R.F. magnetron sputter를 이용한 SnO_2$ film 특성에 대한 Annealing효과
(Effects of Annealing on Properties of Tin Oxide films prepared by r.f. magnetron sputtering)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2003년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.208-208
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- 2003