• Title/Summary/Keyword: 진동적제어

Search Result 771, Processing Time 0.027 seconds

초고속 터보 분자펌프의 자기부상 회전 안정성 연구

  • No, Seung-Guk;Gyeong, Jin-Ho;Park, Yong-Tae;Go, Deuk-Yong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
    • /
    • 2012.02a
    • /
    • pp.117-117
    • /
    • 2012
  • 반도체 및 디스플레이 공정등에서 고진공 및 급 배기 환경을 제공하기 위하여 사용되는 터보 분자펌프(Turbomolecular Pump, TMP)는 다층의 회전깃을 갖는 로터를 회전시켜 분자를 배출시키는 방식을 사용하는 진공펌프이다. 또한 최근에는 디스플레이 및 반도체 공정에서 높은 진공도뿐만 아니라, 높은 배기속도를 요구하는 추세에 따라, 터보 펌프와 드래그 펌프부분을 동시에 가지고 있어 상대적으로 작동 진공도 영역이 넓은 복합 분자펌프(Compound Turbomolecular Pump, CMP)의 활용도가 넓어지고 있다. 이러한 분자펌프가 장시간의 고속회전에 적합하고, 베어링에서의 오염을 없앨 수 있는 비접촉 방식인 자기부상 방식이 주로 적용된다. 자기베어링 시스템은 하드웨어와 소프트웨어로 나누어질 수 있는데, 하드웨어는 회전하게 되는 블레이드로터 및 자기베어링 로터, 모터 로터 등이 포함된 축과 고정되어 있는 자기베어링 코어와 코일, 변위센서 등의 펌프 하우징 부분, 또한 이를 제어하기 위한 전력 증폭 시스템 등의 기전적인 요소들이 이루어져 있다. 소프트웨어라 할 수 있는 제어시스템에 있어서 자기베어링이 불안정한 특성을 갖는 개루프계를 갖고 있으므로 안정화를 위한 능동제어 시스템이 필수적이며 진동 제어 등의 기능을 갖도록 적용된다. 따라서 이러한 복합분자펌프의 성능은 이러한 시스템을 구성하는 개별 요소의 성능과 이를 통합한 제어시스템의 성능이 결정한다고 할 수 있다. 본 논문에서는 현재 개발중인 2,500 l/s급의 자기부상형 고진공 복합분자펌프의 시작품에 대하여 고속회전의 안정성에 대한 연구를 수행한 내용을 보고하고 있다. 디지털 제어시스템을 적용한 시작품의 최대 26,000 rpm 까지의 고속회전시의 회전 응답 및 진동 특성을 측정 분석하였으며, 로터의 고유진동수 및 진동 모우드를 분석하였다. 또한 연속 작동시의 발열특성과 각 부분의 온도와 회전 안정성과의 관계를 평가하였다.

  • PDF

Passive Vibration Suppression With an Enhanced Shunted Piezoelectric Circuit (강화된 Piezoelectric Shunt Circuit에 의한 수동진동제어 연구)

  • Kim, W.C.;Park, C.H.
    • Journal of Power System Engineering
    • /
    • v.3 no.4
    • /
    • pp.36-44
    • /
    • 1999
  • 회로내에 capacitor를 부가 연결시켜 이론과 실험적으로 고찰한 새로운 기법의 연구이다. 종래에 사용되어 온 전자회로는 낮은 주파수의 진동진폭을 억제할 때에 큰 inductance 값을 필요로 하는 결점이 있었다. 이런 문제점을 해결하기 위하여 본 연구에서는 강화된 압전 분권회로에 병렬로 capacitor를 연결하도록 설계하였다. 새로운 기법은 기계적인 analogy 이론에 의해 증명을 하였으며, 알루미늄 보에 대하여 필요한 동조 모드에서 실험적으로 입증하였다. 따라서 이러한 결과들은 electronic passive damping 에 있어서 예전부터 요구되어 온 절반정도의 inductance값만으로도 구조물의 진동응답을 아주 심도 있게 감소시킬 수 있다는 것을 보여주고 있다.

