Si(001) 기판위에 Solid Source Si MBE로 성장된 SiGe 박막의 결정성 상전이현상에 관한 연구

• 이승창;윤선진;이정용
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1994년도 제6회 학술발표회 논문개요집
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  • pp.59-60
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  • 1994
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초단열 진공창

• 조성환;장철용
• • 대한설비공학회지:설비저널
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  • 제31권8호
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  • pp.28-31
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  • 2002
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초고주파, 고출력 전자파 발진기를 위한 세라믹 진공창의 연구동향 (Research Trends of Ceramic Window for High Power High Frequency Vacuum Power Tube)

• 최진주;박건식;김남영;김종헌
• • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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  • 제10권10호
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  • pp.1048-1055
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  • 1997
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MEMS Probe Unit을 위한 마이크로 Slit 에칭 공정

• 한명수;박창모;신광수;안수창
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2009년도 제37회 하계학술대회 초록집
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  • pp.240-240
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  • 2009
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Solid-Source Molecular Beam Eppitaxy를 이용한 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막 성장시 $Si^+ 및 Ge^+$ 이온의 효과 연구

• 윤선진;이승창;김경수;박신종
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1994년도 제7회 학술발표회 및 한·일 CVD 심포지움 논문개요집
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  • pp.74-74
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  • 1994
• PDF

Solid source MBE로 성장된 $Si_{0.8}Ge_{0.2}$/Si(001) 구조에 in situ doping 된 Boron 이 Strain relaxation에 미치는 영향 연구

• 이승창;윤선진;박신종
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 1994년도 제7회 학술발표회 및 한·일 CVD 심포지움 논문개요집
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  • pp.76-76
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  • 1994
• PDF

금속증기의 증착 공정 실시간 모니터링에 관한 연구

• 정의창;송규석;차형기
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집
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  • pp.209-209
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  • 2004
• PDF

MOCVD를 이용한 ZnO 나노구조의 성장과 특성 분석 (Foramation of ZnO nanostructure and its properties)

• 정민창;오병윤;이웅;명재민
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집
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  • pp.248-248
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  • 2004
• PDF

Si Deep Etching Process for MEMS Probe Card and Unit

• 한명수;안수창;김장현
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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  • pp.151-151
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  • 2008
• PDF

수소함유량 변화에 따른 a-C:H 박막 ESR lineshape의 변화

• 윤원주;조정민;이정근;서희원;유수창
• • 한국진공학회:학술대회논문집
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  • 한국진공학회 2001년도 제21회 학술발표회 초록집
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  • pp.79-79
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  • 2001
• PDF

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