스크 위에 Si-N, Si-O-N과 같은 차단막 생성을 통한 결과로 확인 되어졌다. $SiO_2$ 마스크에 대한 Pt 박막의 최대 선택비와 식각률은 각각 1.71과 4125 ${\AA}$/min 이다. 이는 Pt-N, Pt-N-Cl과 같은 휘발성 화합물의 생성을 통한 결과로 판단된다.

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농업용 폐비닐 열분해 파생물질의 조성분석과 유해성 평가

  • 신혜순;강주연;김미경;정기화;심성훈
    • 한국환경독성학회:학술대회논문집
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    • 한국환경독성학회 2003년도 추계국제학술대회
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    • pp.151-151
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    • 2003
  • 토양에 방치된 농업용 폐비닐은 거의 분해가 되지 않으며, 수분과 공기의 유통을 차단하고 토양 내 미생물들의 흐름을 막아 토양을 더욱 황폐화시키게 된다. 불법적인 소각 때는 산불의 위험에다 다이옥신, 염소 및 염화수소가스 등을 배출해 대기오염을 유발시킨다. 폐비닐을 열분해과정으로 처리하여 아주 작은 입자로 미분쇄하고 겔상태로 용융된 원료물질속으로 완전히 균일하게 혼합하여 골재로 활용하는 과정에서 가스상과 액상의 여러 가지 중간생성물질이 발생하게 되며, 농약의 살포에 의한 잔류농약 둥 인체에 유해가능한 요소들이 있을 수 있다. 본 연구에서는 개발공정이나 제품에서 인체에 영향을 미칠 수 있는 물질에 대하여 유해성을 평가하고 용응 겔 및 가스와 오일에 함유된 화학성분을 분석하였기에 보고하고자 한다 시험동물의 혈액생화학적 검사에서는 농업용 폐비닐물질 및 열분해 파생물질의 혈청 Cholesterol, 혈청 Alanine aminotranseferse와 Aspartate aminotransferse, Albumin 수치, LDH, Glucose, Uric acid, A/C 비 등의 생화학적 활성도를 측정한 결과들에서는 농업용 폐비닐물질을 투여한 시험군에서 나타난 결과와 비교하여 열분해 파생물질을 투여한 시험군에서 나타난 결과가 감소된 통계결과를 보였다. 이 결과들은 농업용 폐비닐물질을 투여한 시험군보다 열분해 파생물질을 투여한 시험군의 외부독성물질 투여에 의한 생체독성의 영향과 생체에 가해진 스트레스강도가 작았음을 의미하는 것이다. 잔류농약분석에서는 시료로부터 농약을 추출하는 용매추출과정, 시료추출물 중 공존하는 방해성분을 제거하는 정제과정, 폐비닐물질 및 열분해 파생물질 성분을 100mg/kg 이상군의 투여 후 시험동물의 부검시 모든 투여군에서 독성소견이 인정되지 않았다. 이와 같은 결과로 열분해 및 연소과정에서 발생하는 파생물질의 분석결과를 응용하여 대기오염을 방지하고 인체 유해물질을 차단하는 공해 방지 설계의 기초자료를 제안하고자 한다.

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SYN Flood DoS 공격을 차단하기 위한 확장 TCP (The Extended TCP for Preventing from SYN Flood DoS Attacks)

  • 박진원;김명균
    • 한국정보과학회논문지:시스템및이론
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    • 제32권10호
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    • pp.491-498
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    • 2005
  • 서비스 거부 공격이란 서비스를 제공하는데 있어 필요한 컴퓨팅 및 통신 자원을 고갈시키는 공격으로 원천적으로 해결하기가 매우 힘든 것으로 알려져 있다. TCP는 연결 설정 과정에 있어 서비스 거부 공격을 당할 수 있는 문제점을 가지고 있다. TCP는 연결 설정이 완료될 때까지 각 연결 설정 단계의 상태를 큐에 저장하고 있다가 연결 설정이 완료되면 연결된 소켓을 어플리케이션으로 전달한다. 공격자는 수많은 연결 요청을 보내고 이 요청에 대한 연결 과정을 완료하지 않음으로 해서 이 큐를 가득 차게 해 다른 정상적인 연결 요청을 받아들일 수 없도록 할 수 있다. 본 논문에서는 이러한 서비스 거부 공격을 차단하기 위한 확장 TCP를 제안하고 이를 리눅스 상에서 구현하였다. 제안한 확장 TCP는 연결 설정이 종료될 때까지는 연결 설정 과정에 대한 상태를 큐에 유지하지 않도록 함으로써 서비스 거부 공격을 막을 수 있도록 하였다. 제안된 확장 TCP를 위해 TCP의 3-way handshake 과정을 일부 수정하고 이를 리눅스 커널에 구현하였으며 그 성능을 실험해 본 결과 정상적인 서비스 환경에서는 수정전의 TCP의 연결 처리 속도에 비해 $0.05\%$정도의 지연이 있었지만 SYN Flood 공격이 이루어지고 있는 상황에서는 아무런 영향을 받지 않았다

