• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2008.08a
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• pp.108-108
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• 2008

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2002.06a
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• pp.74-74
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• 2002

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.3 no.4
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• pp.457-465
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• 1994

유도결합 플라즈마의 해석식으로 양극성 확산, 정상상태를 가정한 확산식, 열평형식과 변위전류 를 무시한 맥스웰 식을 사용하였다. 해석기법으로는 유한 차분법과 적분법을 축대칭 2차원(R, Z)모델에 적용하였다. 유도 결합 플라즈마장치의 RF 전력, 압력, 석영창 두께, 차폐부 높이에 따른 전자온도, 전자 밀도, 등가 정항 등가 인덕턴스 효율 결합계수 K, Q-factor의 변화를 구하였다. 특히 등가정항은 진공챔 버, 차폐부 및 코일의 손실저항을 고려하여 구하였다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.2 no.3
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• pp.282-287
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• 1993

PLS 2GeV 선형가속기 진공계는 K6 가속단위까지 성공적으로 조립, 설치되어 있다. K3 가속단위까지는 이미 E3712형 클라이스트론에서 공급되는 70MW 극초단파 전력으로 진공계 길들이기 과정을 완료하였다. 약 50MW의 극초단파 전력을 인가한 상태에서, 현재 진공도는 L-형 가속관 중심에서 6.2$\times$10-8torr, 클라이스트론 출력창에서 7.3$\times$10-9torr를 각각 유지하고 있으며, 최종 도달압력은 점차적으로 향상되고 있는 중이다. 본 논문에서는 PLS 2 GeV 선형가속기 진공계에 대한 전기회로적 변환에 의한 모델링과 해석, 그리고 가속기 전반부에 관한 초기 성능 검증결과를 논의하고자 한다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.22 no.4
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• pp.175-180
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• 2013

We developed the contamination prevention module of an optical window for an In-Situ Particle Monitor (ISPM) system. the core part of the module is the generator of an ultrasonic wave and the module is to remove particles stuck to the window by the transfer of the wave force to the window surface. In order to enhance transfer efficiency of the waves the frequency of the ultrasonic wave was optimized and a low impedance material (plexiglass) and a soft sealing material (Si rubber) were used. The ISPM with the developed module was installed at the exhaust line of a BPSG CVD equipment and the effect of the module was verified.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2009.08a
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• pp.145-145
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• 2009

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2003.02a
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• pp.196-196
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• 2003

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2002.06a
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• pp.46-46
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• 2002

• Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering
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• v.9 no.3
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• pp.300-311
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• 1997

A theoretical method was developed to analyze the effect of low-$\varepsilon$ coatings which have influence on thermal performance of vacuum windwo glazing and double pane glazing. The overall heat transfer coefficient(U) value and thermal performance were analyzed by theroretical method on various kins of windows. TRNSYS program was used to analyze total heating and cooling energy consumption on the model building which has various windows. As the result, better thermal insulation can be achieved on the vacuum window glazing than double pane glazing when low-$\varepsilon$ coating was done on the surface of glass. Total heating and cooling energy consumption was almost same on the double pane window glazing but was lessened on the vacuum window glazing when the window size of south direction increased. Therefore, low-$\varepsilon$ coating was very necessary for vacuum window glazing in order to improve thermal insulation performance and efficient energy conservation can be achieved by vacuum window glazing at the real building which has large window.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.134-134
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• 2010

KBSI 부산센터에 건설중인 소형의 다중 양전하 중이온 가속기에 사용될 초전도 ECR 이온온은 최대 자기장 3 T, 최소 0.5 T의 자기 Mirror구조를 가지고 있으며 중심 부근의 1 T 자기장에서 28 GHz 전자공명에 의해 마이크로파의 에너지를 플라즈마로 전달한다. 최대 10 kW의 Gyrotron에서 TE02 모드로 발생하는 마이크로파는 모드변환기, 직류차단기 및 진공창을 통하여 플라즈마로 입사된다. 32.5 mm 지름의 원형 도파관에서 자기장 축방향으로 도입된 TE01 모드의 마이크로파를 Altar-Appleton-Hartree 분산관계식을 이용하여 군속도의 관점에서 살펴보았다. 플라즈마 밀도가 Cut-off에 근접하지 않는 한 마이크로파의 바깥 방향으로의 회절은 크지 않았으며, 전자공명 위치로 접근함에 따라 군속도의 방향이 바뀌어 오히려 중심 방향으로 향함을 알 수 있다. 즉 마이크로파가 플라즈마 챔버의 벽을 가열시킬 가능성은 크지 않은 것이다. 또한 뜨거운 전자 플라즈마의 Susceptibility를 이용하여 마이크로파의 플라즈마로의 전자 공명에 의한 흡수를 살펴본 결과, 운전 영역에 속하는 전자밀도가 제공되면 공명 지점에 이르기 전에 충분히 흡수되는 것을 확인하였으며, 이에 따라 챔버를 관통하여 인출부 벽에 충돌하는 마이크로파 에너지는 무시할 수 있을 것으로 보여진다. 이 결과들을 토대로 마이크로파 시스템을 설계 완료하였다.