  • PDF

Control of Coupled Lateral Torsional Vibration of Tall Building under Dynamic Lateral Loads (동적 하중을 받는 횡-비틀림 방향이 조합된 고층건물의 진동 제어에 관한 연구)

  • 황재승;민경원;홍성목
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
    • /
    • 1995.04a
    • /
    • pp.28-33
    • /
    • 1995
  • 본 논문에서는 조합변형이 각각의 모드에 따라 매우 다양하게 달라질 수 있으며 각 모드의 역학적 거동에 따라 제어기의 최적 위치가 달라지는 것을 보였으며 이러한 최적의 위치를 효과적으로 파악할 수 있는 각 모드의 기하학적인 중심에 대하여 기술하였다.

  • PDF

Vibration Control of Press for soundproof barrier (타공형 방음벽 프레스의 방진대책)

  • 정정교;박진일;박해동;김두훈
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
    • /
    • 2001.05a
    • /
    • pp.656-661
    • /
    • 2001
  • 생산 현장의 진동환경은 부품생산활동과 관련된 공정변수중 대표적인 것으로 기계 부품 생산의 품질 및 생산품의 불량률에 큰 영향을 미치며 또한 주변으로 전파된 진동은 우수한 진동환경을 요하는 다른 생산장비에 나쁜 영향을 미치기도 한다. 본 연구의 대상은 공장의 이전으로 인한 환경변화에 의해 발생한 타공형 방음벽 생산 프레스의 진동을 제어하기 위해 바닥의 진동가속도 레벨을 측정하고 DIN 5140에 제시된 기준에 적합하도록 방진 시스템을 설계하였으며 그 결과 방진전과 비교하여 약 20 ㏈ 가량의 바닥 진동 가속도 레벨이 감소하였다.

  • PDF

System Vibration Analysis Using Component Synthesis Method (부분구조합성법을 이용한 구조물의 시스템적 진동해석)

  • 김석관;김성대;임기수
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
    • /
    • 1992.10a
    • /
    • pp.136-140
    • /
    • 1992
  • 가전 제품을 비롯한 전기/전자 제품의 고부가가치화를 위해서는 제품 사용 환경의 쾌적함에 저해되는 요인인 진동소음의 발생을 최대한 억제하여야 한 다. 본 연구에서는 진동으로 인하여 발생하는 소음의 저하를 위한 연구의 일 환으로 부분 구조합성법을 이용하여 설계된 제품의 진동특성을 파악하고 진 동을 저하하기 위한 연구를 냉장고를 대상으로 수행하였다. 방진 마운트와 콤프레서 지지판의 최적 설계에 의하여 진동 및 소음의 저하에 기여함으로 써 적용한 연구 방법의 적합성이 인정되었으며 향후 다른 전기 전자 제품의 진동 소음 제어에도 기여할 수 있을 것으로 생각된다.

  • PDF

Active Noise Control in Ductilike System using Adaptive Filtering (적응필터링에 의한 덕트계의 능동소음제어)