플렉서블 디스플레이용 저온공정을 갖는 대향 타겟식 스퍼터링 장치를 이용한 ZrO2 가스 차단막의 특성 (Properties of ZrO2 Gas Barrier Film using Facing Target Sputtering System with Low Temperature Deposition Process for Flexible Displays)

  • 김지환;조도현;손선영;김화민;김종재
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제22권5호
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    • pp.425-430
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    • 2009
  • $ZrO_2$ film was deposited by facing target sputtering (FTS) system on polyethylene naphthalate (PEN) substrate as a gas barrier layer for flexible organic light emitting devices (FOLEDs), In order to control the heat of the FTS system caused by the ion bombardment in the cathode compared with the conventional sputtering system, the process characteristics of the FTS apparatus are investigated under various sputtering conditions such as the distance between two targets ($d_{TT}$), the distance between the target and the substrate ($d_{TS}$), and the deposition time. The $ZrO_2$ film by the FTS system can reduce the damage on the films because the ion bombardment with high-energy particles like gamma-electrons, Moreover, the $ZrO_2$ film with optimized condition ($d_{TT}$=140 mm) as a function of the distance from center to edge showed a very uniform thickness below 5 % for a deposition time of 3 hours, which can improve the interface property between the anode and the plastics substrate for flexible displays, It is concluded that the $ZrO_2$ film prepared by the FTS system can be applied as a gas barrier layer or an interlayer between the anode and the plastic substrate with good properties of an uniform thickness and a low deposition-temperature.

액체로켓과 공기흡입식 추진기관을 위한 분출냉각의 연구동향 (Research Activities of Transpiration Cooling for Liquid Rocket and Air-breathing Propulsions)

  • 황기영;김유일;송인혁
    • 한국추진공학회:학술대회논문집
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    • 한국추진공학회 2010년도 제35회 추계학술대회논문집
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    • pp.235-240
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    • 2010
  • 분출냉각은 높은 압력과 온도의 가혹한 환경에서 운용되는 액체로켓과 공기흡입식 엔진을 위한 가장 효과적인 냉각방법이다. 연소기 라이너와 터빈 베인은 다공질 벽면을 통과하는 냉각재(공기 또는 연료) 뿐만 아니라 차단막으로 작용하는 공기에 의해 냉각된다. 그러나 이의 실용화는 유용한 다공질 재료의 제한에 의해 방해를 받아왔다. 벽면 내에서 내부 열전달을 증가시키는 보다 현실적인 방법을 찾는 노력을 통해 Lamilloy$^{(R)}$ 및 Transply$^{(R)}$와 같은 다층 기공 구조물을 개발하게 되었다. 본 논문은 액체로켓, 가스터빈 및 스크램제트의 추진기관 적용을 위한 분출냉각의 최근 연구동향을 고찰하였다.

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매식체 주위 열개형 골결손부에서 차단막과 골 이식술의 사용이 골 형성에 미치는 영향에 대한 임상 및 조직병리학적 연구 (Clinical and histopathological study on the effect of Nonresorbable membrane with Demineralized freeze dried bone graft for Guided Bone Regeneration in Implant Dehiscence Defects)

  • 권칠성;홍기석;임성빈;정진형;이종헌
    • Journal of Periodontal and Implant Science
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    • 제35권3호
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    • pp.687-702
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    • 2005
  • The purpose of this study is to examine the effect of non-resorbable membrane such as e-PTFE which was used with DFDB in bone regeneration on dehiscence defect in peri-implant area. Amomg the patients, who have recieved an implant surgery at the department of Periodontics in Dan Kook University Dental Hospital, 12 patients showed implant exposure due to the dehiscence defect and 15 implants of these 22 patients were the target of the treatment. Periodontists randomly applied $Gore-Tex^{(R)}$ to the patients and treated them with antibiotics for five days both preoperatively and postoperatively. Reentry period was 26 weeks on average in maxilla and 14 weeks on average in mandible. The results were as follows : 1. Dehiscence bone defect frequently appeared in premolar in mandible and anterior teeth in maxilla respectively. 2. Among 15 cases, 1 membrane exposure was observed and in this case, regenerated area was decreased. 3. In non-resorbable membrane, bone surface area $9.25{\pm}4.84$ preoperatively and significantly increased to $11.48{\pm}7.52$ postoperatively(0.05). 4. The increase of bone surface area in non-resorbable membrane was $2.23{\pm}3.38$. 5. As a result of histopathological finding, DFDB surrounded by new bone formation and lamellate bone, resorption of DFDB and bone mineralization was found. Also, fibrosis of connective tissue beneath the membrane was found. This study shows that the surgical method using DFDB and non-resorbable membrane on dehiscence defect in peri-implant area is effective in bone regeneration.

