Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Si(001) 기판위에 Solid Source Si MBE로 성장된 SiGe 박막의 결정성 상전이현상에 관한 연구

  • 이승창 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 윤선진 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 이정용 (한국과학기술원)
  • Published : 1994.02.01
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