  • 이태연;김상명;송원식;오재응
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
    • /
    • 1991.04a
    • /
    • pp.17-22
    • /
    • 1991
  • 최근 기계장치로부터 발생하는 소음을 감소시키는 새로운 방법으로서, 능동 적으로 소음을 제어하는 방법에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 이것은 원하지 않는 소음을 그 신호의 역위상을 갖는 부가음을 이용하여 능동적으 로 감쇠시키는 방법으로서, 저주파수 대역에서 비효율적인 수동적인 방법인 소음기둥에 대한 대안으로 많은 학자들의 관심의 대상이 되어 왔다. 초기에 는 소음을 줄이기 위해 요구되는 여러가지 음향요소의 전달함수를 제어하는 데 대한 불가능성으로 인해 능동 소음제어에 대한 실질적인 발전이 지연되 어 왔으나 최근 마이크로 컴퓨터를 비롯한 전자공학의 발전으로 인해 적응 신호처리 분야가 등장하게 되었으며, 음향계의 소음을 원하는 수준까지 제어 하는 능동 소음제어의 실시간 구현이 가능하게 되었다. 그 중에서도 음이 1 차원적으로 전파한다고 볼 수 있는 길이가 긴 덕트구조물에서의 능동 소음 제어는 가장 기본적이며 현실적으로 자동차 배기계나 냉동.공조설비에 있어 서 실용적으로 적용할 수 있는 문제임 만큼 많은 연구가 이루어지고 있다. 이러한 능동 소음제어 방법을 음향계에 적용하였을 때, 부가적인 음을 발생 하는 제어용 스피커로 인해 입력마이크로폰으로의 음향궤환이 존재하고 이 에 따라 제어계가 불안정해질 수 있으며, 또한 변환기의 사용으로 인한 부가 적인 전달함수가 존재하므로 이에 대한 중요한 의미를 갖고 고려하여야 한 다. 본 연구에서는 적응 필터링 이론에 의한 소음원의 입력신호에 대한 최적 한 예측으로써 부가음을 발생시키고, 입력신호 및 제어된 출력신호간의 차인 오차를 최소화 시키도록 하는 오차적응제어법을 이용한 능동소음 제어 방법 을 제시하였다. 이와 아울러 제어계의 환경변화에 따른 파라메타의 변화에 적응적으로 응답이 가능해야 하는 적응 소음제어 시스템에서, 음향궤환과 함 께 필히 고려해야 하는 부가적인 전달함수의 영향을 고려한 능동 소음제어 에 대해 연구하였다. 경량화 추세에 따라 지반이나 케이싱이 경량이거나 유연하여 회전축과 동적으로 연성된 경우 회전축-베어링-지반으로 이루어진 2중구조의 회전축 계 동특성을 해석할 수 있는 프로그램을 개발하므로서 회전 기계류의 진동 전반에 걸친 문제점에 대한 그 원인과 현상을 명확히 분석하여 국내의 전기 계류의 보다 신뢰성있는 설계 및 제작자료를 확보하는데 기여할 수 있게 하 였다.존의 small molecular Gd-chelate에 비해 매우 큼을 알 수 있었다. MnPC는 간세포에 흡수된 후 담도계로 배출되는 간특이성 조영제임을 확인하였다. 장비 내에서 반복 시행한 평균값의 차이는 대체적으로 유의한 차이가 없었으나, 다른 장비에서 반복 시행한 장비간의 사이에는 유의한 차이가 있는 경우가 더 많았다. 따라서 , MRS 검사를 소뇌나 뇌교의 어떤 절환에 적용하기 전에 각 장비 마다 정상 기준치를 반드시 얻은 후에 이상여부를 판 정하는 것이 필수적이라고 생각된다.EX> 이상이 적절한 진단기준으로 생각되었다. $0.4{\;}\textrm{cm}^3$ 이상의 좌우 부피차를 보이는 모든 증례에서 육안적으로도 해마위축이 뚜렷이 나타났다. 결론 : MR영상을 이용한 해마의 부피측정은 해마경화증 환자의 진단에 있어 육안적인 MR 진단이 어려운 제한된 경우에만 실제적 도움을 줄 수 있는 보조적인 방법으로 생각된다.ofile whereas relaxivity at high field is not affected by τS. On the other hand, the change in τV does not affect low field profile but strongly in fluences on both inflection fie이 and the maximum relaxivity value. The results shows a fluences on both inflection field

  • PDF

A Study in the Horizontal Position using Linear Actuator (리니어 액추에이터를 이용한 수평 자세제어에 관한 연구)