차단막 코팅에 의한 염료 태양전지의 전하전송효율 개선에 관한 연구 (Improvement of Charge Transfer Efficiency of Dye-sensitized Solar Cells by Blocking Layer Coatings)

  • 최우진;김광태;곽동주;성열문
    • 전기학회논문지
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    • 제60권2호
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    • pp.344-348
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    • 2011
  • A layer of $TiO_2$ thin film less than ~200nm in thickness, as a blocking layer, was deposited by 13.56 MHz radio frequency magnetron sputtering method directly onto the anode electrode to be isolated from the electrolyte in dye-sensitized solar cells (DSCs). This is to prevent the electrons from back-transferring from the electrode to the electrolyte ($I^-/{I_3}^-$). The presented DSCs were fabricated with working electrode of F:$SnO_2$(FTO) glass coated with blocking $TiO_2$ layer, dye-attached nanoporous $TiO_2$ layer, gel electrolyte and counter electrode of Pt-deposited FTO glass. The effects of blocking layer were studied with respect to impedance and conversion efficiency of the cells. The, electrochemical impedances of DSCs using this electrode were $R_1$: 13.9, $R_2$: 15.0, $R_3$: 10.9 and $R_h$: $82{\Omega}$. The $R_2$ impedance related by electron movement from nanoporous $TiO_2$ to TCO showed lower than that of normal DSCs. The photo-conversion efficiency of prepared DSCs was 5.97% ($V_{oc}$: 0.75V, $J_{sc}$: 10.5 mA/$cm^2$, ff: 0.75) and approximately 1% higher than general DSCs sample.

전력용 변압기 소음저감을 위한 차음판 기술에 관한 연구 (A Study on the Soundproofing Plate Techniques for Noise Reduction of Power Transformers)

  • 권동진;구교선;김정찬;김진
    • 조명전기설비학회논문지
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    • 제22권12호
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    • pp.47-55
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    • 2008
  • 전력수요의 증가와 도심지역의 확대로 주거지역에 새로운 변전소를 건설하거나, 기존 변전소에 변압기 증설이 필요하다. 그러나 변전소의 변압기 소음으로 인한 불만이 증가하고 있다. 지금까지 한전에서는 변압기의 소음전달을 차단하기 위하여 옥외 변전소의 경우에는 방진패드 설치, 다양한 방음벽 설치, 변압기 본체 밀폐 등을 시행하여 왔으며, 옥내 변전소의 경우에는 방음문, 방음서터 및 풍도형 방음장치 설치 등을 시행하여 왔다. 그러나 현재의 소음 저감대책은 만족할 정도에 이르지 못하는 실정이다. 따라서 변압기 자체의 소음발생 억제에 대한 근본적인 대책이 요구되고 있다. 본 연구에서는 변압기 외함의 보강제 사이를 강판으로 막아 변압기 외함에서 방출되는 소음을 차단하기 위한 차음판 기술을 개발하였다. 차음판을 변압기 외함에 적용하기 위하여 변압기 외함의 진동 특성과 차음판의 적용에 따른 음의 감쇄를 해석하고, 실변압기에 차음판을 적용하여 소음의 저감효과를 측정하여 약 11[dB]의 소음저감 효과를 확인하였다.

10 nm이하 비대칭 이중게이트 MOSFET의 하단 게이트 전압에 따른 터널링 전류 분석 (Analysis of Tunneling Current for Bottom Gate Voltage of Sub-10 nm Asymmetric Double Gate MOSFET)

