Si(001) 기판위에 Solid Source Si MBE로 성장된 SiGe 박막의 결정성 상전이현상에 관한 연구

• 이승창;윤선진;이정용
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1994.02a
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  • pp.59-60
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  • 1994
• PDF

초단열 진공창

• 조성환;장철용
• • The Magazine of the Society of Air-Conditioning and Refrigerating Engineers of Korea
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  • v.31 no.8
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  • pp.28-31
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  • 2002
• PDF

Research Trends of Ceramic Window for High Power High Frequency Vacuum Power Tube (초고주파, 고출력 전자파 발진기를 위한 세라믹 진공창의 연구동향)

• 최진주;박건식;김남영;김종헌
• • Electrical & Electronic Materials
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  • v.10 no.10
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  • pp.1048-1055
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  • 1997
• PDF

MEMS Probe Unit을 위한 마이크로 Slit 에칭 공정

• Han, Myeong-Su;Park, Chang-Mo;Sin, Gwang-Su;An, Su-Chang
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 2009.08a
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  • pp.240-240
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  • 2009
• PDF

Solid-Source Molecular Beam Eppitaxy를 이용한 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막 성장시 $Si^+ 및 Ge^+$ 이온의 효과 연구

• 윤선진;이승창;김경수;박신종
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1994.06a
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  • pp.74-74
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  • 1994
• PDF

Solid source MBE로 성장된 $Si_{0.8}Ge_{0.2}$/Si(001) 구조에 in situ doping 된 Boron 이 Strain relaxation에 미치는 영향 연구

• 이승창;윤선진;박신종
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 1994.06a
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  • pp.76-76
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  • 1994
• PDF

금속증기의 증착 공정 실시간 모니터링에 관한 연구

• Jeong, Ui-Chang;Song, Gyu-Seok;Cha, Hyeong-Gi
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
  • /
  • 2004.08a
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  • pp.209-209
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  • 2004
• PDF

Foramation of ZnO nanostructure and its properties (MOCVD를 이용한 ZnO 나노구조의 성장과 특성 분석)

• Jeong, Min-Chang;O, Byeong-Yun;Lee, Ung;Myeong, Jae-Min
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 2004.08a
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  • pp.248-248
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  • 2004
• PDF

Si Deep Etching Process for MEMS Probe Card and Unit

• Han, Myeong-Su;An, Su-Chang;Kim, Jang-Hyeon
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 2008.08a
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  • pp.151-151
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  • 2008
• PDF

수소함유량 변화에 따른 a-C:H 박막 ESR lineshape의 변화

• Yun, Won-Ju;Jo, Jeong-Min;Lee, Jeong-Geun;Seo, Hui-Won;Yu, Su-Chang
• • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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  • 2001.07a
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  • pp.79-79
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  • 2001
• PDF

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