  • Kim, Gwan-Hyung;Sin, Dong-Seok;Kim, Soung-Hun
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
    • /
    • 2013.05a
    • /
    • pp.538-539
    • /
    • 2013
  • 수평 자세제어에 관한 연구는 플랜트 외부에서 발생하는 미지의 진동이나 불특정 외란이 인가되었을 때 이러한 외란을 적절히 제거하여 플랜트의 안전성을 확보할 수 있는 중요한 기술이다. 특히 수평 자세제어에 대한 문제는 선박이나 항공기 등 진동이나 미지의 외란이 발생하는 비선형시스템에 대하여 플랜트의 안전성을 확보하기 위하여 다양한 제어 알고리즘을 적용하여 진동 및 외란을 제거하고 있다. 본 논문에서 활용하고자하는 수평 자세제어용 액추에이터는 전자기적 에너지를 직선운동을 하는 기계적 운동 에너지로 변환하는 장치로서 산업현장에서 많이 활용하고 있는 액추에이터이다. 이러한 리니어 액추에이터(linear actuator) 3개로 구성된 3축을 활용하여 리니어 액추에이터 상부에 놓여진 플랜트의 수평을 제어하고자 한다. 또한 플랜트의 수평 상태를 계측하기 위한 센서로는 플랜트에 인가되는 외란을 계측하기 위한 가속도 센서 및 정확한 플랜트의 자세를 계측하기 위한 자이로 센서를 활용하여 플랜트의 수평 상태를 계측하도록 하며, 3개의 리니어 액추에이터를 제어하기 위한 마이크로프로세서를 기반으로 PID 제어기를 설계하여 리니어 액추에이터를 활용한 수평제어 성능을 제시하고 한다.

  • PDF

능동소음제어의 기본 이해

  • 박영진
    • Journal of KSNVE
    • /
    • v.5 no.4
    • /
    • pp.431-439
    • /
    • 1995
  • 기계의 소음에 대한 방지 대책으로는 소음발생원 또는 발생 메카니즘을 연구 하여 그 원인을 제거하는 방법이 가장 바랍직하나 비용, 시간 또는 기술상의 어려움 으로 인하여 실제 적용이 어려운 경우가 많다. 이러한 경우, 차선책으로 소응의 전달 경로를 차단하는 방법이 많이 사용되고 있다. 종래의 흡음, 차음 또는 방사들의 원리 를 이용하는 방법은 일반적이고, 저주파 대역에서 그 특성이 떨어져 전체 시스템의 성능 저하 또는 원가 상승을 가져오는 수가 많다. 이러한 수동적인 수단에 의한 소음 제어의 한계를 극복하고자 20세기 초반부터 능동적인 방법에 의한 음향 및 소음제어 기법이 많이 연구, 개발되어 왔다. 이러한 능동소음제어에 관한 관심은 최근에 electronic technology의 급속한 발전에 의하여 실험성이 증가하면서 더욱 가속화 되었다. 본 해설기사에서는 과거의 능동소음제어 예들을 통하여 능동소음제어의 특성 과 한계를 설명하고 응용사례를 알아 보았다.

  • PDF

Numerical Analysis on Controlled Tunnel Blasting by Heck Charge (다단 장약에 의한 터널 진동제어 발파의 수치해석)

  • 양형식;두준기;조상호;김원범
    • Tunnel and Underground Space
    • /
    • v.13 no.5
    • /
    • pp.403-411
    • /
    • 2003
  • Controlled tunnel blasting by deck charge was suggested and simulated by PFC and FEM analyses. Analyzed results showed that suggested method is efficient in fragmentation and able to decrease in vibration level because of decreased amount of charge per delay and dispersion of deck charge. This phenomena was explained by failure mechanism and proved that it can be successfully applied to tunnel blasting.

Vibration Control of Composite Wing-Rotor System of Tiltrotor Aircraft (틸트로터 항공기 복합재료 날개의 진동 제어)

  • Song, Oh-Seop
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
    • /
    • v.35 no.6
    • /
    • pp.509-516
    • /
    • 2007
  • Mathematical modeling and vibration control of a tiltrotor aircraft composite wing-rotor system are investigated in this study. A wing-mounted rotor can be tilted from the vertical position to a horizontal one, and vice versa. Effect of vibration control of the wing-rotor system via piezoelectricity is studied as a function of tilt angle, ply angle of composite wing and rotor's spin speed. Composite wing is modeled as a thin-walled box beam having a circumferentially uniform stiffness configuration that produces elastic coupling between flap-lag and between extension-twist behavior. Numerical simulations are provided and pertinent conclusions are outlined.