  • 정학기
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제19권1호
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    • pp.163-168
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    • 2015
  • 본 연구에서는 10 nm이하 채널길이를 갖는 비대칭 이중게이트 MOSFET의 하단 게이트 전압에 대한 터널링 전류(tunneling current)의 변화에 대하여 분석하고자한다. 단채널 효과를 감소시키기 위하여 개발된 다중게이트 MOSFET중에 비대칭 이중게이트 MOSFET는 채널전류를 제어할 수 있는 요소가 대칭형의 경우보다 증가하는 장점을 지니고 있다. 그러나 10nm 이하 채널길이를 갖는 비대칭 이중게이트 MOSFET의 경우, 터널링 전류에 의한 차단전류의 증가는 필연적이다. 본 연구에서는 차단전류 중에 터널링 전류의 비율을 계산함으로써 단채널에서 발생하는 터널링 전류의 영향을 관찰하고자 한다. 포아송방정식을 이용하여 구한 해석학적 전위분포와 WKB(Wentzel-Kramers-Brillouin) 근사를 이용하여 터널링 전류를 구하였다. 결과적으로 10 nm이하의 채널길이를 갖는 비대칭 이중게이트 MOSFET에서는 하단 게이트 전압에 의하여 터널링 전류가 크게 변화하는 것을 알 수 있었다. 특히 채널길이, 상하단 산화막 두께 그리고 채널두께 등에 따라 매우 큰 변화를 보이고 있었다.

VFSMOD를 이용한 토사저감효율 산정: 청미천 유역에서의 적용 (Estimation of Trapping Efficiency Using VFSMOD: Application to Cheongmi Basin)

  • 손민우;변지선
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2015년도 학술발표회
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    • pp.338-338
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    • 2015
  • 하천으로 유입되어 수질 오염을 야기하는 오염원은 오염 배출원이 명확하여 하나의 점으로 나타낼 수 있는 점오염원(Point Source)과 오염원이 명확치 않은 비점오염원(Non-point)으로 구분된다. 생활하수, 축산폐수와 같이 오염원이 명확한 점오염원은 하천 유입 이전에 처리장을 거쳐 정화작업이 가능한 반면, 비점오염원은 오염원이 명확치 않아 처리에 어려움이 따른다. 또, 오염물의 양과 이동 경로가 예측이 불가능하고 강우시에는 특별한 처리 없이 하천으로 바로 유입된다. 비점 오염원의 종류는 토사, 영양물질, 유기물질, 농약, 바이러스 등 다양하다. 이 중에서 토양에 흡착되어 이동하는 질소와 인은 하천으로 유입되어 부영양화를 야기하는 특성이 있어 더욱 처리가 필수적이다. 이러한 비점오염원으로 인한 수질 오염을 줄이기 위해 여러 최적관리기법(Best Management Practices, BMPs)이 제시되어 있으며 오염 물질의 하천 유입을 차단하는 것에 중점을 둔다. 가장 널리 이용되는 방법으로는 비점오염원 저감시설 중 하천변에 식물체를 설치하여 토양의 유실을 막는 식생대(Vegetative Filter Strip, VFS)가 있다. 식생 밀집 지역의 설치를 통해 표면 유출을 차단하고 토양 유실 감소와 수체로의 오염물질 확산을 막을 수 있다. 이에 VFSMOD-w를 이용하여 강우시 식생대를 통한 토양 유실 감소 효율에 대한 연구를 수행하였다. 연구 대상 지역으로 비교적 수문 및 토양 자료가 풍부한 청미천 유역을 선정하였다. 그 결과, 식생대의 길이와 식생대 내 식물체의 파종간격이 가장 지배적인 영향을 미치는 것이 확인된다. 이때, 식물체의 종류는 식물체 파종으로 인해 변화되는 토양의 수정된 Manning의 조도계수로 구분한다. 모든 강우 및 식물체 조건이 동일할 때, 식생대 내 식물의 파종 간격이 좁고 식생대의 길이가 길수록 토사 저감 효율이 증가하는 결과가 도출되었다. 식물체의 높이, 식물체의 종류 및 식물의 파종간격이 입력 자료로 요구되나 이 중 식물체의 높이는 토사 저감 효율에 영향을 미치지 않는 것으로 나타났다. 또, 동일한 강우 조건에서 식생대의 길이가 0.5 m에서 1.0 m로 2배 증가하였을 때 토사 저감 효율이 두 경우 모두 95% 이상의 효율을 보이는 것이 나타났다. 이는 식생대의 길이가 증가할수록 토사 저감 효율이 증가하나 일정 길이 이상이 되면 대부분의 토사가 저감되는 것을 의미한다. 결론적으로 식생의 파종 간격이 좁을수록 토사 저감 효율이 증가하더라도 식물체의 성장을 고려한 적절한 파종 간격을 선정하여야 한다. 즉, 식생대의 설치는 적절한 파종 간격 및 식생대 길이를 식생대 설치지역의 강우 특성에 따라 결정지어야 한다고 판단된다.

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